摘要
介绍了一种可用于射频通信系统压控振荡器中的基于MEMS的平行板可变电容.该电容通过采用新的"一上两下"(一个上极板,两个下极板)结构,使电容值的变化范围突破了传统两层平行板可变电容的150%的理论限制.上极板上加电压后,在静电力作用下向下移动从而改变电容值.当所加电压值从1V变化到10V时,电容值相应从0.39pF变化到0.96pF(变化范围为246%).使用CoventorWare、HFSS软件对电容进行了模拟,给出了C-V曲线、S11参数随频率的变化曲线图.将该电容用于考比兹压控振荡器电路中进行了模拟,给出了输出波形图.
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2005年第z1期275-278,共4页
China Mechanical Engineering
作者简介
董乔华,男,1981年生.东南大学MEMS教育部重点实验室硕士研究生.研究方向为RF MEMS.
廖小平,男,1966年生.东南大学MEMS教育部重点实验室副教授.
