摘要
分析了改进表面分流型二维PSD传感器的工作原理及信号调理电路,针对PSD传感器示值误差较大的缺点,设计了利用万能工具显微镜的实验标定系统,运用误差理论对传感器位置测试数据进行了标定修正。试验结果表明,PSD传感器A区的示值误差可减小到±0·02mm内。
The principle and the signal processing circuit of tetra-lateral 2-dimensional position sensitive detector （PSD） were analyzed. The experimental calibration system was built in a multipurpose instruroent microscope for reducing the position detecting error of the sensor of PSD. Based on the error theory the processing measuring datum is calibrated and experimental results show that the position detection error of the PSD in area A can be reduced to 0.02mm.
出处
《工具技术》
北大核心
2007年第1期113-115,共3页
Tool Engineering
基金
南通市工业科技创新基金项目(项目编号:A5033)
南通大学自然科学基金资助项目(项目编号:05Z033)
关键词
PSD传感器
示值误差
标定
position sensitive detector （PSD）, position detecting error, Calibration
作者简介
袁江，副教授，南通大学机械工程学院，226007江苏南通
