摘要
自动化物料运输系统(Automated Material Handling System,AMHS)是12英寸晶圆制造系统至关重要的组成部分,AMHS中的天车(Overhead Hoist Transport,OHT)频繁堵塞严重影响AMHS和晶圆制造系统的运行性能。为减少AMHS运行中的OHT堵塞,提出一种基于运输导轨通行权重动态调整与Dijkstra算法(Guide-rail Passing-weight Dynamic Adjustment and Dijkstra Algorithm,GPDADA)的动态路径规划方法。方法基于各运输导轨中的OHT实时通行时间与实时堵塞信息动态调整运输导轨通行权重表,并采用Dijkstra算法动态获取通行权重加权最小的OHT优化搬运路径。实验研究表明,提出的GPDADA方法在多个AMHS性能指标方面均优于传统OHT防堵塞路径规划方法,验证了GPDADA方法的有效性。
Automatic material handling systems(AMHS)are vital parts of the 12-inch wafer manufacturing sys-tems.The frequent congestion of overhead hoist transporter(OHT)seriously affects the operation performance of AMHS and wafer manufacturing systems.To deal with the trafic congestion of AMHS,a dynamic path planning ap-proach based on the guide-rail passing-weight dynamic adjustment method and Dijkstra algorithm(GPDADA)is pro-posed.The guide rail's passing weight table was dynamically adjusted based on the OHT's real-time passing time and guide rails'real-time congestion information in each transportation guide rail.The OHT transport route with the smal-lest passing weight sum was dynamically regulated with the Dijkstra algorithm.The experimental results indicate that the GPDADA method is superior to the traditional OHT anti-congestion path planning method in multiple AMHS per-formance metrics,which shows the effectiveness of the proposed method.
作者
吴立辉
李元生
周秀
张中伟
WU Li-hui;LI Yuan-sheng;ZHOU Xiu;ZHANG Zhong-wei(School of Mechanical and Electrical Engineering,Henan University of Technology,Zhengzhou Henan 450001,China;School of Mechanical Engineering,Shanghai Institute of Technology,Shanghai 201418,China)
出处
《计算机仿真》
北大核心
2023年第11期284-289,共6页
Computer Simulation
基金
国家自然科学基金项目(U1704156)
河南省科技攻关计划项目(212102210357)
上海应用技术大学引进人才科研启动项目(YJ2022-33)。
作者简介
吴立辉(1981-),男(汉族),湖南省邵阳市人,教授,博士生导师,主要研究领域为复杂制造系统调度、控制与仿真;李元生(1998-),男(汉族),河南省济源市人,硕士研究生,主要研究领域为物料运输系统调度;周秀(1999-),女(汉族),湖南省怀化市人,硕士研究生,主要研究领域为物料运输系统调度;张中伟(1987),男(汉族),河南省正阳市人,副教授,硕士生导师,主要研究领域为可持续制造、智能制造。
