摘要
激光干涉仪已成为精密机床线性测量与补偿的基准,本文以雷尼绍ML10激光干涉仪线性测量为例,从激光干涉仪测量原理分析入手,得出测量距离与波长和脉冲数之间的关系。叙述了环境因素对测量因素的影响,针对具体线性测量指出其定位精度和重复定位精度计算公式。并指出了在测量过程中应注意的问题。
出处
《山东工业技术》
2018年第20期9-9,247,共2页
Journal of Shandong Industrial Technology
基金
陕西省军民融合基金研究项目(16JMR04)
渭南师范学院院级科研项目(17YKF05)
作者简介
贾平平(1980-),男,湖北洪湖人,博士,讲师,主要研究方向:数控技术及仪器测量技术。
