摘要
针对国内对轴系的校准技术普遍采用传统的手工方法,提出了一种基于位置敏感探测器(PSD)的高精度激光校准的解决方法。在PSD信号处理上,使用高精度的A/D转换单片机运用软件算法的方式代替传统的运算电路方法计算PSD位置值,有效地提高了系统的精度和稳定性。回转式校准仪的偏移测量范围为±4mm,分辨力为1.5μm、精度为5.5μm。可以广泛用于精确轴系校准和定位。
Aim at the traditional manual way of the shaft alignment,a high precise laser alignment system with position sensing detector（PSD） is describes, In the PSD signal process, a new method to calculate the value of the position is adopted by using single chip computer with A/D change and the software arithmetic insteud of substitute the pure circuit method, The accuracy and the stability of system are improved, The range of offset measurement is ±4mm;the resolution is 1.5 μm,the accuracy is 5. 5 μm, It can be used for shaft aligment and position.
出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2006年第6期64-66,共3页
Transducer and Microsystem Technologies
基金
国家自然科学基金资助项目(60337030)
关键词
激光微位移测量
激光校准
位置敏感探测器
轴系校准
laser micro-displacement measurement
laser alignment
position sensing detector （PSD）
shaft alignment
作者简介
焦国华（1979-），男，江西吉水人，工程师，在职博士研究生。研究方向为光电信息处理。
