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微机械梳状驱动陀螺仪的理论分析被引量：2: 1; 作者郭秀中阮爱武《传感器技术》 CSCD 1997年第3期23-26,共4页; 在导出静电驱动力表达式的基础上，论述微机械梳状驱动陀螺仪的工作原理和动力学方程，并说明了陀螺仪参数对测量灵敏度的影响．; 关键词微机械陀螺仪梳状驱动动力学方程测量灵敏度; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪工作的微分方程模型被引量：9: 2; 作者罗跃生《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 2003年第1期49-53,共5页; 详细介绍了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的工作原理,给出了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的结构示意图.应用牵连运动的加速度合成定理,通过严格的力学分析和严密的数学演算得到了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的活动质量的加速度表达式... 展开更多; 关键词硅微陀螺仪加速度合成定理硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪微分方程模型; 在线阅读下载PDF 职称材料

单晶硅微构件力学特性片上测试系统被引量：4: 3; 作者苏才钧吴昊 +2 位作者郭占社孟永钢温诗铸《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期456-459,共4页; 设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统。详细介绍测试系统的结构和工作原理。对静电梳状驱动器的驱动电压—驱动力关系、结构刚度以及谐振频率进行计算。利用MEMS(microelectromec... 展开更多; 关键词微电子机械系统单晶硅片上测试静电梳状驱动器疲劳; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于谐振原理的硅微薄膜弯曲疲劳装置的设计被引量：1: 4; 作者丁雷尚德广 +2 位作者张大成贾冠华李浩群《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期330-334,共5页; 根据梳状驱动器原理设计了一种静电力驱动的硅微薄膜弯曲疲劳试验装置,所设计的装置可以由微机电系统表面牺牲层标准工艺制作加工。对所设计疲劳试验装置的圆弧梳状驱动器电容及静电驱动力进行了理论分析,并在此基础上采用有限元分析软... 展开更多; 关键词微机电系统设计疲劳薄膜梳状驱动器有限元分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于谐振原理的微机械疲劳试验装置的研究: 5; 作者丁雷尚德广 +3 位作者张大成沈通贾冠华阎楚良《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期684-689,共6页; 设计出一种基于梳状驱动器原理的静电力驱动的微机械疲劳试验装置,该装置可由典型的表面牺牲层标准工艺制作。对所设计的MEMS(micro-electro-mechanical system)疲劳试验装置中的圆弧梳状驱动器的电容及静电驱动力进行理论分析,并采用AN... 展开更多; 关键词微机电系统疲劳梳状驱动器有限元方法机电耦合分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅微机械陀螺仪的新进展及其方案分析被引量：12: 6; 作者阮爱武冯培德郭秀中《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1998年第2期67-72,共6页; 介绍了国外硅微机械陀螺仪的新进展，综述了梳状驱动振动陀螺仪、压电棒式振动陀螺仪、电磁驱动音叉陀螺仪、振环陀螺仪、静电悬浮转于陀螺仗和微机械加速度计陀螺仪的结构、原理及性能。; 关键词微机械陀螺仪梳状静电驱动压电驱动电磁驱动; 在线阅读下载PDF 职称材料

改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究被引量：1: 7; 作者周顺张燕娥《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1999年第4期30-33,共4页; 以Ｗ．Ｇｅｉｇｅｒ提出的改进型振动轮式微机械陀螺仪为研究对象，分析了结构参数其性能之间的内在联系，探讨了重力极及静电服力对它螺仪工作性能的影响，并以此为依据，提出音叉式驱动器叉指结构最佳间距的设计准则。; 关键词微机械陀螺仪梳状电极驱动振动轮式硅悬浮力; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械梳状驱动陀螺仪的理论分析被引量：2: 1; 作者郭秀中阮爱武; 机构南京航空航天大学三系西安飞行自动控制研究所; 出处《传感器技术》 CSCD 1997年第3期23-26,共4页; 基金航空基础科学基金; 文摘在导出静电驱动力表达式的基础上，论述微机械梳状驱动陀螺仪的工作原理和动力学方程，并说明了陀螺仪参数对测量灵敏度的影响．; 关键词微机械陀螺仪梳状驱动动力学方程测量灵敏度; Keywords Micromachined gyroscope Comb-drive Dynamic equations Detection sensitivity; 分类号 V241.59 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪工作的微分方程模型被引量：9: 2; 作者罗跃生; 机构哈尔滨工程大学理学院; 出处《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD 2003年第1期49-53,共5页; 文摘详细介绍了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的工作原理,给出了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的结构示意图.应用牵连运动的加速度合成定理,通过严格的力学分析和严密的数学演算得到了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的活动质量的加速度表达式.并应用力学牛顿定律推导了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的一个微分方程数学模型.并对数学模型进行了求解,最后利用方程的解分析了硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪的基本工作规律.; 关键词硅微陀螺仪加速度合成定理硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪微分方程模型; Keywords micromachined silicon gyroscope acceleration composition theorem; 分类号 V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名单晶硅微构件力学特性片上测试系统被引量：4: 3; 作者苏才钧吴昊郭占社孟永钢温诗铸; 机构清华大学摩擦学国家重点实验室; 出处《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第4期456-459,共4页; 基金国家自然科学基金(50135040) 中国基础研究基金(2003CB716205) 清华大学基础研究基金(Jc2003013)资助~~; 文摘设计一种集成静电梳状驱动器和测试结构,专用于单晶硅微构件断裂、疲劳性能测试的片上测试系统。详细介绍测试系统的结构和工作原理。对静电梳状驱动器的驱动电压—驱动力关系、结构刚度以及谐振频率进行计算。利用MEMS(microelectromechanicalsystem)体硅工艺制造该测试系统,加工得到的测试系统在显微镜工作台上进行静态和动态弯曲实验,并将实验结果与ANSYS分析结果进行对比。结果表明,该测试系统性能稳定,能够实现对单晶硅微构件的弯曲断裂和疲劳测试。; 关键词微电子机械系统单晶硅片上测试静电梳状驱动器疲劳; Keywords Micro-electro-mechanical system Single-crystal silicon On-chip testing Electrostatic comb actuator Fa-tigue; 分类号 TB302.3 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于谐振原理的硅微薄膜弯曲疲劳装置的设计被引量：1: 4; 作者丁雷尚德广张大成贾冠华李浩群; 机构北京工业大学北京大学; 出处《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期330-334,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(50575004); 文摘根据梳状驱动器原理设计了一种静电力驱动的硅微薄膜弯曲疲劳试验装置,所设计的装置可以由微机电系统表面牺牲层标准工艺制作加工。对所设计疲劳试验装置的圆弧梳状驱动器电容及静电驱动力进行了理论分析,并在此基础上采用有限元分析软件ANSYS对装置进行了模态分析与简谐分析。分析结果表明:当所施加的交流电压频率与结构的一阶固有频率相等时,试样在其缺口根部取得最大应力值,该应力值与所加交直流电压乘积的大小成线性关系,利用该关系式可对试验所需电压值进行预测。有限元分析和制造结果观测表明,所设计的装置符合微机械疲劳试验要求。; 关键词微机电系统设计疲劳薄膜梳状驱动器有限元分析; Keywords micro- electro- mechanical system design fatigue thin film comb driver FEA; 分类号 TB873.3 [一般工业技术—摄影技术] TB302.3 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于谐振原理的微机械疲劳试验装置的研究: 5; 作者丁雷尚德广张大成沈通贾冠华阎楚良; 机构北京工业大学机电学院北京大学微电子学系; 出处《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第5期684-689,共6页; 基金国家自然科学基金资助项目(50575004) 北京市拔尖创新人才资助项目~~; 文摘设计出一种基于梳状驱动器原理的静电力驱动的微机械疲劳试验装置,该装置可由典型的表面牺牲层标准工艺制作。对所设计的MEMS(micro-electro-mechanical system)疲劳试验装置中的圆弧梳状驱动器的电容及静电驱动力进行理论分析,并采用ANSYS机电耦合单元对装置的振动过程进行模拟,模拟结果与理论分析相吻合。研究结果表明在一定范围交流电压的驱动下试样能达到MEMS疲劳测试所要求的应力水平,并对该电压范围进行预测。; 关键词微机电系统疲劳梳状驱动器有限元方法机电耦合分析; Keywords Micro-electro-mechanical system（MEMS） Fatigue Comb driver Finite element method Electromechanical coupled-field analysis; 分类号 TH873.31 [机械工程—精密仪器及机械] TB302.3 [一般工业技术—材料科学与工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅微机械陀螺仪的新进展及其方案分析被引量：12: 6; 作者阮爱武冯培德郭秀中; 机构西北工业大学飞行自动控制研究所南京航空航天大学; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 1998年第2期67-72,共6页; 文摘介绍了国外硅微机械陀螺仪的新进展，综述了梳状驱动振动陀螺仪、压电棒式振动陀螺仪、电磁驱动音叉陀螺仪、振环陀螺仪、静电悬浮转于陀螺仗和微机械加速度计陀螺仪的结构、原理及性能。; 关键词微机械陀螺仪梳状静电驱动压电驱动电磁驱动; Keywords micromachined gyro electrostatic combdrive piezoelectric drive eletromagnetic drive; 分类号 V241.5 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究被引量：1: 7; 作者周顺张燕娥; 机构东南大学仪器科学与工程系; 出处《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD 1999年第4期30-33,共4页; 基金国防科技预研资助; 文摘以Ｗ．Ｇｅｉｇｅｒ提出的改进型振动轮式微机械陀螺仪为研究对象，分析了结构参数其性能之间的内在联系，探讨了重力极及静电服力对它螺仪工作性能的影响，并以此为依据，提出音叉式驱动器叉指结构最佳间距的设计准则。; 关键词微机械陀螺仪梳状电极驱动振动轮式硅悬浮力; Keywords micromechanical gyroscope comb drive electrode levitation optimal displacement; 分类号 U666.123 [交通运输工程—船舶及航道工程] V241.5; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	微机械梳状驱动陀螺仪的理论分析	郭秀中阮爱武	《传感器技术》 CSCD	1997	2	在线阅读下载PDF 职称材料
2	硅微型梳状线振动驱动式陀螺仪工作的微分方程模型	罗跃生	《哈尔滨工程大学学报》 EI CAS CSCD	2003	9	在线阅读下载PDF 职称材料
3	单晶硅微构件力学特性片上测试系统	苏才钧吴昊郭占社孟永钢温诗铸	《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心	2005	4	在线阅读下载PDF 职称材料
4	基于谐振原理的硅微薄膜弯曲疲劳装置的设计	丁雷尚德广张大成贾冠华李浩群	《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心	2008	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	基于谐振原理的微机械疲劳试验装置的研究	丁雷尚德广张大成沈通贾冠华阎楚良	《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心	2006	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	硅微机械陀螺仪的新进展及其方案分析	阮爱武冯培德郭秀中	《中国惯性技术学报》 EI CSCD	1998	12	在线阅读下载PDF 职称材料
7	改进型振动轮式硅微机械陀螺仪的研究	周顺张燕娥	《东南大学学报（自然科学版）》 EI CAS CSCD	1999	1	在线阅读下载PDF 职称材料