工艺条件对硼掺杂纳米硅薄膜微结构及力学性能的影响 被引量：5

1

作者 丁建宁 祁宏山 +6 位作者 袁宁一 何宇亮 程广贵 范真 潘海彬 王君雄 王秀琴 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第2期188-193,共6页

采用射频和直流偏压(RF+DC)双重激励源,在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统中成功制备了掺硼纳米硅薄膜。改变衬底温度、射频功率和退火温度几个关键工艺参数,利用拉曼(Raman)谱仪、薄膜测厚仪和原子力显微镜(AFM)对掺硼纳米硅薄膜... 采用射频和直流偏压(RF+DC)双重激励源,在等离子体增强化学气相沉积(PECVD)系统中成功制备了掺硼纳米硅薄膜。改变衬底温度、射频功率和退火温度几个关键工艺参数,利用拉曼(Raman)谱仪、薄膜测厚仪和原子力显微镜(AFM)对掺硼纳米硅薄膜的微结构进行了分析;应用纳米压痕法研究了工艺条件对薄膜弹性模量及硬度等力学性能的影响关系。结果表明:薄膜晶态比、平均晶粒大小随着衬底温度的升高均有增大趋势;射频功率对提高薄膜生长速率存在最优值条件;退火对本征和掺硼薄膜表面形貌特征有较大影响,退火后掺硼薄膜表面粗糙度增大明显。薄膜弹性模量及硬度很大程度上受射频功率和后序处理条件的影响,退火使薄膜的力学性能有所提高。针对实验现象,从薄膜结构方面进行了相关的理论阐释。 展开更多

关键词 纳米硅薄膜 掺硼 弹性模量 退火 AFM

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范德华力对硅基微悬臂梁抗粘附稳定性的影响 被引量：11

2

作者 张建 丁建宁 +1 位作者 王权 张华中 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期923-926,共4页

通过在硅微悬臂梁与基底表面上涂覆低表面能的憎水性OTS(CH3(CH2)17SiCl3)膜,以除去接触面间的表面张力;把梁与基底均接地,以除去接触面间的静电力,研究仅有范德华力作用时,硅微悬臂梁结构的抗粘附稳定性。根据两接触面均为粗糙表面的... 通过在硅微悬臂梁与基底表面上涂覆低表面能的憎水性OTS(CH3(CH2)17SiCl3)膜,以除去接触面间的表面张力;把梁与基底均接地,以除去接触面间的静电力,研究仅有范德华力作用时,硅微悬臂梁结构的抗粘附稳定性。根据两接触面均为粗糙表面的微观实际接触模型,在接触表面产生塑性变形的情况下,计算范德华粘附能大小,并分析表面形貌对其影响,得到粗糙表面接触的微梁抗粘附临界长度。 展开更多

关键词 微纳器件 范德华力 粘附 稳定性

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纳米流体的制备及稳定性分析 被引量：12

3

作者 王宏宇 王助良 +2 位作者 杜敏 王力 凌智勇 《河南科技大学学报（自然科学版）》 CAS 北大核心 2016年第1期5-8,25,共5页

采用"两步法"制备了Al__2O_3-水和SiO_2-水纳米流体,并分别采用十二烷基硫酸钠(sodium dodecyl sulfonate,SDS)和阿拉伯树胶(Arabic gum,AG)作为分散剂。通过圆环法测定了25℃时SDS水溶液的临界胶束浓度(critical micelle con... 采用"两步法"制备了Al__2O_3-水和SiO_2-水纳米流体,并分别采用十二烷基硫酸钠(sodium dodecyl sulfonate,SDS)和阿拉伯树胶(Arabic gum,AG)作为分散剂。通过圆环法测定了25℃时SDS水溶液的临界胶束浓度(critical micelle concentration,CMC)。利用悬浮物测试仪分析了纳米流体的稳定性,并着重分析比较了超声分散时间、分散剂浓度、分散剂种类对纳米流体稳定性的影响。分析结果表明:Al_2O_3纳米颗粒在超声分散3 h时具有最佳的稳定性,SiO_2纳米颗粒在超声分散5 h时获得最佳稳定性。添加阴离子表面活性剂SDS的质量分数在CMC附近时,对两种纳米流体均具有最好的稳定性,而高分子表面活性剂AG的质量分数与纳米粒子的质量分数相仿时,具有最好的稳定性。 展开更多

关键词 纳米流体 分散剂 稳定性 临界胶束浓度

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纳米流体黏度特性 被引量：19

4

作者 凌智勇 邹涛 +4 位作者 丁建宁 程广贵 张忠强 孙东建 钱龙 《化工学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期1409-1414,共6页

引言 纳米流体是将纳米粒子添加到基液中形成的稳定悬浮混合液。近10年来,国内外许多学者对纳米流体的导热性能进行了大量研究,添加纳米粒子后溶液的导热能力明显加强。Jung等[1]对微渠道中的纳米流体对流传热特性进行了研究,研究发现... 引言 纳米流体是将纳米粒子添加到基液中形成的稳定悬浮混合液。近10年来,国内外许多学者对纳米流体的导热性能进行了大量研究,添加纳米粒子后溶液的导热能力明显加强。Jung等[1]对微渠道中的纳米流体对流传热特性进行了研究,研究发现粒径为170nm、 展开更多

关键词 纳米流体 温度 分散剂 体积分数 黏度

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表面活性剂对Cu-H_2O和ZrO_2-H_2O纳米流体稳定性的影响 被引量：10

5

作者 凌智勇 黄跃涛 +2 位作者 张忠强 牛广清 程广贵 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期10100-10103,10109,共5页

通过添加表面活性剂制备了Cu-H2O和Zr O2-H2O纳米流体,研究了十二烷基苯磺酸钠、十六烷基三甲基溴化铵和辛基苯基聚氧乙烯醚等表面活性剂对Cu-H2O和Zr O2-H2O纳米流体分散稳定性的影响;并利用分子动力学方法计算出不同表面活性剂分子与C... 通过添加表面活性剂制备了Cu-H2O和Zr O2-H2O纳米流体,研究了十二烷基苯磺酸钠、十六烷基三甲基溴化铵和辛基苯基聚氧乙烯醚等表面活性剂对Cu-H2O和Zr O2-H2O纳米流体分散稳定性的影响;并利用分子动力学方法计算出不同表面活性剂分子与Cu/Zr O2颗粒表面的相互作用能。结果发现添加表面活性剂可较大程度地提升纳米流体的稳定性,而尤以添加十二烷基苯磺酸钠的效果最为明显,计算结果也显示十二烷基苯磺酸钠分子与Cu/Zr O2间的吸附作用最强。此外,还模拟了SDBS与Cu-H2O纳米流体中Cu颗粒的吸附行为。 展开更多

关键词 表面活性剂 纳米流体 吸附行为 稳定性

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温度和颗粒浓度对纳米流体粘度的影响 被引量：13

6

作者 凌智勇 孙东健 +4 位作者 张忠强 丁建宁 程广贵 钱龙 张睿 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2013年第1期92-95,共4页

采用"两步法"制备了含有不同质量分数的TiO2-水纳米流体,并观察了其稳定性。测量了不同质量分数的纳米流体在15～40℃时的粘度,结果表明,纳米流体的粘度随颗粒浓度的增加而增大,随温度的升高而以指数形式降低,并且各种纳米流... 采用"两步法"制备了含有不同质量分数的TiO2-水纳米流体,并观察了其稳定性。测量了不同质量分数的纳米流体在15～40℃时的粘度,结果表明,纳米流体的粘度随颗粒浓度的增加而增大,随温度的升高而以指数形式降低,并且各种纳米流体的粘度随温度的变化趋势相似。结合实验数据,对已有粘度计算公式进行修正,提出了涉及温度和颗粒浓度的纳米流体粘度计算公式。 展开更多

关键词 纳米流体 稳定性 粘度 温度

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Cu-水纳米流体的稳定性及其粘度的实验研究 被引量：13

7

作者 凌智勇 张体峰 +3 位作者 丁建宁 程广贵 邹涛 朱爱军 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第B06期481-483,共3页

采用"两步法"制备了含不同质量分数的Cu-水纳米流体,分别对质量分数为0.1%、0.5%以及1%纳米流体的稳定性及其粘度进行了实验研究,并与经典两相混合物粘度模型进行了比较。结果表明,添加分散剂SDBS能有效改善Cu-水纳米流体的... 采用"两步法"制备了含不同质量分数的Cu-水纳米流体,分别对质量分数为0.1%、0.5%以及1%纳米流体的稳定性及其粘度进行了实验研究,并与经典两相混合物粘度模型进行了比较。结果表明,添加分散剂SDBS能有效改善Cu-水纳米流体的稳定性,且当其浓度与Cu纳米颗粒的质量分数相当时,纳米流体的稳定最好;纳米流体的粘度随颗粒质量分数的增加而增加,但实验值与理论值存在一定的差异,这主要是由于理论计算模型只考虑了颗粒含量对粘度的影响所致。 展开更多

关键词 纳米流体 制备 稳定性 粘度

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纳米弹性复合DLC薄膜的制备及其摩擦性能研究 被引量：3

8

作者 程广贵 丁建宁 +3 位作者 凌智勇 坎标 范真 石超燕 《摩擦学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第3期207-212,共6页

利用磁过滤阴极真空弧沉积系统在硅片及以硅片为基底的2种弹性体材料表面沉积厚度为2．7nm的DLC膜，采用原子力显微镜和拉曼光谱仪对薄膜的形貌及成分进行分析，用纳米力学测试系统测量薄膜的弹性模量和硬度，用UMT-2型多功能微摩擦磨... 利用磁过滤阴极真空弧沉积系统在硅片及以硅片为基底的2种弹性体材料表面沉积厚度为2．7nm的DLC膜，采用原子力显微镜和拉曼光谱仪对薄膜的形貌及成分进行分析，用纳米力学测试系统测量薄膜的弹性模量和硬度，用UMT-2型多功能微摩擦磨损试验机考察其摩擦性能．结果表明，以γ-缩水甘油醚氧丙基三甲氧基硅烷（187）为偶联剂的薄膜试样表面比以γ-氨丙基三乙氧基硅烷（APS）为偶联剂的薄膜试样表面更致密且粗糙度更低，薄膜的最上层为DLC膜．在硅表面沉积DLC薄膜可以显著降低其表面的摩擦系数（0．117～0．137），在低载荷条件下，含偶联剂及弹性体的DLC薄膜的摩擦系数低于硅表面沉积DLC的薄膜，且以187为偶联剂的薄膜试样的摩擦性能更佳；在高载荷条件下，硅表面沉积DLC的薄膜具有更优异的摩擦性能． 展开更多

关键词 磁过滤阴极真空弧沉积系统(FCVA) 弹性复合薄膜 DLC膜 偶联剂 摩擦性能

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TA4微弧氧化陶瓷膜层的结构与性能研究 被引量：4

9

作者 徐琳 丁建宁 +2 位作者 李伯全 许晓静 牛小丫 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第24期24095-24099,共5页

利用微弧氧化法在纯钛TA4表面制备以Ti O2为主体富含钙磷的多孔陶瓷膜层。采用扫描电镜、X射线能谱仪、X射线衍射仪、拉曼光谱仪、接触角测量仪及电化学工作站观测与分析陶瓷膜层的微观形貌、元素成分及相组成,探讨微弧氧化对其润湿性... 利用微弧氧化法在纯钛TA4表面制备以Ti O2为主体富含钙磷的多孔陶瓷膜层。采用扫描电镜、X射线能谱仪、X射线衍射仪、拉曼光谱仪、接触角测量仪及电化学工作站观测与分析陶瓷膜层的微观形貌、元素成分及相组成,探讨微弧氧化对其润湿性及耐蚀性能的影响。结果表明,TA4微弧氧化陶瓷膜层表面粗糙多孔,为锐钛矿相与金红石相Ti O2的混晶结构,金红石相的质量分数约为74.39%。TA4经微弧氧化改性后,表面粗糙度增加了1个数量级,接触角明显下降,表面能提高了87.05%,极性力分量增加了166.07%,体现出更好的润湿性能;自腐蚀电位正移0.53 V,腐蚀电流密度与腐蚀速率均减少了3个数量级,表现出更优的耐腐蚀性能。 展开更多

关键词 TA4 微弧氧化 拉曼光谱 润湿性 耐蚀性 表面形貌

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纳米流体黏度与温度的关系研究 被引量：7

10

作者 凌智勇 张睿 +2 位作者 张忠强 丁建宁 程广贵 《化工新型材料》 CAS CSCD 北大核心 2014年第8期79-81,共3页

温度变化对纳米流体粘度的影响是很明显的。结果表明:含有表面活性剂的纳米流体的黏度在温度低于60℃时,黏度随温度的升高而降低,超过此温度后,纳米流体的黏度随温度的升高而升高。只含有纳米粒子的纳米流体黏度随温度的升高而降低,高... 温度变化对纳米流体粘度的影响是很明显的。结果表明:含有表面活性剂的纳米流体的黏度在温度低于60℃时,黏度随温度的升高而降低,超过此温度后,纳米流体的黏度随温度的升高而升高。只含有纳米粒子的纳米流体黏度随温度的升高而降低,高温时黏度随温度升高而减小的幅度减小,而使用表面活性剂后黏度与温度的关系出现异常,高温时黏度随温度的增加而增加。随着温度的升高,纳米粒子的布朗运动加强,粒子的无序运动增加流体流动的阻力,虽然表面活性剂的使用提高了纳米流体的稳定性,但大分子结构的表面活性剂吸附在粒子周围,致使粒子作布朗运动时大大增加液体的粘性,以至高温时纳米流体黏度随温度的升高而升高。本研究还对Cu-water、ZrO2-water纳米流体的黏度与温度的关系式进行拟合,拟合公式与实验数据吻合,误差小于0.5%,拟合公式中纳米流体的黏度与温度、粒子体积分数和基液有关。 展开更多

关键词 纳米流体 黏度 温度 表面活性剂

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微型高温压力传感器芯片设计分析与优化 被引量：3

11

作者 赵艳平 丁建宁 +2 位作者 杨继昌 王权 薛伟 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1829-1831,共3页

基于弹性力学和板壳力学理论,分析了微型高温压力传感器圆形膜片的受力分布,为力敏电阻在应变膜上的布置提供依据;利用有限元分析方法,借助ANSYS仿真软件,对微型高温压力传感器应变膜进行了一系列的分析和计算机模拟,探讨了传感器圆形... 基于弹性力学和板壳力学理论,分析了微型高温压力传感器圆形膜片的受力分布,为力敏电阻在应变膜上的布置提供依据;利用有限元分析方法,借助ANSYS仿真软件,对微型高温压力传感器应变膜进行了一系列的分析和计算机模拟,探讨了传感器圆形应变膜简化应力模型的合理性以及温度对应力差分布的影响,得到了直观可靠的结果,为微型高温压力传感器芯片设计和研发新颖的微型高温压力传感器芯片提供有力的依据. 展开更多

关键词 高温压力传感器 力敏电阻 芯片 优化

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蛇腹鳞表面的超微结构及减阻机理 被引量：3

12

作者 张占立 杨继昌 +2 位作者 丁建宁 胡友耀 解国新 《农业机械学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第9期155-158,共4页

用原子力显微镜观测了竹叶青蛇、短尾蝮蛇和赤链华游蛇腹鳞表面的超微结构,分析了腹鳞表面的减阻机理。结果表明:3种蛇腹鳞表面的超微结构均为微凸体、微孔和凹坑周期排列的规律结构;蛇的栖息环境不同,超微结构的排间距、微凸体长度以... 用原子力显微镜观测了竹叶青蛇、短尾蝮蛇和赤链华游蛇腹鳞表面的超微结构,分析了腹鳞表面的减阻机理。结果表明:3种蛇腹鳞表面的超微结构均为微凸体、微孔和凹坑周期排列的规律结构;蛇的栖息环境不同,超微结构的排间距、微凸体长度以及微孔的直径、数量不同。从陆栖到水栖,微凸体长度逐渐减小,微孔数量逐渐增加。微凸体减少了腹鳞和地面间的实际接触面积,从而减小了滑动时的粘着力;腹鳞表面的疏水性,减少了接触面间水的粘附力。 展开更多

关键词 仿生学 蛇腹鳞 超微结构 减阻机理

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蝴蝶翅膀表面超微结构与浸润性机理分析 被引量：3

13

作者 徐琳 丁建宁 +2 位作者 李伯全 程广贵 坎标 《江苏大学学报（自然科学版）》 EI CAS 北大核心 2009年第4期347-351,共5页

用热场发射扫描电子显微镜和接触角测量仪观测迁粉蝶、密纱眉眼蝶、素饰蛱蝶、绿带翠凤蝶和黑绢斑蝶翅膀表面的超微结构，测量其静态接触角和滚动角，测量分析表明：蝴蝶翅膀表面覆盖着重叠排列的瓦片状鳞片，鳞片上分布有纵隆脊和肋，... 用热场发射扫描电子显微镜和接触角测量仪观测迁粉蝶、密纱眉眼蝶、素饰蛱蝶、绿带翠凤蝶和黑绢斑蝶翅膀表面的超微结构，测量其静态接触角和滚动角，测量分析表明：蝴蝶翅膀表面覆盖着重叠排列的瓦片状鳞片，鳞片上分布有纵隆脊和肋，相邻脊脉与肋间形成了凹坑；鳞片的排间距、脊和肋按蝴蝶种类的不同而具有不同的尺寸．有鳞片翅膀表面的接触角在139．7°～158．9°之间，明显大于无鳞片翅膀表面的接触角（88°～144°），正向、逆向和垂直翅脉发散方向的滚动角不同，翅膀表面的超微结构导致其具有各向异性的浸润性． 展开更多

关键词 蝴蝶 表面结构 鳞片 浸润性 接触角 滚动角

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层流状态下纳米流体的对流传热特性 被引量：4

14

作者 凌智勇 朱爱军 +3 位作者 丁建宁 范真 程广贵 傅鹏飞 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第6期948-951,共4页

通过数值模拟的方法研究了层流状态下雷诺数、体积分数、颗粒和基液种类以及颗粒粒径对纳米流体对流传热特性的影响。研究结果表明,纳米流体的对流传热系数明显高于基液,并且与基液和颗粒的性质、颗粒的体积分数及颗粒粒径密切相关。纳... 通过数值模拟的方法研究了层流状态下雷诺数、体积分数、颗粒和基液种类以及颗粒粒径对纳米流体对流传热特性的影响。研究结果表明,纳米流体的对流传热系数明显高于基液,并且与基液和颗粒的性质、颗粒的体积分数及颗粒粒径密切相关。纳米流体的对流传热系数随着颗粒和基液热导率的增加、颗粒体积分数的增加以及颗粒粒径的减小而增大。研究发现,对于一定体积分数的Cu-水纳米流体,在层流状态下对流传热系数的提高程度基本保持一致,与雷诺数大小无关。 展开更多

关键词 纳米流体 层流 对流传热 数值模拟

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FeCuNbSiB单纳米晶磁芯双绕组新型电流传感器理论分析 被引量：2

15

作者 鲍丙豪 朱大奇 +4 位作者 丁建宁 李长生 李伯全 陈进 鲁开玉 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第11期1139-1143,共5页

炉内等温退火法制得的纳米晶合金F e73.5Cu1N b3S i13.5B9环形磁芯,由于在退火过程中材料内应力得以充分驰豫释放,使其具有高的磁性能温度稳定性及高的磁灵敏度,特别适合于制作对微弱电流进行测量的传感器。利用纳米晶合金材料作为敏感... 炉内等温退火法制得的纳米晶合金F e73.5Cu1N b3S i13.5B9环形磁芯,由于在退火过程中材料内应力得以充分驰豫释放,使其具有高的磁性能温度稳定性及高的磁灵敏度,特别适合于制作对微弱电流进行测量的传感器。利用纳米晶合金材料作为敏感材料,提出了采用单纳米晶磁芯双绕组结构,多谐自振荡励磁,可进行非接触检测微弱电流的新型传感器。建立了传感器的数学模型,从理论上分析了传感器工作原理,该理论与实验结果很好地吻合。并利用傅里叶变换对桥路输出信号进行分析,指出了传感器信号调理电路的设计方法。 展开更多

关键词 纳米晶合金 单磁芯双绕组 非接触 电流传感器理论 傅里叶变换 多谐振荡桥

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微构件316L在力电耦合下力学行为实验研究 被引量：3

16

作者 薛伟 王权 +1 位作者 丁建宁 余朋清 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05A期1620-1622,共3页

力学场与电场造成的场耦合下,微构件材料的力学行为的研究有重要的意义.用自制的微拉伸装置,通过对不同电流作用下的直径为20m的316L微构件进行拉伸实验,发现微构件在拉伸作用下出现明显的塑性变形;力学性能与宏观性能有所不同,出现了... 力学场与电场造成的场耦合下,微构件材料的力学行为的研究有重要的意义.用自制的微拉伸装置,通过对不同电流作用下的直径为20m的316L微构件进行拉伸实验,发现微构件在拉伸作用下出现明显的塑性变形;力学性能与宏观性能有所不同,出现了小尺寸效应;不同电流作用下,微构件的弹性模量和拉伸强度随电流的增大而降低,获得了可靠的设计参数. 展开更多

关键词 微构件316L 力电耦合 力学行为

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不同温度规范对微电子封装可靠性影响的研究 被引量：1

17

作者 杨平 李宁 +2 位作者 沈才俊 秦向南 潘超 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第4期68-70,73,共4页

使用Ansys有限元软件建立三维BGA封装模型,考虑在不同的保温时间和升降温时间情况下焊点的力学行为,并通过Darveaux的失效模型来计算并比较封装体的疲劳寿命。结果表明:对于焊点在温度循环过程中的疲劳寿命来说,保温时间的影响比升降温... 使用Ansys有限元软件建立三维BGA封装模型,考虑在不同的保温时间和升降温时间情况下焊点的力学行为,并通过Darveaux的失效模型来计算并比较封装体的疲劳寿命。结果表明:对于焊点在温度循环过程中的疲劳寿命来说,保温时间的影响比升降温时间的影响大,保温时间超过20min之后对寿命的影响就很小了,说明温度循环测试的关键不应该在升降温时间而应该在保温时间上。 展开更多

关键词 保温时间 升降温时间 疲劳寿命

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竹叶青蛇腹鳞的超微结构及减阻机理 被引量：1

18

作者 张占立 杨继昌 +2 位作者 丁建宁 胡友耀 解国新 《江苏大学学报（自然科学版）》 EI CAS 北大核心 2006年第6期471-474,共4页

用原子力显微镜观察了竹叶青蛇腹鳞表面的超微结构;在微观多功能摩擦磨损实验机上,对腹鳞-不锈钢球摩擦副进行了摩擦试验;分析了腹鳞的减阻机理.试验结果表明:竹叶青蛇腹鳞的超微结构由三角形微凸体、微孔和凹坑周期排列而成;腹鳞表面... 用原子力显微镜观察了竹叶青蛇腹鳞表面的超微结构;在微观多功能摩擦磨损实验机上,对腹鳞-不锈钢球摩擦副进行了摩擦试验;分析了腹鳞的减阻机理.试验结果表明:竹叶青蛇腹鳞的超微结构由三角形微凸体、微孔和凹坑周期排列而成;腹鳞表面的平均摩擦因数为0.183,且与载荷无关;腹鳞的摩擦阻力主要是粘着力和微凸体变形的滞后阻力.腹鳞的减阻机理是:微凸体减少了腹鳞的实际接触面积,从而降低了粘着力;微孔和凹坑分泌、存储的极性润滑液以及腹鳞表面的疏水性可以减小水的粘附力. 展开更多

关键词 竹叶青蛇 腹鳞 超微结构 摩擦因数 减粘降阻

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通用型耐高温微型压力传感器封装工艺研究 被引量：3

19

作者 王权 丁建宁 王文襄 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2005年第6期6-7,共2页

针对通用型高温微型压力传感器的测量要求,采用SIMOX(separationbyimplantedoxygen)技术SOI(silicononinsulator)晶片4层结构Pt5Si2-Ti-Pt-Au合金化引线系统,解决了高温压力传感器引线的难点。制作了静电键合实验装置,完成了硅/玻璃环... 针对通用型高温微型压力传感器的测量要求,采用SIMOX(separationbyimplantedoxygen)技术SOI(silicononinsulator)晶片4层结构Pt5Si2-Ti-Pt-Au合金化引线系统,解决了高温压力传感器引线的难点。制作了静电键合实验装置,完成了硅/玻璃环静电键合,制作了压焊工作台,选用退火后的金丝,金金连接完成内引线键合。自制了耐高温覆铜传引板,定制了含Ag的高温焊锡丝,选用了耐高温导线作为外导线,完成了耐高温封装的关键部分。研制了高精度、稳定性的压阻式压力传感器。 展开更多

关键词 高温压力传感器 引线 静电键合 热压焊 耐高温封装

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不同晶态比条件下氢化纳米硅薄膜光学性质的研究 被引量：1

20

作者 郭立强 丁建宁 +3 位作者 杨继昌 程广贵 凌智勇 董玉忠 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第A01期76-79,共4页

利用等离子体化学气相沉积系统,在射频源和直流负偏压源的双重激励下,保持射频功率、反应室气压、衬底温度、硅烷与氢气混合比以及总流量不变,改变直流负偏压从50～250V,在康宁7059玻璃衬底上制备了本征氢化纳米硅薄膜。利用拉曼散射仪... 利用等离子体化学气相沉积系统,在射频源和直流负偏压源的双重激励下,保持射频功率、反应室气压、衬底温度、硅烷与氢气混合比以及总流量不变,改变直流负偏压从50～250V,在康宁7059玻璃衬底上制备了本征氢化纳米硅薄膜。利用拉曼散射仪表征了不同直流负偏压条件下薄膜微结构特征;利用Shmadzu UV-2450型光谱仪测试了薄膜样品透射图谱。研究发现提高直流负偏压将导致晶态比、沉积速率发生变化。薄膜的光吸收系数和消光系数随波长增加呈下降趋势;不同晶态比薄膜的悬挂键和有效载流子浓度、致密程度、键畸变程度和悬挂键数目的差异,致使晶态比增加,薄膜的吸收系数、消光系数在波长为400nm附近依次增加,光学带隙值从1.96eV减小到1.66eV。 展开更多

关键词 直流负偏压 消光系数 透射光谱 氢化纳米硅薄膜

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