氧化工艺对玻璃—金属封接管壳气密性的影响被引量：6

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摘要进行了氧化工艺试验，分析了可伐预氧化质量对玻封金属管壳气密性的影响，提出了改进可伐预氧化工艺的途径。

作者黄乐马莒生唐祥云朱奇农张百林

机构地区清华大学材料科学与工程系

出处《电子工艺技术》 1995年第1期6-8,共3页 Electronics Process Technology

关键词集成电路玻璃封接金属管壳气密性氧化工艺

同被引文献28

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电子工艺技术

1995年第1期

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