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热场发射电子枪在电子束光刻机中的应用研究: 1; 作者郝晓亮赵英伟 +4 位作者孙虎王秀海曹健马培圣任泽生《电子技术应用》 2022年第4期44-47,52,共5页; 介绍了电子枪的分类与特点,重点介绍了热场发射电子枪的原理、结构、特点及在电子束光刻机中的应用。阐述了电子束光刻机束流与电子枪提取极电流之间关系,并分析了热场发射电子枪各个参数对提取极电流的影响。研究了热场发射电子枪的调... 展开更多; 关键词热场发射电子枪电子束束流电子束束斑电子束光刻机; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于DSP增益可控的光刻机测高电路的设计研究: 2; 作者赵英伟郝晓亮 +2 位作者张文雅马培圣文黎波《电子技术应用》 2021年第8期120-122,132,共4页; 介绍了激光三角法高度测量技术和基于数字信号处理器DSP与线阵CCD的激光高度测量系统。采用比例恒流源和镜像恒流源组合,设计了输出功率稳定可调的激光二极管驱动电路和线阵CCD的驱动电路,借助DSP定时器周期调节灵活的优点,方便地调节... 展开更多; 关键词激光三角法线阵CCD 数字信号处理器光刻机; 在线阅读下载PDF 职称材料

基于CPCI总线的涂胶台工控机维修: 3; 作者马培圣《电子工业专用设备》 2013年第6期54-56,共3页; 阐述了一般工控机的定义和组成,介绍了CPCI工控机的特点和优势,以涂胶台为例,讲述了CPCI工控机的具体组成结构及功能,根据维修经验,对工控机蓝屏、通讯问题等典型故障的解决方法进行了分析说明。; 关键词涂胶台 CPCI 工控机蓝屏通讯故障处理; 在线阅读下载PDF 职称材料

故障树分析法在RIE故障诊断中的应用: 4; 作者马培圣《电子工业专用设备》 2013年第5期62-64,共3页; 基于半导体刻蚀技术,对RIE(反应离子刻蚀)的技术原理和等离子启辉原理进行了阐述,概括介绍了故障树分析法,绘制了启辉故障的故障树,分析了造成该故障的各种原因,并根据维修经验介绍了APC(自动压力控制)故障和AMU(自动匹配网络)故障等一... 展开更多; 关键词反应离子刻蚀等离子故障树自动压力控制自动匹配网络; 在线阅读下载PDF 职称材料

气动增压泵级连及故障分析: 5; 作者申承志马培圣《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期166-168,共3页; 基于实际应用,介绍了气动增压泵原理和级连方法。总结了对增压泵的维修经验,阐述了缺少进口增压泵维修资料的现状。分析了增压泵的常见故障和一些特殊故障。采用观测方法测试了增压泵1的P1口压强和增压泵2的换向阀右端压强。给出了增压... 展开更多; 关键词气动增压泵级连维修故障分析; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名热场发射电子枪在电子束光刻机中的应用研究: 1; 作者郝晓亮赵英伟孙虎王秀海曹健马培圣任泽生; 机构中国电子科技集团公司第十三研究所; 出处《电子技术应用》 2022年第4期44-47,52,共5页; 基金河北省省级科技计划(20351803D)。; 文摘介绍了电子枪的分类与特点,重点介绍了热场发射电子枪的原理、结构、特点及在电子束光刻机中的应用。阐述了电子束光刻机束流与电子枪提取极电流之间关系,并分析了热场发射电子枪各个参数对提取极电流的影响。研究了热场发射电子枪的调校对电子束光刻工艺的影响,并通过实验得出束斑与束流的关系。最后通过调整电子枪参数,制备了不同的光刻图形,满足了不同的光刻工艺要求,验证了分析的结论。; 关键词热场发射电子枪电子束束流电子束束斑电子束光刻机; Keywords thermal field emission(TFE)gun electron beam current electron beam spot electron beam lithography machine; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于DSP增益可控的光刻机测高电路的设计研究: 2; 作者赵英伟郝晓亮张文雅马培圣文黎波; 机构中国电子科技集团公司第十三研究所; 出处《电子技术应用》 2021年第8期120-122,132,共4页; 基金河北省省级科技计划资助(20351803D)。`。; 文摘介绍了激光三角法高度测量技术和基于数字信号处理器DSP与线阵CCD的激光高度测量系统。采用比例恒流源和镜像恒流源组合,设计了输出功率稳定可调的激光二极管驱动电路和线阵CCD的驱动电路,借助DSP定时器周期调节灵活的优点,方便地调节光积分时间来提高信号质量。针对光刻工艺中不同的测量对象表面的光学特征,自动进行激光二极管增益控制和光积分时间调节,提高测量的适应性和测量效率。; 关键词激光三角法线阵CCD 数字信号处理器光刻机; Keywords laser triangulation linear array CCD digital signal processor DSP lithography machine; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于CPCI总线的涂胶台工控机维修: 3; 作者马培圣; 机构中国电子科技集团公司第十三研究所; 出处《电子工业专用设备》 2013年第6期54-56,共3页; 文摘阐述了一般工控机的定义和组成,介绍了CPCI工控机的特点和优势,以涂胶台为例,讲述了CPCI工控机的具体组成结构及功能,根据维修经验,对工控机蓝屏、通讯问题等典型故障的解决方法进行了分析说明。; 关键词涂胶台 CPCI 工控机蓝屏通讯故障处理; Keywords Coator equipment CPCI IPC blue screen communication troubleshooting; 分类号 TP23 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名故障树分析法在RIE故障诊断中的应用: 4; 作者马培圣; 机构中国电子科技集团公司第十三研究所; 出处《电子工业专用设备》 2013年第5期62-64,共3页; 文摘基于半导体刻蚀技术,对RIE(反应离子刻蚀)的技术原理和等离子启辉原理进行了阐述,概括介绍了故障树分析法,绘制了启辉故障的故障树,分析了造成该故障的各种原因,并根据维修经验介绍了APC(自动压力控制)故障和AMU(自动匹配网络)故障等一些典型因素的处理方法。; 关键词反应离子刻蚀等离子故障树自动压力控制自动匹配网络; Keywords RIE（Reactive Ion Etching） Plasma Fault tree APC（Auto Pressure Control） AMU（Auto Match Unit）; 分类号 TN305 [电子电信—物理电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名气动增压泵级连及故障分析: 5; 作者申承志马培圣; 机构中国电子科技集团公司第十三研究所; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第2期166-168,共3页; 文摘基于实际应用,介绍了气动增压泵原理和级连方法。总结了对增压泵的维修经验,阐述了缺少进口增压泵维修资料的现状。分析了增压泵的常见故障和一些特殊故障。采用观测方法测试了增压泵1的P1口压强和增压泵2的换向阀右端压强。给出了增压泵1不受控的原因和增压泵2停止不动的原因。指出今后的发展方向主要集在提高可靠性和小型化上。结果表明,如果有备件,进口增压泵可以做到现场维修,从而提高维修速率和设备完好率。; 关键词气动增压泵级连维修故障分析; Keywords air driven booster combined in series maintain analysis of malfunction; 分类号 TB752.26 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

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1	热场发射电子枪在电子束光刻机中的应用研究	郝晓亮赵英伟孙虎王秀海曹健马培圣任泽生	《电子技术应用》	2022	在线阅读下载PDF 职称材料
2	基于DSP增益可控的光刻机测高电路的设计研究	赵英伟郝晓亮张文雅马培圣文黎波	《电子技术应用》	2021	在线阅读下载PDF 职称材料
3	基于CPCI总线的涂胶台工控机维修	马培圣	《电子工业专用设备》	2013	在线阅读下载PDF 职称材料
4	故障树分析法在RIE故障诊断中的应用	马培圣	《电子工业专用设备》	2013	在线阅读下载PDF 职称材料
5	气动增压泵级连及故障分析	申承志马培圣	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2010	在线阅读下载PDF 职称材料