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1
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微机械加工技术在微传感器中的应用 |
胡明
马家志
邹俊
张之圣
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《压电与声光》
CSCD
北大核心
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2002 |
7
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2
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GaAs基微机械加工技术 |
张斌珍
李科杰
张文栋
薛晨阳
陈建军
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《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
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2006 |
6
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3
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微机械加工技术 |
杨岳
周兆英
叶雄英
李勇
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《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
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1994 |
5
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4
|
微机械加工技术在传感器制作中的应用 |
张巧云
吕志清
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《压电与声光》
CSCD
北大核心
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1998 |
5
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5
|
硅微机械加工的削角补偿技术 |
陈伟平
王东红
马国忠
王贵华
徐景俊
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《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
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1997 |
1
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|
6
|
硅基微机械加工技术 |
袁明权
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《半导体技术》
CAS
CSCD
北大核心
|
2001 |
5
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7
|
微机械加工中的图形硅片键合技术 |
陈德英
茅盘松
袁璟
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《固体电子学研究与进展》
CAS
CSCD
北大核心
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1999 |
1
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8
|
一种基于表面微机械加工技术的单晶硅微谐振器 |
陈伟平
王东红
虞悙
王贵华
于杰
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《哈尔滨工业大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
|
1998 |
0 |
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9
|
基于硅微机械加工波导W波段功率合成放大器 |
成海峰
朱翔
候芳
胡三明
郭健
石归雄
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《红外与毫米波学报》
SCIE
EI
CAS
CSCD
北大核心
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2021 |
4
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10
|
新型微机械加工为微器件开辟新应用领域 |
Chris Bang
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《电子产品世界》
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2004 |
0 |
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11
|
硅微机械加工技术 |
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《中国集成电路》
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2007 |
0 |
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12
|
硅微机械加工技术 |
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《电子工程师》
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2006 |
0 |
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13
|
日本用表面微机械加工技术制备成功集成热释电红外传感器阵列 |
高国龙
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《红外》
CAS
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2010 |
1
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14
|
光学和光电子系统用的微机械加工技术 |
李拴庆
周立军
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《半导体情报》
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1999 |
0 |
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15
|
镍表面微机械加工 |
周立军
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《半导体情报》
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1997 |
2
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16
|
我国建成首条微机械加工工艺生产线 |
|
《微纳电子技术》
CAS
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2002 |
0 |
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17
|
新的用于微系统的硅微机械加工技术(上) |
P.J.French
贡树行
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《红外》
CAS
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2000 |
0 |
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18
|
新的用于微系统的硅微机械加工技术(下) |
P.J.French
贡树行
|
《红外》
CAS
|
2000 |
0 |
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19
|
微机械加工技术及其在传感器中的应用 |
齐向前
|
《河南科技》
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2013 |
0 |
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20
|
微机械加工石英角速率传感器 |
史长捷
|
《遥测遥控》
|
1997 |
0 |
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