摘要
以三光束平面镜微型激光干涉仪作为高精度的标准量,研究新型纳米三坐标测量机的误差检定方法,设计相应的激光头姿态调节架和目标靶镜,组建一套适用于其的误差检定系统,分四次即可实现对测量精度影响较大的11项单项误差进行相对高精度、便捷、同步地检定。以LabVIEW作为软件开发平台,基于三次样条插值算法,编写对单项误差的采样数据进行插值计算的应用程序,以求得单项误差在量程范围内任意位置的值。
Based on the triple-beam plane-mirror interferometer,this paper describes the error detection system for nanometer coordinate measuring machines（Nano-CMM）,which also includes the attitude regulation bracket of laser head and a set of target retroreflectors.It detects 11 items geometrical error of Nano-CMM using the error detection methods that have been represented,which are considered to have more influence on measurement accuracy.The graphical program software LabVIEW8 is used as the software development platform.Based on the cubic spline interpolation algorithm,it designs the interpolation calculation program to get arbitrary value of measuring range for one single geometrical error.
出处
《电子测量与仪器学报》
CSCD
2010年第3期250-256,共7页
Journal of Electronic Measurement and Instrumentation
基金
国家自然科学基金(编号:50675057)资助项目
"精密测试技术及仪器"国家重点实验室开放基金资助项目
作者简介
夏瑞雪：男，1984出生，2004年和2007年于合肥工业大学分别获得学士、硕士学位，现为合肥工业大学在读博士研究生，主要研究方向为精密测量和自动光学检测。E—mail：ruixuexia@163．com陈晓怀：女，1954年出生，毕业于合肥工业大学，现为合肥工业大学教授，博士生导师，主要研究方向为现代精度理论和质量工程。E—mail：xhchenhf@163．com
