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电感耦合放电对双频容性耦合Ar-N_2等离子体物理特性的影响
1
作者
张志辉
宁兆元
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期565-569,共5页
电感耦合等离子体增强的容性耦合等离子体是一种新的等离子体源,采用这种放电方式可以获得高密度均匀的等离子体。本文主要利用朗缪尔单探针对以下几种放电方式的等离子体性质进行诊断:1双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体;2电感(13.56...
电感耦合等离子体增强的容性耦合等离子体是一种新的等离子体源,采用这种放电方式可以获得高密度均匀的等离子体。本文主要利用朗缪尔单探针对以下几种放电方式的等离子体性质进行诊断:1双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体;2电感(13.56 MHz)耦合等离子体;3电感(13.56 MHz)耦合增强的双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体。通过研究电感耦合放电对容性耦合放电的影响,以及电感耦合功率、混合气体比例等宏观参量对等离子体特性的影响,获得材料处理的最佳条件。实验发现当气压是5Pa时:1双频容性耦合等离子体密度是1010 cm-3左右,极板边缘处等离子体密度较低,中心处较高。随着氩气比例增加,等离子体密度提高,电子温度降低。2电感耦合等离子体放电,随着氩气比例增加,等离子体密度增大。当氩气比例增加到70%,等离子体密度发生数量级改变,高于双频容性耦合等离子体。3电感耦合增强的双频容性耦合等离子体密度较高,当氩气比例是80%,容性电感耦合功率200 W时,组合放电等离子体密度最高,均匀性较好,电子温度升高,径向差别不大。通过实验得出,当氩气比例为80%,容性高低频功率分别为150和50 W,电感耦合功率是200 W时,双频(60,13.56 MHz)与电感(13.56 MHz)组合放电可以获得高密度均匀的等离子体。
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关键词
电感耦合等离子体
容性耦合等离子体
郎缪尔探针
离子密度
电子温度
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职称材料
微波烘茧内部蛹体的热变化及其对茧质的影响
被引量：
4
2
作者
陆生海
宋亚英
《丝绸》
CAS
北大核心
2004年第7期20-21,共2页
为解决微波烘茧中的蛹体热击穿(爆裂)问题,提高微波烘茧的茧丝质量,分析研究了微波烘茧内部蛹体的热变化及其对茧质的影响。试验表明,微波烘茧中蛹体会出现膨大现象,蛹体的热击穿主要发生在微波干燥前期;在干燥前期控制微波功率和加热时...
为解决微波烘茧中的蛹体热击穿(爆裂)问题,提高微波烘茧的茧丝质量,分析研究了微波烘茧内部蛹体的热变化及其对茧质的影响。试验表明,微波烘茧中蛹体会出现膨大现象,蛹体的热击穿主要发生在微波干燥前期;在干燥前期控制微波功率和加热时间,选择较小的质量比功率,适当延长加热时间,可防止蛹体热击穿及蛹油溢出对茧层的污染;或是采用微波间歇加热干燥的方法,也有利于解决蛹体的热击穿问题,提高茧丝质量。
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关键词
微波烘茧
茧丝质量
茧质
热变化
蚕蛹
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职称材料
电厂疏水管路失效原因分析及改进
被引量：
6
3
作者
张晓晖
余成长
《华北电力大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2012年第1期99-104,共6页
针对某电厂2台机组主蒸汽系统和高加系统GSS110/210DI、AHP107/205DI所属疏水管线频繁出现开裂泄漏情况,通过对原疏水系统设计的分析,找出了疏水管线频繁出现开裂泄漏原因,即原设计不当,造成流速过高。提出合理配置疏水器和孔板来降低...
针对某电厂2台机组主蒸汽系统和高加系统GSS110/210DI、AHP107/205DI所属疏水管线频繁出现开裂泄漏情况,通过对原疏水系统设计的分析,找出了疏水管线频繁出现开裂泄漏原因,即原设计不当,造成流速过高。提出合理配置疏水器和孔板来降低蒸汽管道内介质的流速,降低流体对管道冲击的方法,介绍了如何选择疏水器和节流孔板的方法,包括疏水器和孔板压降、流量和流速的计算,取得了较好效果。
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关键词
疏水管线
泄漏
改造
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职称材料
题名
电感耦合放电对双频容性耦合Ar-N_2等离子体物理特性的影响
1
作者
张志辉
宁兆元
机构
苏州大学物理科技学院
出处
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第5期565-569,共5页
基金
国家自然科学基金项目(11075114)
文摘
电感耦合等离子体增强的容性耦合等离子体是一种新的等离子体源,采用这种放电方式可以获得高密度均匀的等离子体。本文主要利用朗缪尔单探针对以下几种放电方式的等离子体性质进行诊断:1双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体;2电感(13.56 MHz)耦合等离子体;3电感(13.56 MHz)耦合增强的双频(60,13.56 MHz)容性耦合等离子体。通过研究电感耦合放电对容性耦合放电的影响,以及电感耦合功率、混合气体比例等宏观参量对等离子体特性的影响,获得材料处理的最佳条件。实验发现当气压是5Pa时:1双频容性耦合等离子体密度是1010 cm-3左右,极板边缘处等离子体密度较低,中心处较高。随着氩气比例增加,等离子体密度提高,电子温度降低。2电感耦合等离子体放电,随着氩气比例增加,等离子体密度增大。当氩气比例增加到70%,等离子体密度发生数量级改变,高于双频容性耦合等离子体。3电感耦合增强的双频容性耦合等离子体密度较高,当氩气比例是80%,容性电感耦合功率200 W时,组合放电等离子体密度最高,均匀性较好,电子温度升高,径向差别不大。通过实验得出,当氩气比例为80%,容性高低频功率分别为150和50 W,电感耦合功率是200 W时,双频(60,13.56 MHz)与电感(13.56 MHz)组合放电可以获得高密度均匀的等离子体。
关键词
电感耦合等离子体
容性耦合等离子体
郎缪尔探针
离子密度
电子温度
Keywords
ICP
Capacitively coupled plasma
Langmuir probe
Ion density
Electronic temperature
分类号
O536 [理学—等离子体物理]
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职称材料
题名
微波烘茧内部蛹体的热变化及其对茧质的影响
被引量：
4
2
作者
陆生海
宋亚英
机构
苏州大学物理科技学院
苏州大学
农业
科技
学院
出处
《丝绸》
CAS
北大核心
2004年第7期20-21,共2页
文摘
为解决微波烘茧中的蛹体热击穿(爆裂)问题,提高微波烘茧的茧丝质量,分析研究了微波烘茧内部蛹体的热变化及其对茧质的影响。试验表明,微波烘茧中蛹体会出现膨大现象,蛹体的热击穿主要发生在微波干燥前期;在干燥前期控制微波功率和加热时间,选择较小的质量比功率,适当延长加热时间,可防止蛹体热击穿及蛹油溢出对茧层的污染;或是采用微波间歇加热干燥的方法,也有利于解决蛹体的热击穿问题,提高茧丝质量。
关键词
微波烘茧
茧丝质量
茧质
热变化
蚕蛹
分类号
TS143.21 [轻工技术与工程—纺织材料与纺织品设计]
在线阅读
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职称材料
题名
电厂疏水管路失效原因分析及改进
被引量：
6
3
作者
张晓晖
余成长
机构
苏州大学物理科技学院
苏州
热工研究院
出处
《华北电力大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2012年第1期99-104,共6页
基金
国家自然科学基金资助项目(51176132)
文摘
针对某电厂2台机组主蒸汽系统和高加系统GSS110/210DI、AHP107/205DI所属疏水管线频繁出现开裂泄漏情况,通过对原疏水系统设计的分析,找出了疏水管线频繁出现开裂泄漏原因,即原设计不当,造成流速过高。提出合理配置疏水器和孔板来降低蒸汽管道内介质的流速,降低流体对管道冲击的方法,介绍了如何选择疏水器和节流孔板的方法,包括疏水器和孔板压降、流量和流速的计算,取得了较好效果。
关键词
疏水管线
泄漏
改造
Keywords
drainage water pipe lines
leakage
retrofitting
分类号
TP309.7 [自动化与计算机技术—计算机系统结构]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电感耦合放电对双频容性耦合Ar-N_2等离子体物理特性的影响
张志辉
宁兆元
《真空科学与技术学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
微波烘茧内部蛹体的热变化及其对茧质的影响
陆生海
宋亚英
《丝绸》
CAS
北大核心
2004
4
在线阅读
下载PDF
职称材料
3
电厂疏水管路失效原因分析及改进
张晓晖
余成长
《华北电力大学学报（自然科学版）》
CAS
北大核心
2012
6
在线阅读
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职称材料
已选择
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