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微机械薄膜变形镜校正性能及控制算法被引量：3: 1; 作者李邦明沈建新 +1 位作者廖文和张运海《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1558-1562,共5页; 通过对微机械薄膜变形镜影响函数矩阵的奇异值分解,构建了变形镜可以校正的像差模式空间,分析了变形镜对正交基模式的校正能力和校正范围,提出了一种变形镜闭环迭代控制算法。通过对影响函数矩阵低秩近似的方法滤除校正性能较差的基模... 展开更多; 关键词自适应光学微机械薄膜变形镜校正性能控制算法奇异值分解; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机械薄膜变形镜光学影响函数矩阵的测试与研究被引量：3: 2; 作者陈珂赵达尊俞信《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2000年第9期22-26,共5页; 介绍了微机械薄膜变形镜光学影响函数的理论表达式以及其具有的线性叠加性。对OKO公司的 37通道微机械薄膜变形镜进行了实际测量 ,得到了光学影响函数矩阵 ,方便了变形镜的实际使用。实验结果验证了理论推导的正确性。; 关键词自适应光学微机械薄膜变形镜光学影响函数矩阵测试; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于微机械薄膜变形镜的闭环实时模式复原被引量：2: 3; 作者童桂廖文和梁春《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期635-638,共4页; 为了求解基于微机械薄膜变形镜自适应光学系统的最优模式控制电压,以使系统的入射畸变波前像差降到最小,采用了一种基于改进的奇异值分解闭环实时模式复原算法,可通过调整控制参量g1,gθ和W来优化波前复原的复原精度和收敛速度;采用一... 展开更多; 关键词物理光学闭环实时微机械薄膜变形镜模式复原; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于微机械薄膜变形镜的人眼视网膜成像研究被引量：2: 4; 作者沈建新钮赛赛《中国生物医学工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期111-116,共6页; 高分辨率视网膜图像能够为视网膜疾病的早期诊断、治疗、人眼视觉的科学研究提供重要依据。本研究探讨人眼像差和高分辨率视网膜图像的像差补偿技术,着重H-S传感器像差测量、波前重构算法、变形镜控制算法,提出了基于微机械薄膜变形镜... 展开更多; 关键词自适应光学像差补偿视网膜成像微机械薄膜变形镜; 在线阅读下载PDF 职称材料

热环境对微机械多晶硅薄膜电阻电特性的影响被引量：1: 5; 作者董良岳瑞峰 +2 位作者刘理天徐扬李志坚《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期508-513,共6页; 将 CMOS工艺和微机械加工技术相结合 ,制作出悬空式微桥支撑、薄膜支撑以及无悬空结构的微机械多晶硅薄膜电阻。通过对样品的电阻温度系数 ( TCR)和电流 ( I) -电压 ( V)特性的测量 ,研究了热隔离程度。; 关键词热环境微机械多晶硅薄膜电阻 CMOS工艺微机械加工技术电阻温度系数电学特性; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于乘子法的微机械薄膜变形镜电压求解方法: 6; 作者李邦明廖文和 +1 位作者沈建新梁春《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期230-233,共4页; 为了解决微机械薄膜变形镜控制电压容易超出可行域范围的问题,提出了一种基于乘子法的电压求解方法。将控制电压求解的约束最优化问题,转化为求解一系列无约束最优化问题。该算法不但保证了最优解一定在可行域范围内,消除了常用算法采用... 展开更多; 关键词自适应光学微机械薄膜变形镜乘子法 Zernike模式; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机械薄膜变形镜的闭环校正模型: 7; 作者李邦明廖文和 +1 位作者沈建新梁春《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第9期41-45,共5页; 介绍了微机械薄膜变形镜(MMDM)面形影响函数的意义,并测量了Oko公司37通道MMDM的面形影响函数矩阵,实验验证了镜面形变和单个驱动电极电压平方之间的线性关系,分析了变形镜的校正能力,建立了自适应光学系统闭环校正的模型。搭建基于MMD... 展开更多; 关键词自适应光学微机械薄膜变形镜面形影响函数校正能力校正模型; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于微型传感器的薄膜研究被引量：4: 8; 作者李立杰《电子器件》 EI CAS 1999年第3期177-181,共5页; 本文介绍了微机械薄膜和各向异性腐蚀的理论和特点，对Ｓｉ３Ｎ４平膜和纹膜着重进行了理论分析，叙述了微型薄膜的设计方法和试验结果。; 关键词微机械薄膜平膜纹膜微型传感器薄膜; 在线阅读下载PDF 职称材料

用于谐振式传感器的微型双层薄板热挠曲的研究被引量：1: 9; 作者姚振华朱长纯 +1 位作者程敏刘君华《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期59-61,共3页; 本文对微机械中热胀系数不同的材料构成的双层复合薄板在均匀温升下的挠曲特性进行了研究 ,提出了在均匀温升下双层薄板热挠曲求解的能量法 ,并给出了小挠度下中心挠度与板厚的解析关系 ,为薄膜谐振式传感器温度特性的研究和新型温度传... 展开更多; 关键词薄膜微机械谐振式传感器双层薄板热挠曲; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械薄膜变形镜校正性能及控制算法被引量：3: 1; 作者李邦明沈建新廖文和张运海; 机构南京航空航天大学机电学院苏州六六视觉科技股份有限公司; 出处《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第7期1558-1562,共5页; 基金国家高技术发展计划项目教育部新世纪优秀人才支持计划项目(NCET2006348); 文摘通过对微机械薄膜变形镜影响函数矩阵的奇异值分解,构建了变形镜可以校正的像差模式空间,分析了变形镜对正交基模式的校正能力和校正范围,提出了一种变形镜闭环迭代控制算法。通过对影响函数矩阵低秩近似的方法滤除校正性能较差的基模式的影响,实现了对畸变像差的有选择校正。以人眼出射波前为对象进行实验,通过比较不同模式项数校正时的效果,确定了最优校正模式项数的范围,通过设置残差容限的方法,消除了人眼晃动和眨眼的影响。实验结果表明:控制算法能通过选择合适的校正项数,提高变形镜的校正性能,并获取到了高清晰度的人眼视网膜图像,为眼科疾病诊断和治疗提供了一种新的观察手段。; 关键词自适应光学微机械薄膜变形镜校正性能控制算法奇异值分解; Keywords adaptive optics micromachined membrane deformable mirror correction performance control algorithm singular value decomposition; 分类号 TP273.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械薄膜变形镜光学影响函数矩阵的测试与研究被引量：3: 2; 作者陈珂赵达尊俞信; 机构北京理工大学光电工程系; 出处《高技术通讯》 EI CAS CSCD 2000年第9期22-26,共5页; 基金 863计划资助项目!( 863 3 0 8 15 4); 文摘介绍了微机械薄膜变形镜光学影响函数的理论表达式以及其具有的线性叠加性。对OKO公司的 37通道微机械薄膜变形镜进行了实际测量 ,得到了光学影响函数矩阵 ,方便了变形镜的实际使用。实验结果验证了理论推导的正确性。; 关键词自适应光学微机械薄膜变形镜光学影响函数矩阵测试; Keywords Adaptive optics, Micromachined membrane deformable mirror, Optical influence function; 分类号 TH74 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于微机械薄膜变形镜的闭环实时模式复原被引量：2: 3; 作者童桂廖文和梁春; 机构南京航空航天大学机电学院; 出处《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2008年第6期635-638,共4页; 基金国家八六三高技术研究发展计划资助项目(2006AA020804); 文摘为了求解基于微机械薄膜变形镜自适应光学系统的最优模式控制电压,以使系统的入射畸变波前像差降到最小,采用了一种基于改进的奇异值分解闭环实时模式复原算法,可通过调整控制参量g1,gθ和W来优化波前复原的复原精度和收敛速度;采用一人眼出射畸变波前像差作为自适应光学系统的原始波前,与现有的几种实时模式复原算法相对比,其在收敛速度和复原精度上都有所改善。结果表明,基于改进的奇异值分解闭环实时模式复原算法,在一定程度上解决了微机械薄膜变形镜由于薄膜面型宽交连值、驱动电极单调但非线性的控制电压求解问题,算法可调整空间大、适用范围也较广。; 关键词物理光学闭环实时微机械薄膜变形镜模式复原; Keywords physics optics close-loop real-time micromachined membrane deformable mirror modal reconstruction; 分类号 O436 [机械工程—光学工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于微机械薄膜变形镜的人眼视网膜成像研究被引量：2: 4; 作者沈建新钮赛赛; 机构南京航空航天大学机电学院; 出处《中国生物医学工程学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第1期111-116,共6页; 基金国家高技术研究发展(863)计划(2006AA020804) 教育部"新世纪优秀人才支持计划"(2006-348) 江苏省"333工程"科研项目资助(2007-16-59); 文摘高分辨率视网膜图像能够为视网膜疾病的早期诊断、治疗、人眼视觉的科学研究提供重要依据。本研究探讨人眼像差和高分辨率视网膜图像的像差补偿技术,着重H-S传感器像差测量、波前重构算法、变形镜控制算法,提出了基于微机械薄膜变形镜的自适应光学系统闭环控制。通过校正模拟眼的静态像差和人眼的动态像差的实验表明,能够达到减小人眼像差、获得人眼视网膜细胞的初步图像,为进一步获取视网膜各层细胞图像提供了理论和实验依据。; 关键词自适应光学像差补偿视网膜成像微机械薄膜变形镜; Keywords adaptive optics aberration compensation retina imaging micromachined membrane deformable mirror（MMDM）; 分类号 TH74 [机械工程—光学工程] R779.63 [医药卫生—眼科]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名热环境对微机械多晶硅薄膜电阻电特性的影响被引量：1: 5; 作者董良岳瑞峰刘理天徐扬李志坚; 机构清华大学微电子学研究所; 出处《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2003年第4期508-513,共6页; 文摘将 CMOS工艺和微机械加工技术相结合 ,制作出悬空式微桥支撑、薄膜支撑以及无悬空结构的微机械多晶硅薄膜电阻。通过对样品的电阻温度系数 ( TCR)和电流 ( I) -电压 ( V)特性的测量 ,研究了热隔离程度。; 关键词热环境微机械多晶硅薄膜电阻 CMOS工艺微机械加工技术电阻温度系数电学特性; Keywords thermal environment micromachined polysilicon thin film resistor I-V characteristics; 分类号 TM544 [电气工程—电器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于乘子法的微机械薄膜变形镜电压求解方法: 6; 作者李邦明廖文和沈建新梁春; 机构南京航空航天大学机电学院; 出处《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第2期230-233,共4页; 基金国家高技术研究发展计划("八六三"计划)(2006AA020804)资助项目江苏省"333"人才工程资助项目; 文摘为了解决微机械薄膜变形镜控制电压容易超出可行域范围的问题,提出了一种基于乘子法的电压求解方法。将控制电压求解的约束最优化问题,转化为求解一系列无约束最优化问题。该算法不但保证了最优解一定在可行域范围内,消除了常用算法采用"截止电压"方法带来的误差,而且还克服了罚函数法因惩罚因子取的太大而带来的病态问题。搭建基于OKO公司37通道微机械薄膜变形镜的自适应光学实验系统,分别以模拟眼和人眼出射波前为入射畸变波前进行实验。与常用算法进行对比分析,结果表明,乘子算法在稳定性和快速性上更优,为搭建小型化、低成本的人眼波前像差校正系统提供了算法支持。; 关键词自适应光学微机械薄膜变形镜乘子法 Zernike模式; Keywords adaptive optics mieromachine membrane deformable mirror multiplier method Zernike mode; 分类号 TP273.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械薄膜变形镜的闭环校正模型: 7; 作者李邦明廖文和沈建新梁春; 机构南京航空航天大学机电学院; 出处《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2009年第9期41-45,共5页; 基金国家863计划资助项目(2006AA020804); 文摘介绍了微机械薄膜变形镜(MMDM)面形影响函数的意义,并测量了Oko公司37通道MMDM的面形影响函数矩阵,实验验证了镜面形变和单个驱动电极电压平方之间的线性关系,分析了变形镜的校正能力,建立了自适应光学系统闭环校正的模型。搭建基于MMDM的自适应光学实验系统,采用人眼出射波前作为原始波前进行实验,结果表明,模型能快速有效的对动态畸变波前进行校正,为基于MMDM的自适应光学系统提供了算法支持。; 关键词自适应光学微机械薄膜变形镜面形影响函数校正能力校正模型; Keywords adaptive optics micromachine membrane deformable mirror figure influence fiunction correction capability correction model; 分类号 TP273.2 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于微型传感器的薄膜研究被引量：4: 8; 作者李立杰; 机构电子部十三所; 出处《电子器件》 EI CAS 1999年第3期177-181,共5页; 文摘本文介绍了微机械薄膜和各向异性腐蚀的理论和特点，对Ｓｉ３Ｎ４平膜和纹膜着重进行了理论分析，叙述了微型薄膜的设计方法和试验结果。; 关键词微机械薄膜平膜纹膜微型传感器薄膜; Keywords micromachined membrane,\ flat membrane,\ corrugated membrane; 分类号 TP212.04 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名用于谐振式传感器的微型双层薄板热挠曲的研究被引量：1: 9; 作者姚振华朱长纯程敏刘君华; 机构西安交通大学真空微电子与微电子机械研究所; 出处《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第2期59-61,共3页; 基金国家自然科学基金博士点基金; 文摘本文对微机械中热胀系数不同的材料构成的双层复合薄板在均匀温升下的挠曲特性进行了研究 ,提出了在均匀温升下双层薄板热挠曲求解的能量法 ,并给出了小挠度下中心挠度与板厚的解析关系 ,为薄膜谐振式传感器温度特性的研究和新型温度传感器的设计与开发打下了基础 .; 关键词薄膜微机械谐振式传感器双层薄板热挠曲; Keywords membrane micro machine resonance sensor double layer membrance thermal buckling uniform temperature elevation; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	微机械薄膜变形镜校正性能及控制算法	李邦明沈建新廖文和张运海	《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	3	在线阅读下载PDF 职称材料
2	微机械薄膜变形镜光学影响函数矩阵的测试与研究	陈珂赵达尊俞信	《高技术通讯》 EI CAS CSCD	2000	3	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于微机械薄膜变形镜的闭环实时模式复原	童桂廖文和梁春	《激光技术》 CAS CSCD 北大核心	2008	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于微机械薄膜变形镜的人眼视网膜成像研究	沈建新钮赛赛	《中国生物医学工程学报》 CAS CSCD 北大核心	2010	2	在线阅读下载PDF 职称材料
5	热环境对微机械多晶硅薄膜电阻电特性的影响	董良岳瑞峰刘理天徐扬李志坚	《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心	2003	1	在线阅读下载PDF 职称材料
6	基于乘子法的微机械薄膜变形镜电压求解方法	李邦明廖文和沈建新梁春	《南京航空航天大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2010	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	微机械薄膜变形镜的闭环校正模型	李邦明廖文和沈建新梁春	《光电工程》 CAS CSCD 北大核心	2009	0	在线阅读下载PDF 职称材料
8	用于微型传感器的薄膜研究	李立杰	《电子器件》 EI CAS	1999	4	在线阅读下载PDF 职称材料
9	用于谐振式传感器的微型双层薄板热挠曲的研究	姚振华朱长纯程敏刘君华	《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2000	1	在线阅读下载PDF 职称材料