期刊文献+
共找到121篇文章
< 1 2 7 >
每页显示 20 50 100
基于MEMS技术的硅微机械流体传感器的原理及应用 被引量:2
1
作者 张树生 韩克江 成健 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2007年第3期4-6,共3页
传统的流体传感器由于存在着灵敏度低、体积大、成本高等缺点,而且微流体与宏观流体流动特性不同,所以其在微流体的流体特性测量中存在很大的局限性。随着MEMS技术的发展,硅微机械流体传感器的出现克服了传统流体传感器的缺点。硅微机... 传统的流体传感器由于存在着灵敏度低、体积大、成本高等缺点,而且微流体与宏观流体流动特性不同,所以其在微流体的流体特性测量中存在很大的局限性。随着MEMS技术的发展,硅微机械流体传感器的出现克服了传统流体传感器的缺点。硅微机械流体传感器已成为MEMS的研究热点之一。按其用途进行了分类,着重介绍了流体压力传感器、流量传感器和表层摩擦力传感器。分别从各种传感器的基本原理、性能、应用范围、优缺点及其所能达到的技术指标方面进行了描述。基于MEMS的硅微机械流体传感器具有广阔的前景。 展开更多
关键词 mems 微机流体传感器 基本原理
在线阅读 下载PDF
微电子技术在石英微机械振动陀螺中的应用 被引量:7
2
作者 林日乐 张巧云 +3 位作者 谢佳维 翁邦英 王瑞 赵建华 《中国惯性技术学报》 EI CSCD 2004年第4期43-46,共4页
叙述了采用微电子技术加工石英微机械振动陀螺振子的原理和基本过程,介绍了陀螺振子加工的研究结果和石英微机械陀螺的最新研究进展。
关键词 电子技术 石英 微机振动陀螺 陀螺振子 光刻工艺
在线阅读 下载PDF
超固体润滑及其在微机械电子系统中的应用前景 被引量:6
3
作者 董海军 王三民 +1 位作者 李建华 陈国定 《机械科学与技术》 CSCD 北大核心 2002年第2期266-268,共3页
介绍了超固体润滑的概念 ,综述了超固体润滑的研究现状和近年来的研究成果 ,通过对微机械电子系统摩擦学问题的讨论 ,分析了超固体润滑在微机械电子系统中应用的前景 。
关键词 超固体润滑 纳米摩擦学 微机电子系统
在线阅读 下载PDF
一种新型的微机械电子隧穿加速度计 被引量:3
4
作者 杨拥军 李立杰 +3 位作者 徐永青 赵彦军 梁春广 魏同立 《东南大学学报(自然科学版)》 EI CAS CSCD 2000年第6期23-27,共5页
介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计 .利用体硅微机械加工工艺和硅 /玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计 .为了有效减小低频噪声 ,在反馈回路里加入了振荡器和解调器 .测试结果表明 ,目前样品的分辨率约为 ... 介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计 .利用体硅微机械加工工艺和硅 /玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计 .为了有效减小低频噪声 ,在反馈回路里加入了振荡器和解调器 .测试结果表明 ,目前样品的分辨率约为 1 0 -6 gHz ,抗冲击能力达到 5 0g . 展开更多
关键词 加速度计 电子隧穿 微机 反馈回路 振荡器 解调器
在线阅读 下载PDF
低功耗检测CO_(2)的MEMS红外光源结构设计与仿真
5
作者 滕雪松 禹胜林 +3 位作者 魏志杰 房村 熊思娴 王梦婷 《红外技术》 CSCD 北大核心 2024年第8期858-863,共6页
传统的二氧化碳传感器存在着体积大、功耗高等问题,近年来随着半导体技术和材料的发展,MEMS技术逐渐成为传感器的研究重点。研究并设计了一种适用于二氧化碳传感器的微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)红外光源芯片结构... 传统的二氧化碳传感器存在着体积大、功耗高等问题,近年来随着半导体技术和材料的发展,MEMS技术逐渐成为传感器的研究重点。研究并设计了一种适用于二氧化碳传感器的微机电系统(micro-electro-mechanical system,MEMS)红外光源芯片结构,采用硅(Si)作为基底,氧化硅(SiO_(2))-氮化硅(Si_(3)N_(4))-氧化硅(SiO_(2))作为红外光源的支撑层材料,辐射区的加热电阻采用延展性良好的铂(Pt),以铝(Al)为电极。光源的支撑层采用四轴大圆角悬空结构,极大减少了辐射区热量向衬底的热传导且稳定性较好,通过有限元仿真分析,该光源具有低功耗和结构稳固的特点。 展开更多
关键词 微机电子系统 红外光源 低功耗 稳固结构
在线阅读 下载PDF
基于MEEMD的MEMS陀螺仪降噪方法
6
作者 侯梦婷 王雪梅 +3 位作者 单斌 许哲 李灿 郑雨晞子 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2024年第3期409-415,共7页
为了有效抑制微机械陀螺仪的随机误差,基于改进的经验模态分解(MEEMD),结合粒子群优化算法(QPSO)优化的卡尔曼滤波(KF),提出了一种微机械陀螺仪降噪方法。通过引入排列熵的概念对微机械陀螺信号进行分解得到本征模态分量;计算各分量排列... 为了有效抑制微机械陀螺仪的随机误差,基于改进的经验模态分解(MEEMD),结合粒子群优化算法(QPSO)优化的卡尔曼滤波(KF),提出了一种微机械陀螺仪降噪方法。通过引入排列熵的概念对微机械陀螺信号进行分解得到本征模态分量;计算各分量排列熵,分析排列熵变化趋势筛选出信号噪声混叠的分量,对其中混叠的分量分析建模,采用QPSO-KF算法滤波去噪;再对滤波结果和信号主导的分量进行重构,实现微机械陀螺信号降噪。实验验证了所提方法的有效性,相比传统经验模态分解(EMD)、KF精度提高了1个数量级,验证了所提方法的有效性和精度。 展开更多
关键词 微机(mems)陀螺仪 经验模态分解 多尺度熵 粒子群优化 卡尔曼滤波
在线阅读 下载PDF
基于支持度的椭球拟合微机械电子系统加速度计现场标定方法研究 被引量:2
7
作者 周泉 姚敏立 沈晓卫 《兵工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第1期68-74,共7页
为解决微机械电子系统(MEMS)中加速度计的零位漂移误差、标度因数误差和交叉耦合误差随时间推移而变化的问题,提出一种基于支持度的椭球拟合MEMS加速度计现场标定方法。该方法能够在室外进行简单、快捷和高效的标定,其本质是在传统的椭... 为解决微机械电子系统(MEMS)中加速度计的零位漂移误差、标度因数误差和交叉耦合误差随时间推移而变化的问题,提出一种基于支持度的椭球拟合MEMS加速度计现场标定方法。该方法能够在室外进行简单、快捷和高效的标定,其本质是在传统的椭球拟合法基础上,采用支持度法与椭球体法相结合的方法,通过建立椭球约束模型和支持度矩阵对MEMS加速度计的误差进行标定,继而使用误差补偿方程对MEMS加速度计进行输出补偿,最终实现高精度标度。通过椭球拟合对比实验和时间推移实验,证实了该方法可在没有精密标定设备情况下进行标定,其标定精度比传统椭球拟合法提升1倍。 展开更多
关键词 微机电子系统加速度计 支持度 椭球拟合 现场标定 误差补偿
在线阅读 下载PDF
微机械在微电子技术中的应用
8
作者 谢国章 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 1995年第4期55-56,64,共3页
从微电子技术诞生的微机械技术,在微电子技术中也有重要应用。本文列举了微流量计、微致动器、光掩模、蒸发掩模等几种典型应用,从中可看出微机械技术对微电子技术向更高水平发展有显著的促进作用。
关键词 微机 电子加工 电子技术 应用 硅材料
在线阅读 下载PDF
微机械电子学—机械电子学的新发展
9
作者 廉仲 王庭树 《电子科技大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1991年第3期311-315,共5页
综述了机械电子学的新发展,即近年来出现的微机械电子学;介绍了如何利用 IC(集成电路)的微细加工技术制造微型机构、微型执行器等,以及微机械电子学产品的应用前景.
关键词 电子 微细加工 微机电子
在线阅读 下载PDF
MEMS矢量水听器定位误差分析与测试 被引量:2
10
作者 宋小鹏 张丛 +3 位作者 赵玉林 尹彦梅 石归雄 薛晨阳 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2011年第6期930-934,共5页
针对一种纤毛式微机械电子(MEMS)矢量水听器的工作原理进行分析,通过分析得出该矢量微传感器的定位误差主要来源于纤毛柱体的偏差。通过有限元仿真分析得出纤毛柱体的偏差对矢量水听器在两个方向上的灵敏度有较大影响,理论计算出在纤毛... 针对一种纤毛式微机械电子(MEMS)矢量水听器的工作原理进行分析,通过分析得出该矢量微传感器的定位误差主要来源于纤毛柱体的偏差。通过有限元仿真分析得出纤毛柱体的偏差对矢量水听器在两个方向上的灵敏度有较大影响,理论计算出在纤毛偏移下2个轴向灵敏度度误差为9.74%。对水听器结构进行轴向灵敏度测试,测出x向灵敏度为0.683mV/g(其中g为重力加速度),y向灵敏度为0.755mV/g,两个方向上灵敏度相对误差为9.5%,与仿真结果接近。 展开更多
关键词 矢量水听器 微机电子(mems) 误差 纤毛
在线阅读 下载PDF
微机械加工技术在微传感器中的应用 被引量:7
11
作者 胡明 马家志 +1 位作者 邹俊 张之圣 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2002年第4期268-270,302,共4页
随着微传感器的广泛应用 ,微机械加工技术被越来越多地应用于传感器的制造工艺中。从微机械加工技术的关键工艺入手 ,分别对体微机械加工技术和表面微机械加工技术加以介绍 。
关键词 微机加工技术 微传感器 电子系统 mems 各向异性腐蚀 多晶硅
在线阅读 下载PDF
微机械及纳米计量科学 被引量:12
12
作者 徐毅 高思田 +1 位作者 王春艳 叶孝佑 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第3期272-274,共3页
简要介绍用于 MENs和微电子标准的纳米计量技术 ,并对其发展提出建议。
关键词 微机 电子 纳米测量 精密仪器
在线阅读 下载PDF
微电子机械系统的力学特性与尺度效应 被引量:25
13
作者 梅涛 孔德义 +1 位作者 张培强 伍小平 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期373-379,共7页
针对微电子机械系统 (MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则 ,并系统地分析、归纳了... 针对微电子机械系统 (MEMS)材料的力学特性、工艺过程对力学特性的影响以及微执行器、微机器人的尺度效应等力学问题进行了研究。从力学角度提出了硅和常用的薄膜材料作为MEMS结构材料时应遵循的设计和加工原则 ,并系统地分析、归纳了静电、电磁、压电、形状记忆合金等各种微执行器的尺度效应特征。通过对机器蚂蚁、微型飞机、微型机器鱼等微机器人在微尺度下的动力学特性分析 ,得到微机器人在尺寸越小时越容易被驱动的结论 。 展开更多
关键词 电子系统 硅材料 尺度效应 微执行器 微机器人 微机 力学特性
在线阅读 下载PDF
微机械陀螺的发展现状 被引量:37
14
作者 李新刚 袁建平 《力学进展》 EI CSCD 北大核心 2003年第3期289-301,共13页
随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,属于MEMS研究内容之一的微机械陀螺,在汽车工业需求的推动下,已经成为过去几十年内广泛研究和发展的主题。微机械陀螺与传统机械式陀螺、固体陀螺、光学陀螺等相比,具有成本低、尺寸... 随着对微电子机械系统(MEMS)的深入研究和取得的进展,属于MEMS研究内容之一的微机械陀螺,在汽车工业需求的推动下,已经成为过去几十年内广泛研究和发展的主题。微机械陀螺与传统机械式陀螺、固体陀螺、光学陀螺等相比,具有成本低、尺寸小、重量轻、可靠性高等优点,其精度正不断得到提高,应用领域也随之不断扩大.本文首先简要介绍了微机械陀螺的定义及特征、性能指标、工作原理、分类以及加工技术,随后对己出现的不同类型微机械陀螺的结构、加工方式、工作原理以及性能进行了综述,最后对微机械陀螺的商业化现状以及发展趋势进行了展望。 展开更多
关键词 微机陀螺 发展现状 电子系统 mems 结构特点 工作原理 加工方法 哥氏加速度 汽车
在线阅读 下载PDF
低电压驱动的硅基Ka波段级联式MEMS移相器 被引量:4
15
作者 石艳玲 卿健 +3 位作者 李炜 忻佩胜 朱自强 赖宗声 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第12期1914-1916,共3页
通过在共平面波导上周期性地分布微机械电容 ,外加电压驱动改变电容值 ,可实现级联式MEMS移相器 .本文讨论了优化相移特性对共平面波导特性阻抗及下拉电压的要求 ,通过工艺参数优化制备了高阻硅基上的Ka波段级联式MEMS移相器 ,测试结果... 通过在共平面波导上周期性地分布微机械电容 ,外加电压驱动改变电容值 ,可实现级联式MEMS移相器 .本文讨论了优化相移特性对共平面波导特性阻抗及下拉电压的要求 ,通过工艺参数优化制备了高阻硅基上的Ka波段级联式MEMS移相器 ,测试结果表明制备器件具有较低的驱动电压 ,8V时即产生明显的相移量 ,在 36GHz处 15V驱动电压时相移量为 118°,2 5V时为 2 86°.对微结构弹性膜的机械振动寿命测试表明 ,13级级联的MEMS移相器所有弹性膜同步振动的寿命为 3× 10 6次 .为器件的实用化提供了重要保障 . 展开更多
关键词 微机移相器 高阻硅 驱动电压 振动寿命 mems 共平面波导
在线阅读 下载PDF
常压下工作的微机械陀螺的频率和阻尼特性 被引量:6
16
作者 刘晓为 陈宏 +2 位作者 陈伟平 陆学斌 韩天 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期2268-2271,共4页
对微机械陀螺振动式陀螺的频率和阻尼特性进行了分析和模拟.以设计的一种微机械陀螺为模型,对其驱动和检测方向的阻尼力系数进行了计算,利用MATLAB模拟了阻尼对灵敏度以及频率特性的影响.得出了不仅频率匹配对微机械陀螺的性能有重要影... 对微机械陀螺振动式陀螺的频率和阻尼特性进行了分析和模拟.以设计的一种微机械陀螺为模型,对其驱动和检测方向的阻尼力系数进行了计算,利用MATLAB模拟了阻尼对灵敏度以及频率特性的影响.得出了不仅频率匹配对微机械陀螺的性能有重要影响,而且阻尼匹配也会影响陀螺的灵敏度和频率特性. 展开更多
关键词 微机电子系统 陀螺 阻尼匹配 频率特性
在线阅读 下载PDF
薄膜型硅微机械的摩擦学问题 被引量:9
17
作者 陈晓阳 沈雪瑾 陆景唐 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第1期36-39,共4页
根据现阶段表面硅 IC工艺微机械的特点 ,分析了其接触副与动构件间的相对运动形式 ,探讨了基于此加工技术所开发的薄膜型结构微机械的摩擦源及其摩擦产生机理 ,结合宏机械的发展历史 。
关键词 IC工艺 摩擦学 mems 微机
在线阅读 下载PDF
MEMS陀螺仪的一种实用标定法 被引量:27
18
作者 宋丽君 秦永元 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2010年第3期372-374,378,共4页
主要介绍了一种微机械系统(MEMS)陀螺仪的速率标定法,根据MEMS陀螺仪的输出数学模型,详细推导了如何得到MEMS陀螺仪的输出数学模型中的零漂、刻度因数和安装误差,并在得到其标定系数后将其封装在C函数中进行验证实验。通过实验数据分析... 主要介绍了一种微机械系统(MEMS)陀螺仪的速率标定法,根据MEMS陀螺仪的输出数学模型,详细推导了如何得到MEMS陀螺仪的输出数学模型中的零漂、刻度因数和安装误差,并在得到其标定系数后将其封装在C函数中进行验证实验。通过实验数据分析可知,MEMS陀螺仪速率标定法原理简单,易于实现,且精度较高。此标定法所得到的MEMS陀螺仪输出数学模型能较准确地反映其输出,且MEMS陀螺仪的线性度有所改善。 展开更多
关键词 微机系统(mems)陀螺仪 误差模型 速率标定 刻度因数 安装误差 线性度
在线阅读 下载PDF
GaAs基微机械加工技术 被引量:6
19
作者 张斌珍 李科杰 +2 位作者 张文栋 薛晨阳 陈建军 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2006年第7期481-484,共4页
为了进一步提高传感器的灵敏度,提出了利用GaAs半导体材料来突破硅的极限,阐明了GaAs材料的优越特性和发展GaAs基MEMS的必要性。概述了GaAs微机械加工的刻蚀技术、体微机械加工技术和表面微机械加工技术的特点,对相应的GaAs微机械加工... 为了进一步提高传感器的灵敏度,提出了利用GaAs半导体材料来突破硅的极限,阐明了GaAs材料的优越特性和发展GaAs基MEMS的必要性。概述了GaAs微机械加工的刻蚀技术、体微机械加工技术和表面微机械加工技术的特点,对相应的GaAs微机械加工工艺进行了举例分析,并介绍了国内首次制作的GaAs基MEMS微结构,为GaAsMEMS的进一步发展奠定了基础。 展开更多
关键词 电子系统 微机加工技术 砷化镓
在线阅读 下载PDF
梳齿式微机械加速度计的研制 被引量:5
20
作者 李童杰 董景新 刘云峰 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第3期320-324,共5页
微机械加速度计作为微机电系统(MEMS)的一个重要产品,目前已经得到了广泛应用。本文首先从整体上提出了微机械加速度计的工作原理和数学模型,并着重讨论了各个部分之间的关系;然后根据敏感元件的特性,对伺服回路的几个关键参数,即预载... 微机械加速度计作为微机电系统(MEMS)的一个重要产品,目前已经得到了广泛应用。本文首先从整体上提出了微机械加速度计的工作原理和数学模型,并着重讨论了各个部分之间的关系;然后根据敏感元件的特性,对伺服回路的几个关键参数,即预载电压、PID校正参数和反馈增益,进行了分析;本文最后给出了一种加速度计整体性能的测试结果,结果表明:微机械加速度计的量程为±15gn,非线性度为0.041 9%,阈值为0.15 mgn,2 h稳定性误差为0.084 5 mgn,逐次启动重复性误差为0.156 mgn。 展开更多
关键词 mems 梳齿式 微机加速度计
在线阅读 下载PDF
上一页 1 2 7 下一页 到第
使用帮助 返回顶部