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4N电子级二乙氧基甲基硅烷的纯化技术研究
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作者 时任泽 丁秋燕 +6 位作者 袁振军 那健 刘见华 郭树虎 赵雄 李洪 高鑫 《化工学报》 北大核心 2025年第5期2186-2197,F0003,共13页
在集成电路的薄膜沉积工艺中,电子级二乙氧基甲基硅烷(DEMS)是制造低介电常数硅基半导体薄膜的关键前体,要求其有机纯度达到99.990%(质量分数,4N),总金属离子杂质含量≤5.000μg/L,单个金属杂质含量≤0.500μg/L。目前工艺难以达到纯度... 在集成电路的薄膜沉积工艺中,电子级二乙氧基甲基硅烷(DEMS)是制造低介电常数硅基半导体薄膜的关键前体,要求其有机纯度达到99.990%(质量分数,4N),总金属离子杂质含量≤5.000μg/L,单个金属杂质含量≤0.500μg/L。目前工艺难以达到纯度要求,因此提出了完整的电子级DEMS纯化的减压共沸精馏工艺技术路线,主要工作包括:(1)通过常规精馏实验分析了DEMS的纯化难点,进行减压共沸精馏实验,将关键组分杂质乙醇提纯至0.010%(质量分数)以下,降低了DEMS的纯化难度,有机纯度达到4N;(2)通过常规减压精馏实验探究,实现总金属离子杂质含量≤5.000μg/L和单个杂质含量≤0.500μg/L的目标;(3)建立了减压共沸精馏模型,利用实验结果进行模型验证,进一步建立了减压共沸精馏工艺,利用模型对新工艺进行优化设计。研究结果得到的DEMS产品指标达到了电子级标准,满足集成电路制造工艺要求,为规模化、低成本生产电子级DEMS奠定了理论基础。 展开更多
关键词 精馏 共沸 纯化 分离 模拟
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间歇萃取精馏技术的研究进展 被引量:33
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作者 张志刚 徐世民 +1 位作者 李鑫钢 张卫江 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第9期933-937,共5页
对间歇萃取精馏分离技术和进展进行了评述 ,主要从萃取精馏的溶剂选择与设计、模拟及优化、操作参数对分离过程影响及萃取精馏塔设备等几个方面 ,介绍了国内外关于间歇萃取精馏新兴分离技术的最新研究动态 。
关键词 间歇萃取精馏 溶剂 塔型 模拟 操作参数
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精馏技术研究进展与工业应用 被引量:67
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作者 任海伦 安登超 +2 位作者 朱桃月 李海龙 李鑫钢 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第6期1606-1626,共21页
精馏是化学工业中应用最广泛的关键共性技术,广泛应用于石油、化工、化肥、制药、环境保护等行业。精馏具有应用广泛、技术成熟等优点,但存在设备投资大、分离能耗高等问题,因此研究开发新型高效传质元件、开发新型节能精馏技术,具有重... 精馏是化学工业中应用最广泛的关键共性技术,广泛应用于石油、化工、化肥、制药、环境保护等行业。精馏具有应用广泛、技术成熟等优点,但存在设备投资大、分离能耗高等问题,因此研究开发新型高效传质元件、开发新型节能精馏技术,具有重要的社会意义和经济价值。本文从精馏塔类型、流体力学性能、传质性能、塔器大型化、过程节能、过程强化等方面,介绍了精馏技术的研究进展与工业应用。对于板式塔,从气液两相流动状态、压降、漏液和雾沫夹带方面研究了塔板的流体力学性能;对于填料塔,从压降、液泛和持液量方面研究了填料塔的流体力学性能,但目前的研究仍以经验关联式为主,缺乏严谨的的理论模型。对于气液两相的传质性能研究,简述了气液两相传质理论,但科学、精准的传质模型尚未提出。对于塔器大型化的应用研究,介绍了塔板、气液分布器和支撑装置等大型化关键技术的工业应用。从精馏过程典型节能技术、耦合节能技术、流程节能技术、低温余热回收和特殊精馏等方面,介绍了精馏过程节能与强化的应用进展。文章最后对精馏过程的传质、强化和集成进行了展望。 展开更多
关键词 精馏 过程节能 过程强化 流体力学 传质
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反应精馏过程耦合强化技术基础与应用研究述评 被引量:32
4
作者 高鑫 赵悦 +1 位作者 李洪 李鑫钢 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第1期218-238,共21页
反应精馏技术是过程强化概念在化学工业成功应用的典范。由于反应与精馏耦合的高度复杂性和非线性,反应-精馏相互影响机制、耦合方式及其过程能效调控与优化成为制约该技术广泛应用的关键科学问题。综述了近二十年来国内外反应精馏技术... 反应精馏技术是过程强化概念在化学工业成功应用的典范。由于反应与精馏耦合的高度复杂性和非线性,反应-精馏相互影响机制、耦合方式及其过程能效调控与优化成为制约该技术广泛应用的关键科学问题。综述了近二十年来国内外反应精馏技术从基础研究到工业应用的概况,包括反应精馏过程的可行性分析与概念设计方法、稳态模拟过程优化与动态模拟控制策略设计、兼具催化反应与气液传质的高效内构件开发以及反应精馏在各领域的应用。探讨了目前制约反应精馏广泛应用关键问题的解决方法与途径,阐明了普适性的反应精馏过程开发方法,总结了基于反应精馏过程耦合的新型过程强化技术,指出了反应精馏技术的发展趋势。 展开更多
关键词 过程强化 反应精馏 催化精馏 耦合调控 过程设计
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催化精馏塔中催化剂填装技术的研究述评 被引量:12
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作者 高鑫 李鑫钢 李洪 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第3期419-425,共7页
按气、液、固三相间不同的接触方式,将催化精馏技术中的瓶颈问题之一的催化剂填装技术分为两大类作了系统的介绍,即气、液、固三相混合接触式和液、固与气、液分别接触式。阐明了各类填装方式的优缺点及其可能的应用领域,指出了催化剂... 按气、液、固三相间不同的接触方式,将催化精馏技术中的瓶颈问题之一的催化剂填装技术分为两大类作了系统的介绍,即气、液、固三相混合接触式和液、固与气、液分别接触式。阐明了各类填装方式的优缺点及其可能的应用领域,指出了催化剂填装技术未来多元化的发展趋势。 展开更多
关键词 催化精馏 催化填料 催化剂填装
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常减压装置减压深拔技术研究进展 被引量:19
6
作者 陈建民 杨娜 +3 位作者 罗铭芳 张敬 李文镇 姜斌 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期20-24,共5页
结合国内外炼油厂减压深拔装置的现状及研究动态,介绍了国内炼油企业减压深拔装置普遍存在的问题,对影响减压深拔的各种因素进行了讨论,详细阐述了各种提高拔出率的途径,为优化减压深拔工艺提供指导意见。
关键词 常减压 减压深拔 拔出率 减压塔
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常规间歇萃取精馏分离苯-环己烷的研究 被引量:20
7
作者 张志刚 徐世民 +1 位作者 李鑫钢 张卫江 《化学工程》 CAS CSCD 北大核心 2006年第4期5-8,共4页
通过一个常规间歇萃取精馏实验装置,考察了不同萃取剂在不同回流比及萃取溶剂加入速率情况下对分离苯-环己烷共沸体系的影响。结果表明,二元混合溶剂能够解决单一溶剂的选择性与溶解性相矛盾的问题;且在同等条件下,综合性能优于单一溶剂... 通过一个常规间歇萃取精馏实验装置,考察了不同萃取剂在不同回流比及萃取溶剂加入速率情况下对分离苯-环己烷共沸体系的影响。结果表明,二元混合溶剂能够解决单一溶剂的选择性与溶解性相矛盾的问题;且在同等条件下,综合性能优于单一溶剂;随着溶剂加入速率和操作回流比的增加,产品的产量逐渐提高,尤其重要的是混合溶剂间歇萃取精馏技术与简单溶剂间歇萃取精馏技术相比并不复杂。 展开更多
关键词 常规间歇萃取精馏 N N-二甲基甲酰胺 二甲亚砜 环己烷
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分子蒸馏技术提纯天然维生素E的工艺研究 被引量:21
8
作者 栾礼侠 许松林 任艳奎 《中国粮油学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第1期100-103,共4页
本文介绍了短程蒸馏技术提纯天然维生素E的工艺过程,系统研究了短程蒸馏的系统压力、蒸馏温度、刮膜器转速及进料速率等操作因素对天然雏生素E含量的影响。得出了分离提纯天然维生素E的最佳工艺条件:进料速率:250mL/h;蒸馏温度130-... 本文介绍了短程蒸馏技术提纯天然维生素E的工艺过程,系统研究了短程蒸馏的系统压力、蒸馏温度、刮膜器转速及进料速率等操作因素对天然雏生素E含量的影响。得出了分离提纯天然维生素E的最佳工艺条件:进料速率:250mL/h;蒸馏温度130-160%,系统压力:0.1Pa,搅拌速度:130r/min。利用短程蒸馏技术分离提纯天然维生素E,效率高,能够满足进一步精制的要求。 展开更多
关键词 分子蒸馏 短程蒸馏 维生素E 提纯工艺
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石油污染土壤修复技术研究现状与展望 被引量:110
9
作者 李佳 曹兴涛 +2 位作者 隋红 何林 李鑫钢 《石油学报(石油加工)》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第5期811-833,共23页
石油污染对生态环境和人类健康具有极大的危害。土壤中的石油污染物主要来源于石油开采、加工、运输、储存过程中的泄漏。目前,国内外土壤污染形势严峻,土壤污染治理工作已经引起公众和科技工作者的高度关注。在此背景下介绍了几种石油... 石油污染对生态环境和人类健康具有极大的危害。土壤中的石油污染物主要来源于石油开采、加工、运输、储存过程中的泄漏。目前,国内外土壤污染形势严峻,土壤污染治理工作已经引起公众和科技工作者的高度关注。在此背景下介绍了几种石油污染土壤修复技术,包括物理修复技术、化学修复技术、微生物修复技术和植物修复技术,并分析了这些修复技术的工作原理、适用场合以及研究现状。在此基础上从深化研究石油污染物迁移变化规律、完善改进现有土壤修复工艺、大力开发土壤组合修复技术、致力发展新型土壤修复技术、研制具有自主知识产权的土壤修复成套设备以及建立完善土壤修复评价标准和风险管理体系6个方面对石油污染土壤修复工作进行展望。 展开更多
关键词 石油污染 土壤修复 技术发展
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蒸馏过程强化技术研究进展 被引量:14
10
作者 李洪 孟莹 +1 位作者 李鑫钢 高鑫 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第4期1212-1228,共17页
蒸馏过程强化技术作为我国现代化学工业发展的重要研究领域,是过程强化概念在化学工业成功应用的典范之一。随着近些年的发展,蒸馏过程强化技术的研究已形成了一套较完整的体系,但也出现了一系列新的难题与挑战。为此,本文针对混合物相... 蒸馏过程强化技术作为我国现代化学工业发展的重要研究领域,是过程强化概念在化学工业成功应用的典范之一。随着近些年的发展,蒸馏过程强化技术的研究已形成了一套较完整的体系,但也出现了一系列新的难题与挑战。为此,本文针对混合物相对挥发度与气液传质两个蒸馏过程强化的基础理论本质问题,以基础理论创新、关键技术突破和关键装备研究进展为主线,从强化原理、研究进展、工业应用及发展3方面系统介绍共沸蒸馏、萃取蒸馏、反应蒸馏这3类典型的引入质量分离剂强化的蒸馏过程及其耦合技术;微波、超重力场等典型外场作用下的引入能量分离剂强化的蒸馏过程,并系统介绍以新型塔内件及新型塔结构为切入点的基于先进设备强化的蒸馏过程,为迎接这一领域新的难题和挑战提供新思路。 展开更多
关键词 蒸馏过程强化 蒸馏 化工过程强化 相对挥发度强化 气液传质强化
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含酚废水治理技术研究进展 被引量:70
11
作者 王韬 李鑫钢 杜启云 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第2期231-235,共5页
论述了物理方法、生化法、高级氧化法等工艺方法治理含酚废水的研究进展,并指出了今后的研究方向。
关键词 苯酚 废水 物理方法 降解 生化法 高级氧化法
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化学交换精馏法分离同位素硼-10研究进展 被引量:8
12
作者 白鹏 李晓峰 +1 位作者 李鑫钢 骆淑莉 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期471-474,共4页
综述了化学交换精馏法分离同位素硼10的技术进展。在介绍化学交换精馏法分离同位素硼10原理的基础上, 分析了目前工业化过程分离同位素硼10 存在的问题, 指出新的络合剂硝基甲烷(CH3NO2 )、丙酮(Acetone)、甲基异丁基酮(MIBK)、二异丁基... 综述了化学交换精馏法分离同位素硼10的技术进展。在介绍化学交换精馏法分离同位素硼10原理的基础上, 分析了目前工业化过程分离同位素硼10 存在的问题, 指出新的络合剂硝基甲烷(CH3NO2 )、丙酮(Acetone)、甲基异丁基酮(MIBK)、二异丁基酮(DIBK)等用于从三氟化硼分离硼10 具有更高的分离系数, 形成的络合物具有更好的稳定性, 其中CH3NO2 是现有同位素硼10分离工艺过程较为理想的替代络合剂。 展开更多
关键词 硼-10的分离 化学交换精馏法 三氟化硼 硝基甲烷
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分子蒸馏技术提纯胡椒基丁醚的工艺研究 被引量:9
13
作者 应安国 许松林 +1 位作者 王淑华 向爱双 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第1期57-60,共4页
应用刮膜式分子蒸馏装置对胡椒基丁醚的提纯进行了研究。根据单因素试验的结果,对工艺参数进行了优化。设计了4因素3水平的正交试验方案,在保证一定收率的前提下,对产品纯度进行评价,得到了经优化的工艺参数:进料速率68 mL/h,进料温度9... 应用刮膜式分子蒸馏装置对胡椒基丁醚的提纯进行了研究。根据单因素试验的结果,对工艺参数进行了优化。设计了4因素3水平的正交试验方案,在保证一定收率的前提下,对产品纯度进行评价,得到了经优化的工艺参数:进料速率68 mL/h,进料温度90℃,1段蒸发温度为92℃,2段蒸发温度为100℃,蒸发压力为0.1 Pa,刮膜器转速136 r·min-1,最终产品纯度和收率分别达到98.35%和74.21%。 展开更多
关键词 分子蒸馏 胡椒基丁醚 提纯
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N-甲酰吗啉-乙二醇混合溶剂间歇萃取精馏苯-甲基环戊烷的研究 被引量:6
14
作者 华超 李鑫钢 +3 位作者 徐世民 任培兵 朱占生 马沛生 《天然气化工—C1化学与化工》 CAS CSCD 北大核心 2006年第6期22-27,共6页
利用改进的UNIFAC模型来选择萃取精馏苯-甲基环戊烷过程中的混合萃取剂,对混合溶剂N-甲酰吗啉(NFM)-乙二醇(EG)对萃取精馏苯-甲基环戊烷的过程进行了详细的理论分析和实验研究,重点考察了混合溶剂配比和溶剂比对分离过程可行性的影响。... 利用改进的UNIFAC模型来选择萃取精馏苯-甲基环戊烷过程中的混合萃取剂,对混合溶剂N-甲酰吗啉(NFM)-乙二醇(EG)对萃取精馏苯-甲基环戊烷的过程进行了详细的理论分析和实验研究,重点考察了混合溶剂配比和溶剂比对分离过程可行性的影响。研究结果表明,混合溶剂NFM-EG具有良好的选择性和溶解性,为粗苯精制过程中苯-甲基环戊烷的分离提供了必要的基础数据和指导。 展开更多
关键词 甲基环戊烷 N-甲酰吗啉 乙二醇 混合溶剂 萃取精馏
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差压热耦合精馏分离甲基环戊烷/苯过程的动态性能研究 被引量:4
15
作者 张吕鸿 刘建宾 +2 位作者 高鑫 姜斌 李洪 《现代化工》 CAS CSCD 北大核心 2012年第11期97-100,102,共5页
以环戊烷/苯二元物系为例,采用动态模拟软件Aspen Plus Dynamics,对差压热耦合精馏的动态控制性能进行研究与分析。根据其工艺流程特点与分离操作要求建立了一种合理的控制方案。同时,对进料的流量、温度和组成扰动进行分析,考察塔顶、... 以环戊烷/苯二元物系为例,采用动态模拟软件Aspen Plus Dynamics,对差压热耦合精馏的动态控制性能进行研究与分析。根据其工艺流程特点与分离操作要求建立了一种合理的控制方案。同时,对进料的流量、温度和组成扰动进行分析,考察塔顶、塔釜产品组成和流量等对进料扰动的闭环响应特性,分析该控制方案下差压热耦合精馏工艺对不同干扰因素的抗干扰性能和动态稳定特性。结果显示,该流程动态可控性强,各指标均能在干扰施加后较短时间内达到稳定,对各项干扰的稳定性能良好。 展开更多
关键词 差压热耦合 动态模拟 动态控制 精馏 甲基环戊烷
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间歇真空精馏提纯桉叶油的研究 被引量:14
16
作者 应安国 许松林 徐世民 《林产工业》 北大核心 2005年第2期29-31,共3页
采用真空间歇精馏技术对桉叶油粗品进行分离研究,考察了桉叶油的热敏性,确定了安全的操作温度范围和适宜的操作策略。实验结果表明:采用变回流比操作,操作压力不超过5.0kPa,釜温低于120℃,得到的产品浓度和收率分别达到99.0%和67.1%... 采用真空间歇精馏技术对桉叶油粗品进行分离研究,考察了桉叶油的热敏性,确定了安全的操作温度范围和适宜的操作策略。实验结果表明:采用变回流比操作,操作压力不超过5.0kPa,釜温低于120℃,得到的产品浓度和收率分别达到99.0%和67.1%以上。应用化工过程动态模拟软件Hysys Plant 2.2对实验过程进行了模拟,采用恒塔顶浓度和变回流比控制策略,模拟结果与实验结果相一致,对实际生产过程具有一定的指导作用。 展开更多
关键词 桉叶油 1 8-桉叶油素 真空精馏 回流比
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含重金属离子废水治理技术的研究进展 被引量:36
17
作者 王韬 李鑫钢 杜启云 《化工环保》 CAS CSCD 北大核心 2008年第4期323-326,共4页
介绍了治理含重金属离子废水的物理法、物理化学法、普通化学法、生化法及电化学法等技术的研究进展;论述了电一生物耦合法处理该类废水的最新趋势;指出将不同治理技术加以耦合,充分发挥不同技术的优点、取长补短,并尽量避免它们之间的... 介绍了治理含重金属离子废水的物理法、物理化学法、普通化学法、生化法及电化学法等技术的研究进展;论述了电一生物耦合法处理该类废水的最新趋势;指出将不同治理技术加以耦合,充分发挥不同技术的优点、取长补短,并尽量避免它们之间的相互抑制作用,将是该类废水治理技术的发展方向。 展开更多
关键词 含重金属离子废水 物理法 普通化学法 生化法 电化学法 耦合工艺
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天津大学蒸馏技术与传质理论研究 被引量:3
18
作者 丁辉 徐世民 +2 位作者 姜斌 孙津生 李鑫钢 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第4期358-363,共6页
列举了一些天津大学推广新型填料塔技术的成功范例。总结了当前新蒸馏技术 :包括添加物蒸馏、反应精馏、催化精馏、吸附精馏、膜蒸馏、分子蒸馏和动态精馏新型蒸馏技术的基本原理、特点以及天津大学在这些方面的最新进展。着重介绍了天... 列举了一些天津大学推广新型填料塔技术的成功范例。总结了当前新蒸馏技术 :包括添加物蒸馏、反应精馏、催化精馏、吸附精馏、膜蒸馏、分子蒸馏和动态精馏新型蒸馏技术的基本原理、特点以及天津大学在这些方面的最新进展。着重介绍了天津大学蒸馏传质理论方面取得的研究成果 ,总结蒸馏过程模拟计算的 3种混合模型 ,并论述了蒸馏过程的传质动力学。最后展望了蒸馏工程学科的发展方向。 展开更多
关键词 蒸馏 模拟 填料塔 天津大学 传质 理论研究
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生物通风技术中微生物对污染物甲苯二种形式降解的对比研究 被引量:4
19
作者 段云霞 韩振为 +1 位作者 隋红 李鑫钢 《农业环境科学学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第3期475-478,共4页
在实验室,用一维土柱模拟地下土壤环境,对不饱和区甲苯的2种污染形式的去除进行了研究。通过试验结果计算表明,土壤中污染物甲苯的总修复效率达到95.1%~98%,甲苯在土壤中以水相和非水相液体(NAPL)存在时,修复时间分别是220h和500h。约... 在实验室,用一维土柱模拟地下土壤环境,对不饱和区甲苯的2种污染形式的去除进行了研究。通过试验结果计算表明,土壤中污染物甲苯的总修复效率达到95.1%~98%,甲苯在土壤中以水相和非水相液体(NAPL)存在时,修复时间分别是220h和500h。约有42%和20.6%的甲苯是被微生物降解。由于NAPL试验初始阶段较高浓度甲苯对微生物有毒性或抑制作用,在试验初期主要是通风修复,试验后期生物降解作用才更加明显。 展开更多
关键词 生物降解 土壤修复 甲苯 生物通风
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CFD并行计算技术的研究进展 被引量:5
20
作者 吴明一 王红星 +2 位作者 秦玉波 李鑫钢 徐世民 《化工进展》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第z1期15-19,共5页
综述了并行计算技术在计算流体动力学(CFD)中的研究及应用进展,介绍了CFD并行化的关键技术研究近况,包括网格处理技术、并行化算法技术以及并行计算平台的研究进展.最后讨论了CFD并行技术的发展方向.
关键词 CFD 并行计算
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