摘要
针对半导体炉管区瓶颈设备的批处理调度问题,提出满足工艺约束和设备限制的组批调度算法.在考虑产品动态到达的基础上,根据半导体制造系统大规模、多重入、混合型生产等特征,针对晶圆平均等待时间进行优化,实现多产品、多机台的实时组合派工.仿真实验在一个虚拟的晶圆制造系统上进行.结果表明,该算法在实时派工中对瓶颈设备填充率和利用率显著提升,有效地缩短了产品加工周期.
To solve the scheduling problem of batch processing machine in the furnace district of semiconductor wafer fabrication system（SWFS）,this paper proposed a scheduling algorithm which satisfies the process constraint and equipment limitations.Considering the dynamic arrival of lots and the SWFS＇s features of large scale and multiple re-entrant process,the algorithm may realize the real-time combinatory dispatching of multi-product and multi-machine by optimizing average waiting time of lots.The simulation based experiments were executed on a virtual SWFS fab simulation platform,and the result shows that the algorithm can significantly improve the fill rate and the utilization of the bottleneck,thus shorten the cycle time in real-time dispatching.
出处
《上海交通大学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2013年第2期230-235,共6页
Journal of Shanghai Jiaotong University
基金
国家自然科学基金(50475027)
国家高技术研究发展计划(863)项目(2006AA04Z128)
国家科技重大专项(2011ZX02501-005)资助项目
关键词
半导体晶圆制造系统
批处理
瓶颈
调度
semiconductor wafer fabrication system（SWFS）
batch processing
bottleneck
scheduling
作者简介
李程（1986-），男，河南省濮阳市人，硕士生，主要从事半导体晶圆制造系统建模、调度与仿真研究．
江志斌（联系人），男，教授，博士生导师，电话（Tel．）：021-34206065；E—mail：zbjiang@sjtu．edu．cn．
