期刊文献⁺

任意字段

题名或关键词

题名

关键词

文摘

作者

第一作者

机构

刊名

分类号

参考文献

作者简介

基金资助

栏目信息

电子级高纯气体输送系统被引量：5

Overview of Electronic Grade High Purity Gas Delivery System

在线阅读下载PDF

导出

摘要从系统设计角度,论述了电子级高纯气体输送系统的主要设备,气体纯化器选型,输送管道、管件和阀门的材料和型式,安装施工验收的技术指标,以及微量污染的来源及控制措施等。

作者李东升

机构地区上海正帆超净技术有限公司

出处《电子工业专用设备》 2005年第2期56-58,共3页 Equipment for Electronic Products Manufacturing

关键词高纯气体纯化输送系统微量污染

分类号 TQ028.26 [化学工程]

引文网络
相关文献

同被引文献23

1保松.高纯气体检验中的气体纯化器应用探析[J].化工管理,2013(20):96-96. 被引量：1
2俞利群.高纯气体输送用管线与阀门[J].低温与特气,1993,11(3):23-27. 被引量：3
3王书伟.高纯气体输配管路系统用电化学抛光不锈钢管[J].低温与特气,1993,11(4):11-15. 被引量：1
4孔照荣.气体纯化技术进展[J].低温与特气,1994,12(1):5-12. 被引量：9
5陈霖新.高纯气体供应系统的杂质污染及防治[J].洁净与空调技术,1995(4):14-18. 被引量：1
6任美凤,卞潮渊,杨健.火灾工况压力容器安全泄放量计算公式的探讨[J].化工设计,2006,16(1):47-49. 被引量：20
7王红霞,陈奇峰.大容积钢质无缝压力容器处于火灾环境时安全泄放量的计算方法的探讨[J].化工设备与管道,2007,44(3):16-18. 被引量：6
8TSGR7001-2013.压力容器定期检验规则[S].
9TSG R0006 — 2014,气瓶安全技术监察规程[S].
10孙福楠.特种气体实用手册[M].大连:大连光明化工研究院,2012.

引证文献5

1董露荣,付嫚.高纯NF3气体管路系统的预处理[J].舰船防化,2007(4):42-45. 被引量：1
2骆辉,薄柯,李邦宪,张君鹏,黄强华.高纯气体长管拖车结构特点及定期检验问题[J].中国特种设备安全,2016,32(3):35-39. 被引量：3
3崔玉景,刘玉红,侯雄伟.长管拖车、管束式集装箱储运液化气体的可行性研究[J].中国特种设备安全,2016,32(9):1-4. 被引量：3
4刘皖南,郭仕通,霍金虎,冯玉扉,姜剑锋.集成电路制造装备中的气体纯化器应用[J].集成电路应用,2022,39(2):40-41.
5刘松青,刘君伟,李文豪,霍金虎,赵冰.超纯氮气纯化器的稳定性因素分析[J].集成电路应用,2022,39(2):42-43.

二级引证文献7

1王志升.研究高纯气体包装气瓶及定期检验技术[J].化工管理,2018(25):78-79. 被引量：1
2王新浩,罗云,李桐,黄西菲.基于大数据的特种设备宏观安全风险预警方法研究[J].中国安全生产科学技术,2018,14(4):160-166. 被引量：33
3杨峰.空冷器管束制造及检验关键技术分析[J].中国新技术新产品,2019(1):49-50. 被引量：5
4任文华.钢罐瓶装压缩气体和液化气体的安全储运管理[J].中国金属通报,2020(7):260-261.
5周伟明,杨超,张雷.高压液化气体管束式集装箱基本安全要求的几点考虑[J].压力容器,2020,37(5):66-73.
6刘见华,万烨,赵雄,赵宇,王磊,严大洲.高纯气体管路系统颗粒物产生原因分析及防治[J].有色冶金节能,2020,36(6):25-29. 被引量：1
7李敬法,李建立,王玉生,赵杰,李汉勇,宇波.氢能储运关键技术研究进展及发展趋势探讨[J].油气储运,2023,42(8):856-871. 被引量：27

1木村正城,韩美.在线式超高纯气体纯化器[J].低温与特气,1994,12(3):48-50.
2黄国戬.气体纯化器在气体检验中的应用[J].科技风,2014(1):87-88.
3朱跃进,李素娟,高鹏.脉冲热导法测定铝中氢的探讨[J].冶金分析,2016,36(12):18-25. 被引量：10
4移动式水质净化技术[J].中国水利,2008(10):79-79.
5宋栋梁.气体纯化器在高纯气体检验中的运用[J].计量与测试技术,2011,38(1):49-50. 被引量：2
6模块化组合式气体纯化器和氩气纯化系统[J].低温与特气,2015,33(4):18-18. 被引量：1
7梁毅,罗立宪,肖命,唐清志.谈氮氢站工程中管道施工的技术管理[J].玻璃,2004,31(5):35-37.

电子工业专用设备

2005年第2期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...

;

使用帮助返回顶部