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CSD法超导薄膜的形成机制和超导电性研究 被引量:3

Formation Mechanism and High Tc Superconductivity of YBa_2Cu_3O_7-δ Thin Film by CSD Method
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摘要 利用化学喷雾沉积法(CSD法)在未定向的ZrO_2单晶衬底上获得了零电阻温度高于85 K和转变宽度为2 K、厚度小于5 μm的YBa_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜.以XRD、XPS和SEM等手段研究了不同制备条件下薄膜的晶体结构、电子结构和显微形貌,讨论了材料膜形成机制及其与超导电性的关系。 High Tc superconduction YBa2Cu3O76 thin film with zero resistivity temperature higher than 85 K and transition width of 2 K and thickness of 5 μm,on a substrate of crystal cubic ZrO2, was obtained by using Chemical Spray Deposition (CSD) process. XRD, XPS and SEM etc. were employed to investigate the crystallographic structure, electron structure and micro-morphology of films made under different conditions. The formation mechanism of YBa2Cu3O7δ, thin film and relation with superconductivity are discussed.
出处 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1989年第7期687-690,共4页 Chemical Journal of Chinese Universities
关键词 化学喷雾沉积 超导电性 高温超导体 超导薄膜 形成机制 复合氧化物 Chemical spray deposition, Thin film,High Tc superconductor
  • 相关文献

参考文献1

  • 1孟广耀,化学气相淀积与无机新材料,1984年

同被引文献25

引证文献3

二级引证文献5

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