摘要
介绍了微机械薄膜变形镜光学影响函数的理论表达式以及其具有的线性叠加性。对OKO公司的 37通道微机械薄膜变形镜进行了实际测量 ,得到了光学影响函数矩阵 ,方便了变形镜的实际使用。实验结果验证了理论推导的正确性。
The mathematical expressions of the optical influence functions for micromachined membrane deformable mirror and their superposition nature are introduced. Then optical influence function matrix is derived experimentally for a 37 channel micromachined membrane deformable mirror made by OKO Co., Ltd. Experimental results have proved the theoretical analysis.
出处
《高技术通讯》
EI
CAS
CSCD
2000年第9期22-26,共5页
Chinese High Technology Letters
基金
863计划资助项目!( 863 3 0 8 15 4)
关键词
自适应光学
微机械薄膜变形镜
光学影响函数
矩阵
测试
Adaptive optics, Micromachined membrane deformable mirror, Optical influence function
