双色滤光片光刻剥离技术研究

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摘要文中利用聚酰亚胺高聚物的耐温性和高粘度性,巧妙地和光刻胶结合,解决了厚膜镀制中光刻胶炭化难以剥离的问题;利用聚酰亚胺在碱性显影液中有很好的可溶性,优化了光刻胶和聚酰亚胺的厚度比,得到了好的工艺参数和易于剥离的面形,解决了小图形光刻剥离的难题。

作者王海珍何英杰苏现军

机构地区中国空空导弹研究院

出处《内江科技》 2008年第11期100-100,147,共2页

关键词双色滤光片光刻剥离聚酰亚胺

作者简介王海珍（1965-），高级工程师，主要从事焦平面器件的研制工作。

参考文献2

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内江科技

2008年第11期

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