摘要
V型电热执行器结构简单、执行力大、能够输出直线型位移,广泛用于MEMS系统中。利用热电效应,对V型电热执行器进行了讨论,得到了执行器上温度分布、最大位移以及阶跃响应时间的理论分析值,并利用有限元分析软件ANSYS进行了仿真验证,结果表明理论分析值和仿真结果保持一致。对执行器的几何参数对器件性能的影响进行研究,搭建测试平台对执行器的性能进行测试,14 V电压下可以在4 ms内达到稳定的工作状态。
V-type electro-thermal actuator is widely used in MEMS system because of its simple structure,large execution force and linear displacement.The thermoelectric effect is used to discuss the V-beam electro-thermal actuator,the theoretical analysis values of temperature distribution,maximum displacement and step response time are obtained,and the simulation results are verified by ANSYS.The result shows that the simulation results are consistent with the theoretical results.And the influence of the geometric parameters on the performance of the device is researched.
作者
保慧琴
卫霞
李茹
Bao Huiqin;Wei Xia;Li Ru(Xi'an Mingde Institute of Technology,Xi'an 710124,China)
出处
《电子测量技术》
北大核心
2021年第3期45-49,共5页
Electronic Measurement Technology
基金
陕西省教育厅专项科研计划(20JK0951)
西北工业大学明德学院科研基金(2019XY01L02)项目资助。
关键词
电热执行器
温度分布
位移
响应时间
electro-thermal actuator
temperature distribution
displacement
response time
作者简介
保慧琴,硕士,讲师,主要研究方向为MEMS设计与制备。E-mail:821907406@qq.com。
