摘要
“突跳”现象严重影响着原子力显微镜(AFM)的性能。根据W igner-Seitz模型微观连续介质理论,建立了AFM针尖同试样面接触力包含斥力的数学模型;由分析力学的稳定平衡条件,发现了引起AFM“突跳”的本质是不稳定平衡点的存在;通过增加AFM悬臂梁刚度,提出了一种避免AFM“突跳”现象发生的方法,并给出仿真结果。
Snap back affects violently the capability of the Atomic Force Microscope (AFM). On the basis of the Wigner-Seitz model micro-continuum medium theory, the mathematic model of contact force between the tip and the sample of the AFM, including repulsive force, is constructed. It is found after a simulation that the instabale balance point leads to the snap back, and heightening the cantilever rigidity facilitates eliminating it.
出处
《应用力学学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第3期449-451,共3页
Chinese Journal of Applied Mechanics
基金
"863"发展计划项目(2002AA862011)
西安电子科技大学青年科研工作站基金项目(0404)
作者简介
田文超,男,1968年生,博士,西安电子科技大学机电工程学院副教授;研究方向：微电子机械系统（MEMS）.
