摘要
介绍了化学气相沉积、离子镀及离子化学热处理等表面改性技术的发展历程,指出了它们的优缺点及技术上的改进,对近年来新开发的同基合金离子镀进行了推荐。
This paper introduces the development course of surface modification technologies, such as chemical vapor deposition （CVD） ,ion plating and ion chemical heat treatment processes. The merits and shortcomings and improvements of these technologies are pointed out ,and a novel ion plating process which has same basic component for both deposited layer and substrate is introduced briefly.
出处
《机械工程与自动化》
2007年第4期178-179,共2页
Mechanical Engineering & Automation
基金
山西省自然科学基金资助项目(20041060)
关键词
离子表面改性
离子镀
气相沉积
ion surface modification
ion plating
vapor deposition
作者简介
孙亦蕙（1962-），女，安徽寿县人，副教授，硕士研究生，主要从事材料表面改性技术研究。
