摘要
利用磁控溅射工艺制备了不同Al含量的(0~20%(原子分数))AlCoCrFeNi高熵合金薄膜,研究了Al含量对AlCoCrFeNi高熵合金薄膜微观结构和力学性能的影响。结果表明,Al元素的加入,使得原CoCrFeNi四元合金薄膜中的(200)峰消失,Al_xCoCrFeNi薄膜呈现出(111)晶面的择优生长取向。Al_xCoCrFeNi合金薄膜形成了面心立方单一均匀的固溶体。Al元素的加入起到了固溶强化的作用,使Al_xCoCrFeNi薄膜硬度相对于CoCrFeNi合金薄膜整体提高了1~2GPa。当Al含量为0.8时,薄膜的柱状晶宽度达到最小,Al_(0.8)CoCrFeNi薄膜在Hall-Petch关系作用下硬度显著增加,达到最大值18.7GPa。
The Al_xCoCrFeNi high entropy alloy films with different Al contents（x=0-20at%）were prepared by DC magnetron sputtering technique in this paper.The effect of Al content on the microstructure and mechanical properties of Al_xCoCrFeNi high entropy alloy films was investigated.The results show that the addition of Al element weakens（200）diffraction peak,and the AlxCoCrFeNi film is consisted of a uniform fcc-structured solid solution with a（111）preferential growth orientation.Due to the solid solution strengthening effect,the hardness of Al_xCoCrFeNi film is 1-2 GPa higher than that of CoCrFeNi film.When the Al content is 0.8,the AlxCoCrFeNi film presents the finest columnar crystals.Under the strengthening effect of the Hall-Petch relationship,the hardness of AlxCoCrFeNi film remarkably improves with the maximum value of 18.7GPa.
出处
《功能材料》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第6期6144-6148,共5页
Journal of Functional Materials
基金
国家自然科学基金资助项目(51471110)
作者简介
黄纯可（1993-），女，湖北十堰人，在读硕士，师承李伟副教授，从事功能薄膜方向的研究。
