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微/纳米尺度硬度测量技术及研究 被引量：3
1
作者 蒋洪奎 范真 +2 位作者 丁建宁 胡礼广 姚汤伟 《机床与液压》 北大核心 2006年第10期144-146,共3页
硬度综合反映了材料的弹性、塑性等一系列物理性能,是材料力学性能的一个重要参数。传统硬度测试技术在微纳米尺度已不再适用。本文介绍了微纳米尺度硬度的静态和动态测试机理,分析了纳米硬度计的测试特点,并对测量误差产生的可能原因... 硬度综合反映了材料的弹性、塑性等一系列物理性能,是材料力学性能的一个重要参数。传统硬度测试技术在微纳米尺度已不再适用。本文介绍了微纳米尺度硬度的静态和动态测试机理,分析了纳米硬度计的测试特点,并对测量误差产生的可能原因做了说明。最后简要分析了微纳米硬度测试技术的发展趋势。 展开更多
关键词 微纳米 硬度测试 测量机理
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纳米硅薄膜超微压力传感器设计与性能研究 被引量：3
2
作者 沈思国 丁建宁 +3 位作者 潘海彬 凌智勇 程广贵 范真 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2010年第10期62-64,共3页
利用纳米硅薄膜良好的力学与电学特性,设计出超微压压力传感器芯片结构:双岛—梁—膜结构。利用ANSYS进行了静力分析、模态分析、谐反应分析、瞬态分析,结果表明:该结构具有灵敏度高、线性度好、动态响应快等优点。
关键词 纳米硅薄膜 超微压压力传感器 结构 性能
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量子力对微、纳米级机构的影响研究
3
作者 常甦华 朱国华 丁建宁 《机械设计》 CSCD 北大核心 2005年第7期4-6,共3页
随着微机电系统的发展,机构的特征尺寸及相互间距通常处于微米、纳米量级,因此需要考虑量子力的影响,如Casimir力。首先对平行平面间的Casimir力进行分析,表明随着间距的减小Casimir力会迅速增大,然后根据实际情况得出微弹簧震子的结构... 随着微机电系统的发展,机构的特征尺寸及相互间距通常处于微米、纳米量级,因此需要考虑量子力的影响,如Casimir力。首先对平行平面间的Casimir力进行分析,表明随着间距的减小Casimir力会迅速增大,然后根据实际情况得出微弹簧震子的结构模型,通过对模型的受力和动力学研究发现,机构发生粘附效应不仅与其自身的特征参数C有关,还同被粘附构件的初始位置或初始能量有关。 展开更多
关键词 CASIMIR力 微机械 稳定性
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Cu-水纳米流体的稳定性及其粘度的实验研究 被引量：13
4
作者 凌智勇 张体峰 +3 位作者 丁建宁 程广贵 邹涛 朱爱军 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第B06期481-483,共3页
采用"两步法"制备了含不同质量分数的Cu-水纳米流体,分别对质量分数为0.1%、0.5%以及1%纳米流体的稳定性及其粘度进行了实验研究,并与经典两相混合物粘度模型进行了比较。结果表明,添加分散剂SDBS能有效改善Cu-水纳米流体的... 采用"两步法"制备了含不同质量分数的Cu-水纳米流体,分别对质量分数为0.1%、0.5%以及1%纳米流体的稳定性及其粘度进行了实验研究,并与经典两相混合物粘度模型进行了比较。结果表明,添加分散剂SDBS能有效改善Cu-水纳米流体的稳定性,且当其浓度与Cu纳米颗粒的质量分数相当时,纳米流体的稳定最好;纳米流体的粘度随颗粒质量分数的增加而增加,但实验值与理论值存在一定的差异,这主要是由于理论计算模型只考虑了颗粒含量对粘度的影响所致。 展开更多
关键词 纳米流体 制备 稳定性 粘度
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工艺条件对硼掺杂纳米硅薄膜微结构及力学性能的影响 被引量：5
5
作者 丁建宁 祁宏山 +6 位作者 袁宁一 何宇亮 程广贵 范真 潘海彬 王君雄 王秀琴 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期188-193,共6页
采用射频和直流偏压(RF+DC)双重激励源,在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统中成功制备了掺硼纳米硅薄膜。改变衬底温度、射频功率和退火温度几个关键工艺参数,利用拉曼(Raman)谱仪、薄膜测厚仪和原子力显微镜(AFM)对掺硼纳米硅薄膜... 采用射频和直流偏压(RF+DC)双重激励源,在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统中成功制备了掺硼纳米硅薄膜。改变衬底温度、射频功率和退火温度几个关键工艺参数,利用拉曼(Raman)谱仪、薄膜测厚仪和原子力显微镜(AFM)对掺硼纳米硅薄膜的微结构进行了分析;应用纳米压痕法研究了工艺条件对薄膜弹性模量及硬度等力学性能的影响关系。结果表明:薄膜晶态比、平均晶粒大小随着衬底温度的升高均有增大趋势;射频功率对提高薄膜生长速率存在最优值条件;退火对本征和掺硼薄膜表面形貌特征有较大影响,退火后掺硼薄膜表面粗糙度增大明显。薄膜弹性模量及硬度很大程度上受射频功率和后序处理条件的影响,退火使薄膜的力学性能有所提高。针对实验现象,从薄膜结构方面进行了相关的理论阐释。 展开更多
关键词 纳米硅薄膜 掺硼 弹性模量 退火 AFM
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TA4微弧氧化陶瓷膜层的结构与性能研究 被引量：4
6
作者 徐琳 丁建宁 +2 位作者 李伯全 许晓静 牛小丫 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第24期24095-24099,共5页
利用微弧氧化法在纯钛TA4表面制备以Ti O2为主体富含钙磷的多孔陶瓷膜层。采用扫描电镜、X射线能谱仪、X射线衍射仪、拉曼光谱仪、接触角测量仪及电化学工作站观测与分析陶瓷膜层的微观形貌、元素成分及相组成,探讨微弧氧化对其润湿性... 利用微弧氧化法在纯钛TA4表面制备以Ti O2为主体富含钙磷的多孔陶瓷膜层。采用扫描电镜、X射线能谱仪、X射线衍射仪、拉曼光谱仪、接触角测量仪及电化学工作站观测与分析陶瓷膜层的微观形貌、元素成分及相组成,探讨微弧氧化对其润湿性及耐蚀性能的影响。结果表明,TA4微弧氧化陶瓷膜层表面粗糙多孔,为锐钛矿相与金红石相Ti O2的混晶结构,金红石相的质量分数约为74.39%。TA4经微弧氧化改性后,表面粗糙度增加了1个数量级,接触角明显下降,表面能提高了87.05%,极性力分量增加了166.07%,体现出更好的润湿性能;自腐蚀电位正移0.53 V,腐蚀电流密度与腐蚀速率均减少了3个数量级,表现出更优的耐腐蚀性能。 展开更多
关键词 TA4 微弧氧化 拉曼光谱 润湿性 耐蚀性 表面形貌
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纳米流体黏度与温度的关系研究 被引量：7
7
作者 凌智勇 张睿 +2 位作者 张忠强 丁建宁 程广贵 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期79-81,共3页
温度变化对纳米流体粘度的影响是很明显的。结果表明:含有表面活性剂的纳米流体的黏度在温度低于60℃时,黏度随温度的升高而降低,超过此温度后,纳米流体的黏度随温度的升高而升高。只含有纳米粒子的纳米流体黏度随温度的升高而降低,高... 温度变化对纳米流体粘度的影响是很明显的。结果表明:含有表面活性剂的纳米流体的黏度在温度低于60℃时,黏度随温度的升高而降低,超过此温度后,纳米流体的黏度随温度的升高而升高。只含有纳米粒子的纳米流体黏度随温度的升高而降低,高温时黏度随温度升高而减小的幅度减小,而使用表面活性剂后黏度与温度的关系出现异常,高温时黏度随温度的增加而增加。随着温度的升高,纳米粒子的布朗运动加强,粒子的无序运动增加流体流动的阻力,虽然表面活性剂的使用提高了纳米流体的稳定性,但大分子结构的表面活性剂吸附在粒子周围,致使粒子作布朗运动时大大增加液体的粘性,以至高温时纳米流体黏度随温度的升高而升高。本研究还对Cu-water、ZrO2-water纳米流体的黏度与温度的关系式进行拟合,拟合公式与实验数据吻合,误差小于0.5%,拟合公式中纳米流体的黏度与温度、粒子体积分数和基液有关。 展开更多
关键词 纳米流体 黏度 温度 表面活性剂
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基于AFM纳米加工机理和方法的研究进展 被引量：4
8
作者 朱守星 丁建宁 +1 位作者 蔡兰 杨继昌 《江苏大学学报（自然科学版）》 EI CAS 2002年第3期8-13,共6页
作者介绍了近期基于AFM纳米加工方法的最新研究进展 ,探讨了AFM纳米加工过程中的机理 ,重点分析了利用AFM针尖诱导表面氧化 ,针尖诱导表面改性 ,纳米刻蚀加工 ,纳米化学反应 ,单分子、单原子操纵及纳米结构组装等 6种基于AFM的纳米加工... 作者介绍了近期基于AFM纳米加工方法的最新研究进展 ,探讨了AFM纳米加工过程中的机理 ,重点分析了利用AFM针尖诱导表面氧化 ,针尖诱导表面改性 ,纳米刻蚀加工 ,纳米化学反应 ,单分子、单原子操纵及纳米结构组装等 6种基于AFM的纳米加工方法 ,为今后纳米信息产品的研究和开发奠定了基础 纳米加工技术是一门综合性的交叉学科 ,研究内容涉及到物理学、化学、生物学、材料学以及机械学等许多方面 ,文中不仅指出了现阶段研究中存在的问题 。 展开更多
关键词 加工机理 纳米加工 原子力显微镜 AFM 纳米材料 纳米刻蚀
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纳米GeSb_2Te_4薄膜在大气环境中的摩擦性能研究 被引量：4
9
作者 朱守星 丁建宁 +3 位作者 范真 李长生 蔡兰 杨继昌 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第5期411-414,共4页
采用摩擦力显微镜考察了磁控溅射纳米GeSb2Te4薄膜在大气环境中的微观摩擦性能,利用JKRS理论分析了针尖同GeSb2Te4薄膜接触时的粘附力和表面能之间的关系.结果表明:当湿度较大时,粘附力较大;而当湿度较小时,粘附力较小;当针尖表面能一定... 采用摩擦力显微镜考察了磁控溅射纳米GeSb2Te4薄膜在大气环境中的微观摩擦性能,利用JKRS理论分析了针尖同GeSb2Te4薄膜接触时的粘附力和表面能之间的关系.结果表明:当湿度较大时,粘附力较大;而当湿度较小时,粘附力较小;当针尖表面能一定时,粘附力的微小变化可以导致GeSb2Te4薄膜的表面能产生较明显变化;随着扫描范围逐渐减小,摩擦力变化趋于稳定;不同扫描速度下法向力和摩擦力保持较好线性关系,但不同扫描速度下的平均摩擦力随扫描速率变化而呈现非线性变化;为了更好地分析探针和样品表面的微观摩擦机制,宜选择扫描范围为0.1～0.5μm或更小. 展开更多
关键词 GeSb2Te4薄膜 摩擦力显微镜 摩擦性能 粘附力
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用AFM压痕技术定量介观硬度的方法研究 被引量：3
10
作者 朱守星 丁建宁 +1 位作者 范真 蔡兰 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第3期272-274,278,共4页
用原子力显微镜(AFM)纳米压痕方法结合扫描力显微镜技术,表征类金刚石(DLC)膜,金块Au,单晶硅Si的纳米硬 度。用能量密度理论解释基于AFM压痕技术测定纳米硬度的机理,给出AFM纳米压痕的能量平衡方程。对DLC膜,金块, 单晶硅进行纳米压痕试... 用原子力显微镜(AFM)纳米压痕方法结合扫描力显微镜技术,表征类金刚石(DLC)膜,金块Au,单晶硅Si的纳米硬 度。用能量密度理论解释基于AFM压痕技术测定纳米硬度的机理,给出AFM纳米压痕的能量平衡方程。对DLC膜,金块, 单晶硅进行纳米压痕试验,表明在同样载荷下,不同材料的压痕深度是不相同的。DLC膜具有较高的抗压性能,Si其次,Au 的抗压性能最低。通过曲线拟合技术,定量给出金块的纳米硬度分析模型:H=(2.83/Df)+2.86。 展开更多
关键词 纳米硬度 纳米压痕 类金刚石 原子力显微镜(AFM) 抗压性能 单晶硅 材料 DLC膜 表征 能量密度
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纳米弹性复合DLC薄膜的制备及其摩擦性能研究 被引量：3
11
作者 程广贵 丁建宁 +3 位作者 凌智勇 坎标 范真 石超燕 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期207-212,共6页
利用磁过滤阴极真空弧沉积系统在硅片及以硅片为基底的2种弹性体材料表面沉积厚度为2．7nm的DLC膜，采用原子力显微镜和拉曼光谱仪对薄膜的形貌及成分进行分析，用纳米力学测试系统测量薄膜的弹性模量和硬度，用UMT-2型多功能微摩擦磨... 利用磁过滤阴极真空弧沉积系统在硅片及以硅片为基底的2种弹性体材料表面沉积厚度为2．7nm的DLC膜，采用原子力显微镜和拉曼光谱仪对薄膜的形貌及成分进行分析，用纳米力学测试系统测量薄膜的弹性模量和硬度，用UMT-2型多功能微摩擦磨损试验机考察其摩擦性能．结果表明，以γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷（187）为偶联剂的薄膜试样表面比以γ-氨丙基三乙氧基硅烷（APS）为偶联剂的薄膜试样表面更致密且粗糙度更低，薄膜的最上层为DLC膜．在硅表面沉积DLC薄膜可以显著降低其表面的摩擦系数（0．117～0．137），在低载荷条件下，含偶联剂及弹性体的DLC薄膜的摩擦系数低于硅表面沉积DLC的薄膜，且以187为偶联剂的薄膜试样的摩擦性能更佳；在高载荷条件下，硅表面沉积DLC的薄膜具有更优异的摩擦性能． 展开更多
关键词 磁过滤阴极真空弧沉积系统(FCVA) 弹性复合薄膜 DLC膜 偶联剂 摩擦性能
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超高密度探针存储技术的研究进展 被引量：3
12
作者 朱守星 丁建宁 +3 位作者 范真 李长生 蔡兰 杨继昌 《江苏大学学报（自然科学版）》 EI CAS 2003年第5期18-22,共5页
扫描探针显微镜(SPM)超高密度信息存储技术是近年来信息技术领域的新热点,并极有可能成为未来存储领域的主导技术 主要根据探针与样品表面的作用方式,分析了探针存储的机械学、电学、磁学、光学和化学作用原理,总结了用SPM实现信息存储... 扫描探针显微镜(SPM)超高密度信息存储技术是近年来信息技术领域的新热点,并极有可能成为未来存储领域的主导技术 主要根据探针与样品表面的作用方式,分析了探针存储的机械学、电学、磁学、光学和化学作用原理,总结了用SPM实现信息存储的机械、电学、化学、磁学、近场光学、原子操纵等存储机理,提出实现超高密度信息存储必须从最基本的存储机理入手。 展开更多
关键词 信息存储 扫描探针显微镜 超高密度 纳米加工
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两种液体在微圆管道内流动特性的试验研究 被引量：6
13
作者 孙尚武 凌智勇 +4 位作者 杨继昌 丁建宁 范真 李长生 杨平 《机械设计与制造》 北大核心 2005年第7期112-113,共2页
随着微机电系统的不断发展,作为微机电系统的一个重要的分支,微流体系统越来越引起许多科学家的重视和研究,但是微流体系统不是简单的在尺度上面的减小,而是随着尺度的减小,流动的特性也会发生变化。在宏观中可以忽略的因素在微观中可... 随着微机电系统的不断发展,作为微机电系统的一个重要的分支,微流体系统越来越引起许多科学家的重视和研究,但是微流体系统不是简单的在尺度上面的减小,而是随着尺度的减小,流动的特性也会发生变化。在宏观中可以忽略的因素在微观中可能会占主导作用。在本文章中,主要是实验的形式对微观流动特性进行了研究,测试液体是两种介质(水和硅油),采用的不同的微管内径13μm,20μm,50μm和100μm,长度为40mm。实验结果表明,在此实验条件下,液体的流动压力和流量仍呈现线性关系,与宏观大管道的理论预想基本相同,宏观管道内采用的N-S方程在此实验条件仍可适用。 展开更多
关键词 液体 微流动系统 流动特性
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硅油在微圆管道内流动特性的实验研究 被引量：3
14
作者 凌智勇 孙尚武 +4 位作者 杨继昌 丁建宁 范真 李长生 杨平 《液压与气动》 北大核心 2005年第3期19-20,共2页
随着微机电系统的发展 ,微流动技术作为其重要的分支 ,其研究越来越显得重要。文章主要对硅油在不同的微管内径下的流动规律进行了实验研究 ,以探索微观领域和宏观领域的区别。本实验中采用的介质是高黏度的硅油 ,微管内径分别为 5 0 μ... 随着微机电系统的发展 ,微流动技术作为其重要的分支 ,其研究越来越显得重要。文章主要对硅油在不同的微管内径下的流动规律进行了实验研究 ,以探索微观领域和宏观领域的区别。本实验中采用的介质是高黏度的硅油 ,微管内径分别为 5 0 μm和 10 0 μm ,管长为 4 0mm ,测量了硅油在该微管道中流动的流量和压力特性。在本实验条件下 ,试验结果基本上与宏观流动特性相似 ,流量和液体的压降呈线性关系 ,N 展开更多
关键词 微管道 硅油 流动特性 实验研究
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微构件316L在力电耦合下力学行为实验研究 被引量：3
15
作者 薛伟 王权 +1 位作者 丁建宁 余朋清 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1620-1622,共3页
力学场与电场造成的场耦合下,微构件材料的力学行为的研究有重要的意义.用自制的微拉伸装置,通过对不同电流作用下的直径为20m的316L微构件进行拉伸实验,发现微构件在拉伸作用下出现明显的塑性变形;力学性能与宏观性能有所不同,出现了... 力学场与电场造成的场耦合下,微构件材料的力学行为的研究有重要的意义.用自制的微拉伸装置,通过对不同电流作用下的直径为20m的316L微构件进行拉伸实验,发现微构件在拉伸作用下出现明显的塑性变形;力学性能与宏观性能有所不同,出现了小尺寸效应;不同电流作用下,微构件的弹性模量和拉伸强度随电流的增大而降低,获得了可靠的设计参数. 展开更多
关键词 微构件316L 力电耦合 力学行为
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超薄类金刚石膜纳米摩擦性能研究 被引量：4
16
作者 陈曦 丁建宁 +5 位作者 李长生 刘东平 范真 朱守星 邓新绿 杨继昌 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2004年第2期47-50,共4页
使用原子力显微镜对由微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积技术制备的超薄类金刚石薄膜的纳米摩擦性能进行了研究。结果表明:氢化非晶碳膜(a C∶H)的摩擦力和外加载荷基本成线性关系,可以使用修正的Amonton公式进行表征;厚度在64.9nm... 使用原子力显微镜对由微波等离子体电子回旋共振化学气相沉积技术制备的超薄类金刚石薄膜的纳米摩擦性能进行了研究。结果表明:氢化非晶碳膜(a C∶H)的摩擦力和外加载荷基本成线性关系,可以使用修正的Amonton公式进行表征;厚度在64.9nm以下薄膜的微观承载性能和膜厚存在明显的正比例关系。通过分析磨损深度和循环次数之间的关系以及对磨损区域的导电性研究,表明a C∶H膜表层的微观承载性能较其内层相差很大,表面存在着一层软膜。 展开更多
关键词 类金刚石膜 原子力显微镜 摩擦性能
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不同晶态比条件下氢化纳米硅薄膜光学性质的研究 被引量：2
17
作者 郭立强 丁建宁 +3 位作者 杨继昌 程广贵 凌智勇 董玉忠 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第A01期76-79,共4页
利用等离子体化学气相沉积系统,在射频源和直流负偏压源的双重激励下,保持射频功率、反应室气压、衬底温度、硅烷与氢气混合比以及总流量不变,改变直流负偏压从50～250V,在康宁7059玻璃衬底上制备了本征氢化纳米硅薄膜。利用拉曼散射仪... 利用等离子体化学气相沉积系统,在射频源和直流负偏压源的双重激励下,保持射频功率、反应室气压、衬底温度、硅烷与氢气混合比以及总流量不变,改变直流负偏压从50～250V,在康宁7059玻璃衬底上制备了本征氢化纳米硅薄膜。利用拉曼散射仪表征了不同直流负偏压条件下薄膜微结构特征;利用Shmadzu UV-2450型光谱仪测试了薄膜样品透射图谱。研究发现提高直流负偏压将导致晶态比、沉积速率发生变化。薄膜的光吸收系数和消光系数随波长增加呈下降趋势;不同晶态比薄膜的悬挂键和有效载流子浓度、致密程度、键畸变程度和悬挂键数目的差异,致使晶态比增加,薄膜的吸收系数、消光系数在波长为400nm附近依次增加,光学带隙值从1.96eV减小到1.66eV。 展开更多
关键词 直流负偏压 消光系数 透射光谱 氢化纳米硅薄膜
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基于AFM的微机械表面抗粘附薄膜性能 被引量：2
18
作者 付永忠 丁建宁 杨继昌 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第12期182-184,154,共4页
用原子力显微镜(AFM)考察施加OTS分子润滑膜前后Si(100)表面的粘附、摩擦性能,并对比了空气相对湿度、扫描速度对粘附、摩擦性能的影响效果。结果表明,施加OTS膜后可以有效降低Si(100)表面粘附力和摩擦系数,呈现较好的润滑性能,且受空... 用原子力显微镜(AFM)考察施加OTS分子润滑膜前后Si(100)表面的粘附、摩擦性能,并对比了空气相对湿度、扫描速度对粘附、摩擦性能的影响效果。结果表明,施加OTS膜后可以有效降低Si(100)表面粘附力和摩擦系数,呈现较好的润滑性能,且受空气相对湿度变化的影响较小。另外,适当提高扫描探针扫描速度,可以改善Si(100)表面和OTS膜表面摩擦性能,降低摩擦力。 展开更多
关键词 OTS薄膜 粘附 微机电系统 原子力显微镜
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用AFM导电探针在n-Si(111)表面进行纳米加工的机理研究 被引量：1
19
作者 朱守星 丁建宁 +3 位作者 范真 李长生 蔡兰 杨继昌 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第3期202-205,共4页
本文介绍了在AFM针尖与氢钝化硅表面之间施加电场作用对硅表面进行修饰的纳米加工方法 ,重点讨论了加工机理。实验考虑了样品的表面状态 ,周围大气状况 ,所加电压的极性、大小和加压方式等影响纳米加工的因素。对机理的研究表明 ,针尖... 本文介绍了在AFM针尖与氢钝化硅表面之间施加电场作用对硅表面进行修饰的纳米加工方法 ,重点讨论了加工机理。实验考虑了样品的表面状态 ,周围大气状况 ,所加电压的极性、大小和加压方式等影响纳米加工的因素。对机理的研究表明 ,针尖和样品之间发生的是场致电子发射而非热电子发射 ,电流热效应增强粒子的扩散能力 ,提高了电化学反应速度。 展开更多
关键词 原子力显微镜 AFM 导电探针 纳米加工 表面修饰 纳米技术 场致电子发射 粒子扩散 阳极氧化扩散
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用侧向力显微镜表征纳米级DLC膜摩擦性能 被引量：1
20
作者 丁建宁 朱守星 +4 位作者 范真 李长生 陈曦 蔡兰 杨继昌 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期230-232,237,共4页
本文用侧向力显微镜 (LateralForceMicroscope ,LFM)研究不同厚度类金刚石 (Diamond LikeCarbon ,DLC)膜的摩擦性能。对厚度为 1 5 3 4nm ,6 4 9nm ,1 2 0 7nmDLC膜摩擦力和法向力的关系进行研究 ,实验表明施加较低载荷 ,摩擦力和法... 本文用侧向力显微镜 (LateralForceMicroscope ,LFM)研究不同厚度类金刚石 (Diamond LikeCarbon ,DLC)膜的摩擦性能。对厚度为 1 5 3 4nm ,6 4 9nm ,1 2 0 7nmDLC膜摩擦力和法向力的关系进行研究 ,实验表明施加较低载荷 ,摩擦力和法向力成线性关系 ,符合Amontons’s定律 ;而膜厚为 4 4 8nm、2 78nm样品由于粗糙度、峰态和偏态的差异导致摩擦力和载荷关系不明显 ,研究指出针尖和薄膜的表面接触可以简化为Tomlinson模型 。 展开更多
关键词 侧向力显微镜 DLC膜 摩擦性能 纳米薄膜 类金刚石膜 标定
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