摘要
光学透镜的中心厚度是光学系统中的一个重要参数,其加工质量的好坏对光学系统的成像质量具有很大的影响。提出了一种基于共焦原理的非接触在线检测技术。系统的测量范围可达到9.8mm,测量精度可达到14.7μm。
The central thickness of optical lens is one of the most important parameters for optical systems,and its precision has great influence on the imaging quality. A technology of non-contact on line measurement based on confocal technology is provided. The measuring range of this system is 9.8mm,and the precision reaches 14.7μm.
出处
《光学技术》
CAS
CSCD
北大核心
2010年第6期857-859,共3页
Optical Technique
关键词
几何光学
光学系统设计
共焦法
geometrical optics
optical system design
confocal technology
作者简介
乔杨（1985-），女，博士研究生，主要从事仪器科学与技术方面的研究。E-mail：qiaoyangmilier@hotmail．com
