摘要
MEMS技术经过20多年的发展已进入移动网络时代的发展阶段。从该发展阶段的典型MEMS器件入手,能够从多种MEMS器件的发展中提取出MEMS发展技术路线。介绍了包含MEMS加速度计、MEMS陀螺仪、MEMS惯性测量单元(IMU)、MEMS麦克风和RF MEMS等新发展阶段的典型MEMS器件近两年的新进展,同时介绍了在设计、工艺、新原理、新材料和新电路结构等方面新的进步或创新,并评估了MEMS技术发展的趋势。同时也对MEMS的集成创新,即可穿戴传感技术的近期发展,按照其获取信息的分类(活动、生理和环境)进行了综述。
MEMS technology has entered a development stage of the mobile internet era after the development more than 20 years.According to the typical MEMS devices of the development stage,the technology road mapping of MEMS development can be derived from a variety of MEMS devices.The new progresses of typical MEMS devices at new development stage in nearly two years are introduced,such as MEMS accelerometers,MEMS gyroscopes,MEMS inertial measurement units（IMUs）,MEMS microphones and RF MEMS.Meanwhile,the new progress or innovation in design,process,new principle,new material and new circuit structure and so on are introduced,and the development trend of the MEMS technology is assessed.At the same time,according to the classification of accessed information（activity,physiology and environment）,the MEMS integrated innovation is summarized,i.e.the recent development of the wearable sensor technology.
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2015年第1期1-13,共13页
Micronanoelectronic Technology
作者简介
赵正平（1947-），男，江苏扬州人，硕士，研究员，博士生导师，中国电子科技集团公司科技委副主任．宽禁带半导体材料与器件、下一代GaN技术等重大基础研究课题的首席专家．GaAs专用集成电路重点实验室首席专家，长期从事GaAs微电子、微波功率器件、微电子机械系统、宽禁带半导体器件与电路以及纳电子学等方面的研究工作。E-mail：zhaozp973@163．com
