期刊导航
期刊开放获取
上海教育软件发展有限公..
期刊文献
+
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
任意字段
题名或关键词
题名
关键词
文摘
作者
第一作者
机构
刊名
分类号
参考文献
作者简介
基金资助
栏目信息
检索
高级检索
期刊导航
共找到
2
篇文章
<
1
>
每页显示
20
50
100
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
显示方式：
文摘
详细
列表
相关度排序
被引量排序
时效性排序
高性能微机械陀螺接口电路研究
被引量：
2
1
作者
王慧泉
郁发新
+4 位作者
金仲和
郑旭东
陈永
焦继伟
王跃林
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期1136-1139,共4页
微机械陀螺输出信号非常微弱,从系统角度对其接口电路进行研究,采用闭环驱动,通过改善驱动信号稳定性及陀螺输出端接口电路,系统性能得到较大提高,改善后系统灵敏度9.8mV/(o).s-1,非线性度0.43%,分辨率达180°/h。
关键词
微机械陀螺
闭环驱动
自动增益控制
差分电容
在线阅读
下载PDF
职称材料
基于体硅微机械工艺的光波导器件封装技术
被引量：
2
2
作者
刘东栋
胡海波
+2 位作者
唐衍哲
丁纯
王跃林
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期531-534,共4页
光纤和光波导的耦合封装问题是实现集成光学器件实用化的关键技术。本文在分析了光纤和光波导端面耦合损耗产生原因的基础上 ,选择光纤定位槽作为封装载体 ,并且比较了不同晶向硅各向异性腐蚀出的定位槽作为封装载体的优劣。
关键词
耦合
封装
各向异性腐蚀
硅
光波导器件
体硅微机械工艺
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
高性能微机械陀螺接口电路研究
被引量：
2
1
作者
王慧泉
郁发新
金仲和
郑旭东
陈永
焦继伟
王跃林
机构
浙江大学信电系半导体光电子研究所
上海微
系
统与
信
息技术
研究所
出处
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第4期1136-1139,共4页
基金
国家自然科学基金资助(60476033)
文摘
微机械陀螺输出信号非常微弱,从系统角度对其接口电路进行研究,采用闭环驱动,通过改善驱动信号稳定性及陀螺输出端接口电路,系统性能得到较大提高,改善后系统灵敏度9.8mV/(o).s-1,非线性度0.43%,分辨率达180°/h。
关键词
微机械陀螺
闭环驱动
自动增益控制
差分电容
Keywords
MEMS gyroscope
close-loop driven
automatic gain control
differential capacitor detected
分类号
V241.6 [航空宇航科学与技术—飞行器设计]
TP212.12 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
基于体硅微机械工艺的光波导器件封装技术
被引量：
2
2
作者
刘东栋
胡海波
唐衍哲
丁纯
王跃林
机构
浙江大学信电系半导体光电子研究所
出处
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期531-534,共4页
文摘
光纤和光波导的耦合封装问题是实现集成光学器件实用化的关键技术。本文在分析了光纤和光波导端面耦合损耗产生原因的基础上 ,选择光纤定位槽作为封装载体 ,并且比较了不同晶向硅各向异性腐蚀出的定位槽作为封装载体的优劣。
关键词
耦合
封装
各向异性腐蚀
硅
光波导器件
体硅微机械工艺
Keywords
Coupling
Package
Anisotropic etching
Silicon
分类号
TN25 [电子电信—物理电子学]
TN305.94 [电子电信—物理电子学]
在线阅读
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
高性能微机械陀螺接口电路研究
王慧泉
郁发新
金仲和
郑旭东
陈永
焦继伟
王跃林
《传感技术学报》
CAS
CSCD
北大核心
2006
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
2
基于体硅微机械工艺的光波导器件封装技术
刘东栋
胡海波
唐衍哲
丁纯
王跃林
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001
2
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
上一页
1
下一页
到第
页
确定
用户登录
登录
IP登录
使用帮助
返回顶部
