硅微机械加工技术

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摘要微机械的全称为微电子机械系统，是以微电子技术和微加工技术为基础的一项新技术。目前主要应用的是硅微加工方法。本书着重介绍了硅微加工技术中应用的各种方法，包括各向异性湿法化学腐蚀、硅片键合、表面微机械加工、硅的各向同性湿法化学腐蚀、微机械加工技术中干法等离子刻蚀技术、远程等离子腐蚀、高深宽比沟槽腐蚀、微型结构的铸模等内容。

出处《电子工程师》 2006年第12期57-57,共1页 Electronic Engineer

关键词硅微机械加工技术湿法化学腐蚀微电子机械系统表面微机械加工微加工技术等离子腐蚀微电子技术加工方法

分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]

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