摘要
首先建立了原子力显微镜(AFM)针尖与试样面力学计量的物理模型,介绍了研究该问题的方法。根据Hamaker理论,利用微观连续介质法建立了AFM常见的圆锥型、四棱锥型和抛物面型针尖与试样面间的包含斥力的力学模型。经计算得到仿真结果,仿真结果与实验结果一致。
A metrelogical physics model between the tip and sample of Atomic Force Microscope （AFM） is founded. The method to study this micro metrological issue is introduced. On the base of the Hamaker principle, the mechanical model between the tip and sample, which is encountered in the AFM, is founded by the micro-continuous medium way, and followed by the simulating result. The simulating result is agreed with the experiment result.
出处
《计量学报》
EI
CSCD
北大核心
2005年第3期242-244,288,共4页
Acta Metrologica Sinica
基金
国家自然科学基金(10476019)
作者简介
田文超（1968-），男，江苏无锡人，西安电子科技大学副教授，博士，主要研究领域为MEMS、微光机电系统。
