等离子体改性对纳米碳管电化学检测性能的影响

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作者 李艳琼 杨茂文 +3 位作者 王升高 王涛 程莉莉 汪建华 《应用化工》 CAS CSCD 2007年第6期527-529,536,共4页

利用微波等离子体化学气相沉积法制备了与电极基底结合良好的纳米碳管电极,用空气等离子体将该纳米碳管电极功能化,并以功能化的电极为工作电极,利用循环伏安法对毒性很强的酚的混合物进行检测。根据氧化还原峰电位的不同可以区分出邻... 利用微波等离子体化学气相沉积法制备了与电极基底结合良好的纳米碳管电极,用空气等离子体将该纳米碳管电极功能化,并以功能化的电极为工作电极,利用循环伏安法对毒性很强的酚的混合物进行检测。根据氧化还原峰电位的不同可以区分出邻苯二酚和对苯二酚,与石墨电极相比,功能化的纳米碳管电极具有更好的电催化性能。利用该电极测定酚的混合物是一种准确、快速、有效的测定方法。合成纳米碳管电极的最佳工艺条件为:功率为400 W,压强为3.0 kPa,甲烷流速为2 mL/m in,氢气流速为50 mL/m in;功能化纳米碳管的最佳工艺条件为:功率为150 W,压强为1.0 kPa,空气的流速为50 mL/m in。 展开更多

关键词 纳米碳管电极 电化学检测 微波等离子体化学气相沉积法

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在CH_4-H_2微波等离子体中添加H_2O对大面积金刚石膜生长的研究 被引量：14

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作者 满卫东 汪建华 +3 位作者 王传新 马志斌 王升高 刘远勇 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2005年第6期16-19,共4页

用自制的微波功率为5千瓦的微波等离子体(MWCVD)装置,研究了在CH4-H2反应气体中添加安全廉价的H2O代替O2金刚石膜的沉积状况,以H2/CH4/H2O作为反应气体,成功制备了厚度达到1.1毫米,面积达20平方厘米的金刚石厚膜。在沉积温度为700-900... 用自制的微波功率为5千瓦的微波等离子体(MWCVD)装置,研究了在CH4-H2反应气体中添加安全廉价的H2O代替O2金刚石膜的沉积状况,以H2/CH4/H2O作为反应气体,成功制备了厚度达到1.1毫米,面积达20平方厘米的金刚石厚膜。在沉积温度为700-900℃范围内,研究了CH4/H2=3.0%,H2O/H2=0.0-2.4%范围内金刚石膜沉积的速率,均匀性,形貌以及质量的变化规律。研究结果表明,在反应气体CH4/H2中添加适量H2O能降低金刚石膜中非金刚石碳的含量,提高金刚石膜厚度的均匀性,并对反应气体中添加H2O对CVD金刚石膜生长影响机理进行了阐述。 展开更多

关键词 金刚石膜 微波 化学气相沉积 生长

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氢等离子体在铁催石墨化作用下对CVD金刚石膜的刻蚀 被引量：4

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作者 满卫东 汪建华 +3 位作者 王传新 马志斌 王升高 张宝华 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2006年第5期1-4,9,共5页

在铁薄膜的催石墨化作用下研究了用氢等离子体刻蚀由微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)制备的多晶金刚石厚膜的表面。其工艺为:自支撑的金刚石厚膜浸入饱和的三氯化铁水溶液中,然后平放在大气环境中干燥,将处理过后的金刚石膜放入MPCVD... 在铁薄膜的催石墨化作用下研究了用氢等离子体刻蚀由微波等离子体化学气相沉积(MPCVD)制备的多晶金刚石厚膜的表面。其工艺为:自支撑的金刚石厚膜浸入饱和的三氯化铁水溶液中,然后平放在大气环境中干燥,将处理过后的金刚石膜放入MPCVD装置中,先用氢等离子体将氯化铁还原成铁,然后在800℃左右的温度下,利用铁对金刚石的催石墨化作用及氢等离子体的刻蚀作用将其表面刻蚀。刻蚀完后的金刚石用酸清洗,在丙酮溶液中漂洗,然后用SEM观察刻蚀效果,用Ram an光谱对表面碳的结构进行了表征。最后用机械研磨法对金刚石样品表面进行研磨,并对研磨结果进行对比。实验结果表明,这种方法能够有选择地快速刻蚀金刚石膜的表面,破坏表面晶粒的完整度,降低表面耐磨性,从而提高对粗糙金刚石膜表面研磨的效率。 展开更多

关键词 CVD 金刚石膜 刻蚀 等离子体

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等离子体改性牦牛毛

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作者 耿茜 汪建华 +1 位作者 王升高 余军杰 《应用化工》 CAS CSCD 2006年第10期752-754,共3页

采用微波电子回旋共振等离子体反应离子刻蚀(ECR-R IE)装置对牦牛毛纤维进行表面改性,从而改善牦牛毛的可纺性。研究了各等离子体参数对牦牛毛纤维性能的影响。通过SEM、XPS及吸附性能等的分析,结果表明,在相同参数的等离子体条件下,随... 采用微波电子回旋共振等离子体反应离子刻蚀(ECR-R IE)装置对牦牛毛纤维进行表面改性,从而改善牦牛毛的可纺性。研究了各等离子体参数对牦牛毛纤维性能的影响。通过SEM、XPS及吸附性能等的分析,结果表明,在相同参数的等离子体条件下,随着产生等离子体的微波功率的增大,对牦牛毛纤维表面的刻蚀效果增强;经过等离子体处理过的牦牛毛纤维的亲水性,上染率等都有明显的提高,说明该方法是一条切实可行的路线。 展开更多

关键词 牦牛毛 等离子体 表面改性

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含Fe(Ⅲ)离子有机-无机层状类钙钛矿杂合物修饰电极对对苯二酚的电催化作用及测定 被引量：1

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作者 周寻 吴婧 +1 位作者 陈高峰 林志东 《分析测试学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第11期1149-1153,共5页

以酚藏花红为有机层、含三价铁的K3Fe(CN)6为无机层在空气中合成了有机-无机层状类钙钛矿杂合物修饰碳糊电极。利用扫描电镜(SEM)和X-射线衍射(XRD)对其表面形貌和微观结构进行表征,并用循环伏安法研究了杂合物修饰电极的电化学性质,发... 以酚藏花红为有机层、含三价铁的K3Fe(CN)6为无机层在空气中合成了有机-无机层状类钙钛矿杂合物修饰碳糊电极。利用扫描电镜(SEM)和X-射线衍射(XRD)对其表面形貌和微观结构进行表征,并用循环伏安法研究了杂合物修饰电极的电化学性质,发现该电极对对苯二酚具有良好的电催化作用。结果表明,在pH5.0的PBS缓冲溶液中,对苯二酚在空白碳糊电极上为二步还原过程而在修饰电极上只有一步还原过程,修饰电极更有利于检测对苯二酚。采用微分脉冲伏安法在-0.4～0V电位范围内进行扫描,在-240.2mV处的还原峰电流与对苯二酚浓度在1.0×10-6～1.0×10-3mol/L范围呈良好的线性关系,相关系数为0.9951,检出限为4.73×10-7mol/L。对1.0×10-5mol/L的对苯二酚连续测定5次,相对标准偏差为1.8%。模拟样品中对苯二酚的平均加标回收率为102%。 展开更多

关键词 有机-无机层状类钙钛矿杂合物 修饰电极 对苯二酚 电催化

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热丝化学气相沉积法制备金刚石薄膜的生长取向及内应力研究

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作者 邢文娟 汪建华 王传新 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期305-308,共4页

采用热丝化学气相沉积法在YG6硬质合金基体上制备出了金刚石薄膜,研究了基片与热丝间的距离以及负偏压对金刚石薄膜的生长取向和内应力的影响。采用扫描电子显微镜对沉积得到的金刚石薄膜的生长取向进行了表征,利用激光Raman光谱对金刚... 采用热丝化学气相沉积法在YG6硬质合金基体上制备出了金刚石薄膜,研究了基片与热丝间的距离以及负偏压对金刚石薄膜的生长取向和内应力的影响。采用扫描电子显微镜对沉积得到的金刚石薄膜的生长取向进行了表征,利用激光Raman光谱对金刚石薄膜的内应力进行了计算。结果表明:当基片与热丝间的距离保持在4.0～8.5mm,基体温度保持在750～800℃时,沉积出的金刚石膜表面晶形主要为(111)面,其内应力随着距离的增加而逐渐减小,在8.0mm时为最小;但是当基底温度高于800℃时,内应力就会随着温度的升高而增加;最终结果导致膜基附着力减弱。 展开更多

关键词 热丝化学气相沉积 金刚石薄膜 薄膜生长取向 内应力

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微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备 被引量：4

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作者 满卫东 孙蕾 +3 位作者 吴宇琼 谢鹏 余学超 汪建华 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 北大核心 2008年第2期1-4,共4页

由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管(LED)理想的散热材料。本文利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石... 由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管(LED)理想的散热材料。本文利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石薄膜进行了表征,并将金刚石薄膜用作LED散热片的散热效果进行了检测。结果表明:在硅衬底上沉积20-30μm的CVD金刚石薄膜可以有效地降低LED的工作温度;在相同的制备成本下,提高薄膜的厚度(甲烷浓度4%)比提高薄膜的质量(甲烷浓度2%)更有利于提高LED的散热效果。本研究表明微波等离子体CVD制备的金刚石薄膜是大功率LED的理想散热衬底材料。 展开更多

关键词 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜 散热片 LED

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微波CVD金刚石薄膜用作LED散热片的制备 被引量：3

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作者 满卫东 孙蕾 +1 位作者 汪建华 谢鹏 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期316-318,共3页

由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管理想的散热材料。利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石薄膜进行了... 由于金刚石具有室温下最高的热导率,因此用化学气相沉积(CVD)制备的金刚石膜是大功率发光二极管理想的散热材料。利用微波等离子体CVD研究了不同沉积工艺下金刚石薄膜的生长。用扫描电子显微镜(SEM)和拉曼光谱对得到的金刚石薄膜进行了表征,并将金刚石薄膜用作LED散热片的散热效果进行了检测。结果表明:CVD金刚石薄膜可以有效降低LED的工作温度;在相同的制备成本下,提高薄膜的厚度比提高薄膜的纯度更有利于提高LED的散热效果。 展开更多

关键词 微波等离子体 化学气相沉积 金刚石膜 散热片 LED

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玻璃基片上纳米碳管电极的集成 被引量：2

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作者 王升高 赵修建 +1 位作者 韩建军 汪建华 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第9期1050-1054,共5页

利用微波等离子体化学气相沉积法在玻璃孔穴中定位生长纳米碳管电极,分析了负偏压对纳米碳管电极生长的影响.该电极对铜离子的电化学检测性能分析结果表明,所制备的纳米碳管电极具有良好的电化学检测性能,位于-0.0100V附近的铜离子的还... 利用微波等离子体化学气相沉积法在玻璃孔穴中定位生长纳米碳管电极,分析了负偏压对纳米碳管电极生长的影响.该电极对铜离子的电化学检测性能分析结果表明,所制备的纳米碳管电极具有良好的电化学检测性能,位于-0.0100V附近的铜离子的还原峰峰形良好,其电流在铜离子浓度为0.01￣0.30mmol·L-1时,与Cu2+浓度呈良好的线性关系,相关系数为0.9975,且具有较好的长期稳定性和重现性. 展开更多

关键词 纳米碳管电极 电化学检测 微波等离子体化学气相沉积法

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CVD金刚石薄膜的形核研究 被引量：4

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作者 黄建良 汪建华 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第S2期312-315,共4页

实验采用10kW不锈钢谐振腔型微波等离子体化学气相沉积装置,在Mo、Ni、Fe 3种不同类型的异质衬底上进行了金刚石形核研究;实验中发现对衬底采取高温氢等离子体退火处理(处理条件为:微波功率3000W,工作气压8.0kPa,H2流量100sccm,基片温... 实验采用10kW不锈钢谐振腔型微波等离子体化学气相沉积装置,在Mo、Ni、Fe 3种不同类型的异质衬底上进行了金刚石形核研究;实验中发现对衬底采取高温氢等离子体退火处理(处理条件为:微波功率3000W,工作气压8.0kPa,H2流量100sccm,基片温度约为900℃,处理时间为10～15min);以及在衬底上镀上复合过渡层的预处理方式能够抑制低温低气压条件下碳的石墨化趋向和提高膜、过渡层、衬底三者之间的结合力,进而可以有效地提高和改善金刚石膜的形核密度和质量。 展开更多

关键词 微波化学气相沉积 形核 金刚石膜

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硼源浓度对钛基掺硼金刚石薄膜生长的影响 被引量：4

11

作者 王文君 汪建华 +3 位作者 王均涛 辛永磊 熊礼威 刘峰 《表面技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期58-61,共4页

利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在钛基底上制备了掺硼金刚石(BDD)薄膜。研究了硼源浓度对BDD薄膜生长的影响。分别采用扫描电子显微镜,拉曼光谱,X射线衍射技术对薄膜的表面形貌、残余应力、择优取向及TiC含量进行了分析。结果表... 利用微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)在钛基底上制备了掺硼金刚石(BDD)薄膜。研究了硼源浓度对BDD薄膜生长的影响。分别采用扫描电子显微镜,拉曼光谱,X射线衍射技术对薄膜的表面形貌、残余应力、择优取向及TiC含量进行了分析。结果表明,硼源浓度升高对金刚石薄膜(111)织构生长有促进作用;随着掺硼浓度的增加,TiC含量和晶粒尺寸皆减小,同时薄膜的张应力增大,缓解薄膜自身在制备过程中形成的压应力,从而更大程度上提高薄膜附着力。 展开更多

关键词 硼浓度 掺硼金刚石薄膜 钛 微波等离子体化学气相沉积

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ZAO薄膜使用射频溅射法生长之参数的研究 被引量：2

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作者 耿茜 汪建华 王升高 《应用化工》 CAS CSCD 2006年第12期910-912,917,共4页

以氧化铝锌陶瓷为溅射靶材,在氩气环境下,使用射频溅射法在玻璃基片上制备氧化铝锌(ZAO)薄膜。通过调节气体压强、基片温度、溅射功率制膜,得到以C轴(002)为选择取向的氧化锌薄膜。由XRD、原子力显微镜(AFM)等对薄膜进行分析。结果表明... 以氧化铝锌陶瓷为溅射靶材,在氩气环境下,使用射频溅射法在玻璃基片上制备氧化铝锌(ZAO)薄膜。通过调节气体压强、基片温度、溅射功率制膜,得到以C轴(002)为选择取向的氧化锌薄膜。由XRD、原子力显微镜(AFM)等对薄膜进行分析。结果表明,制备薄膜的最佳条件为:溅射压强0.4 Pa,溅射功率200 W,基片温度300℃。 展开更多

关键词 ZAO陶瓷靶材 ZAO薄膜 RF溅射 XRD 原子力显微镜

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