期刊文献⁺

任意字段

题名或关键词

题名

关键词

文摘

作者

第一作者

机构

刊名

分类号

参考文献

作者简介

基金资助

栏目信息

高纯气体输配管路系统用电化学抛光不锈钢管被引量：1

在线阅读下载PDF

导出

摘要电化学抛光不锈钢管已成为输送高纯气体的重要管线。对这种管和其它方法处理的管进行了比较,阐述了电化学抛光的机理和电化学抛光管不吸脱附,不产生粒子污染的性能,展望了其应用前景和发展方向,指出国内外产品的差异。

作者王书伟

机构地区化工部光明化工研究所

出处《低温与特气》 CAS 1993年第4期11-15,共5页 Low Temperature and Specialty Gases

关键词高纯气体电化学抛光管路系统

分类号 TQ055.81 [化学工程]

引文网络
相关文献

参考文献1

1联邦德国电镀技术杂志出版社编,邵性波.实用电镀技术[M]国防工业出版社,1985.

同被引文献2

1李东升.电子级高纯气体输送系统[J].电子工业专用设备,2005,34(2):56-58. 被引量：5
2陈霖新.高纯气体供应系统的杂质污染及防治[J].洁净与空调技术,1995(4):14-18. 被引量：1

引证文献1

1董露荣,付嫚.高纯NF3气体管路系统的预处理[J].舰船防化,2007(4):42-45. 被引量：1

二级引证文献1

1刘见华,万烨,赵雄,赵宇,王磊,严大洲.高纯气体管路系统颗粒物产生原因分析及防治[J].有色冶金节能,2020,36(6):25-29. 被引量：1

1张洪雁.高纯气体输配管路系统污染的防治[J].低温与特气,1990,8(1):35-39. 被引量：2

低温与特气

1993年第4期

相关作者

内容加载中请稍等...

相关机构

内容加载中请稍等...

相关主题

内容加载中请稍等...

浏览历史

内容加载中请稍等...

;

使用帮助返回顶部