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复杂微结构偏轴刚度的求解
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作者
刘妤
郭长文
王国超
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期183-188,共6页
微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动力学特性的一个重要参数。目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式。文中依托自主设计的一种具有复杂微结构的二维加速度传感器,综合...
微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动力学特性的一个重要参数。目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式。文中依托自主设计的一种具有复杂微结构的二维加速度传感器,综合运用力法和功能原理推导微结构偏轴刚度的解析式,为实现考虑交叉干扰因素的微结构几何参数优化奠定基础。推导中全面考虑各变形梁的影响,所以理论计算值与仿真值吻合。推广应用算例表明,该方法具有普遍意义,可应用于具有对称、超静定特征的复杂微结构的位移计算和刚度分析。
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关键词
微机电系统
加速度传感器
微结构
刚度
力法
功能原理
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职称材料
题名
复杂微结构偏轴刚度的求解
被引量：
1
1
作者
刘妤
郭长文
王国超
机构
重庆
理工大学
汽车
学院
重庆市
汽车
零部件及其检测
技术
重点实验室
重庆市汽车动力系统及控制工程技术研究中心
出处
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2011年第2期183-188,共6页
文摘
微传感器结构刚度是优化传感器结构尺寸、研究传感器动力学特性的一个重要参数。目前多采用有限元分析获取这一参数,但该方法难于给出一个物理思想比较明确的解析表达式。文中依托自主设计的一种具有复杂微结构的二维加速度传感器,综合运用力法和功能原理推导微结构偏轴刚度的解析式,为实现考虑交叉干扰因素的微结构几何参数优化奠定基础。推导中全面考虑各变形梁的影响,所以理论计算值与仿真值吻合。推广应用算例表明,该方法具有普遍意义,可应用于具有对称、超静定特征的复杂微结构的位移计算和刚度分析。
关键词
微机电系统
加速度传感器
微结构
刚度
力法
功能原理
Keywords
Micro-electro-mechanical system（MEMS）
Accelerometers
Microstructure
Stiffness
Force method
Principle of work and strain energy
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
复杂微结构偏轴刚度的求解
刘妤
郭长文
王国超
《机械强度》
CAS
CSCD
北大核心
2011
1
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