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基于响应面法多自由度微机电陀螺的优化设计
被引量:
1
1
作者
郝淑英
孟思
+2 位作者
张琪昌
冯晶晶
陈炜
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2019年第1期113-120,共8页
为提高多自由度微机电陀螺的灵敏度及带宽的鲁棒性,提出了一种依据特征分析确定约束条件的新方法,即从参数限定的角度对结构参数对微机电陀螺动态性能的影响特征进行提取,以此为依据确定优化设计的约束条件,结合响应面法对多自由度微机...
为提高多自由度微机电陀螺的灵敏度及带宽的鲁棒性,提出了一种依据特征分析确定约束条件的新方法,即从参数限定的角度对结构参数对微机电陀螺动态性能的影响特征进行提取,以此为依据确定优化设计的约束条件,结合响应面法对多自由度微机电陀螺的灵敏度及带宽进行了优化设计。优化后灵敏度最高提升了19%,相应的带宽也提升了11%;带宽最高提升了28%,相应的灵敏度则提升了16%。结果表明了该优化方法的有效性,同时仿真分析结果也验证了优化分析结果的可靠性。
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关键词
多自由度微机电陀螺
灵敏度
带宽
特征提取
响应面法
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职称材料
静电力非线性对双检测微陀螺谐振频率及灵敏度稳定性的影响
被引量:
2
2
作者
郝淑英
李伟雄
+3 位作者
李会杰
张琪昌
冯晶晶
张昆鹏
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2020年第8期136-142,共7页
为探究如何避免静电力非线性的影响或利用高电压下的静电力非线性和微梁几何非线性对冲以实现高稳定性和高灵敏度微陀螺的设计。考虑边缘效应下的静电力非线性和刚度立方非线性同时存在时,结构参数对双检测微陀螺动力学性能的影响规律;...
为探究如何避免静电力非线性的影响或利用高电压下的静电力非线性和微梁几何非线性对冲以实现高稳定性和高灵敏度微陀螺的设计。考虑边缘效应下的静电力非线性和刚度立方非线性同时存在时,结构参数对双检测微陀螺动力学性能的影响规律;研究表明,梳齿未交叠长度越小,直流偏置电压越大,则共振频率偏移量越大,静电力的软化效果也越显著;梳齿未交叠长度存在一阀值,大于此值时静电力非线性弱化为零且对幅值的影响存在饱和现象,利用此特性可保持灵敏度的稳定性。通过微梁几何非线性的设计和控制调节驱动刚度非线性导致的硬化特性来平衡静电力带来的软化特征,使幅频曲线呈现理想的线性状态,避免了因硬化、软化特性造成的频率失稳和振幅跳跃现象的发生,同时也获得了较高的灵敏度和稳定性。
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关键词
边缘效应
静电力非线性
刚度立方非线性
双检测微陀螺
灵敏度
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职称材料
梳齿倾斜角对多自由度微陀螺动态性能的影响
3
作者
张昆鹏
郝淑英
+2 位作者
宋宇昊
张琪昌
冯晶晶
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2022年第5期221-227,共7页
为揭示由于刻蚀加工误差导致的梳齿倾斜角度对多自由度微陀螺动态性能的影响机理,以一类四自由度静电驱动微机械陀螺为研究对象,分析了线性及静电力非线性工况下梳齿倾斜角度对微陀螺动力学特性的影响。研究结果表明,微陀螺在线性系统...
为揭示由于刻蚀加工误差导致的梳齿倾斜角度对多自由度微陀螺动态性能的影响机理,以一类四自由度静电驱动微机械陀螺为研究对象,分析了线性及静电力非线性工况下梳齿倾斜角度对微陀螺动力学特性的影响。研究结果表明,微陀螺在线性系统内工作时,梳齿倾斜角会导致微陀螺系统出现共振频率偏移,并造成灵敏度大幅下降,但对带宽基本没有影响。当在静电力非线性系统内工作时,梳齿倾斜角对系统响应有刚度硬化作用,可在一定程度上抵消静电力非线性的影响;硬化作用先随梳齿倾斜角的增加而增加,到达峰值后随刻蚀误差的增加而减小,即存在最佳梳齿倾斜角度以抵消静电力非线性的影响。上述研究成果为控制或利用刻蚀误差的影响提供了理论依据。
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关键词
梳齿倾斜角
多自由度微陀螺
静电力非线性
灵敏度
动态性能
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职称材料
驱动刚度非线性对双检测微陀螺性能的影响
被引量:
4
4
作者
郝淑英
李伟雄
+2 位作者
李会杰
张琪昌
冯晶晶
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2019年第14期131-137,共7页
驱动刚度非线性的存在会导致幅频曲线出现典型的非线性硬化特性,从而影响双检测微陀螺检测输出信号和灵敏度的稳定性。为对比线性刚度和非线性刚度对微陀螺检测输出的影响规律,首先求解线性刚度下系统的稳态响应,其次采用多尺度法求解...
驱动刚度非线性的存在会导致幅频曲线出现典型的非线性硬化特性,从而影响双检测微陀螺检测输出信号和灵敏度的稳定性。为对比线性刚度和非线性刚度对微陀螺检测输出的影响规律,首先求解线性刚度下系统的稳态响应,其次采用多尺度法求解非线性动力学方程的近似周期解,并考虑科氏力对检测输出的影响,在此基础上探讨驱动刚度立方非线性对双检测微陀螺系统主共振的幅频曲线、共振频率、灵敏度的影响规律。研究发现:驱动模态共振频率与刚度非线性及振动峰值密切相关;刚度非线性越强,固有频率的漂移量对振幅的变化就越敏感。较弱的驱动刚度非线性就会导致检测一和检测二在驱动模态频率处的幅值大幅下降,由此对微陀螺的输出信号产生极大影响,降低了微陀螺检测信号的稳定性,并与基于线性设计的灵敏度值产生极大的偏差。
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关键词
双检测微陀螺
多尺度法
科氏力
驱动刚度立方非线性
灵敏度
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职称材料
静电驱动微梁谐振器的厚度形态误差特性分析
5
作者
刘成
冯晶晶
+1 位作者
郝淑英
张伟
《动力学与控制学报》
2020年第2期35-41,共7页
本文研究了一类双极板静电驱动两端固支微梁谐振器.考虑中性面拉伸和厚度形态误差,建立了微谐振器连续体模型.厚度形态误差通过设置参数方程实现,方程中包含误差参数λ,用于调整误差影响程度.利用伽辽金法和Newton-Cotes法将系统化简为...
本文研究了一类双极板静电驱动两端固支微梁谐振器.考虑中性面拉伸和厚度形态误差,建立了微谐振器连续体模型.厚度形态误差通过设置参数方程实现,方程中包含误差参数λ,用于调整误差影响程度.利用伽辽金法和Newton-Cotes法将系统化简为单自由度模型.首先,通过COMSOL Multiphysics有限元软件对理论求得的静电力进行了仿真验证.然后,推导了不考虑厚度形态误差时系统的吸合情况,发现系统在特定情况下可以出现二次吸合现象.通过改变误差参数,分析了厚度形态误差对吸合情况的影响.最后,利用多尺度法求出系统小幅振动下的响应,研究了厚度形态误差对等效固有频率和系统软硬特性的影响.
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关键词
微梁谐振器
厚度形态误差
静态吸合
多尺度法
软硬特性
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职称材料
题名
基于响应面法多自由度微机电陀螺的优化设计
被引量:
1
1
作者
郝淑英
孟思
张琪昌
冯晶晶
陈炜
机构
天津
理工大学
天津市先进机电系统设计与控制重点实验室
天津
理工大学
机电
工程国家级
实验
教学示范中心
天津
大学
天津市
非线性动力学
与控制
重点
实验室
出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2019年第1期113-120,共8页
基金
国家自然科学基金(11872044)
国家重点研发计划(2018YFB0106200)
国家自然科学青年基金(11602169)
文摘
为提高多自由度微机电陀螺的灵敏度及带宽的鲁棒性,提出了一种依据特征分析确定约束条件的新方法,即从参数限定的角度对结构参数对微机电陀螺动态性能的影响特征进行提取,以此为依据确定优化设计的约束条件,结合响应面法对多自由度微机电陀螺的灵敏度及带宽进行了优化设计。优化后灵敏度最高提升了19%,相应的带宽也提升了11%;带宽最高提升了28%,相应的灵敏度则提升了16%。结果表明了该优化方法的有效性,同时仿真分析结果也验证了优化分析结果的可靠性。
关键词
多自由度微机电陀螺
灵敏度
带宽
特征提取
响应面法
Keywords
multi-DOF vibratory gyroscopes
sensitivity
bandwidth
dynamic characteristic extraction
response surface methodology
分类号
U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]
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职称材料
题名
静电力非线性对双检测微陀螺谐振频率及灵敏度稳定性的影响
被引量:
2
2
作者
郝淑英
李伟雄
李会杰
张琪昌
冯晶晶
张昆鹏
机构
天津市先进机电系统设计与控制重点实验室
机电
工程国家级
实验
教学示范中心
天津
理工大学
天津市
非线性动力学
与控制
重点
实验室
天津
大学
出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2020年第8期136-142,共7页
基金
国家自然科学基金(11872044 )
国家重点研发计划(2018YFB0106200)
国家自然科学青年基金(11602169)。
文摘
为探究如何避免静电力非线性的影响或利用高电压下的静电力非线性和微梁几何非线性对冲以实现高稳定性和高灵敏度微陀螺的设计。考虑边缘效应下的静电力非线性和刚度立方非线性同时存在时,结构参数对双检测微陀螺动力学性能的影响规律;研究表明,梳齿未交叠长度越小,直流偏置电压越大,则共振频率偏移量越大,静电力的软化效果也越显著;梳齿未交叠长度存在一阀值,大于此值时静电力非线性弱化为零且对幅值的影响存在饱和现象,利用此特性可保持灵敏度的稳定性。通过微梁几何非线性的设计和控制调节驱动刚度非线性导致的硬化特性来平衡静电力带来的软化特征,使幅频曲线呈现理想的线性状态,避免了因硬化、软化特性造成的频率失稳和振幅跳跃现象的发生,同时也获得了较高的灵敏度和稳定性。
关键词
边缘效应
静电力非线性
刚度立方非线性
双检测微陀螺
灵敏度
Keywords
edge effect
electrostatic force nonlinearity
stiffness cubic nonlinearity
double sense-mode micro gyroscope
sensitivity
分类号
O322 [理学—一般力学与力学基础]
TP202 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
梳齿倾斜角对多自由度微陀螺动态性能的影响
3
作者
张昆鹏
郝淑英
宋宇昊
张琪昌
冯晶晶
机构
天津市先进机电系统设计与控制重点实验室
机电
工程国家级
实验
教学示范中心
天津
理工大学机械工程学院
天津市
非线性动力学
与控制
重点
实验室
天津
大学力学系
出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2022年第5期221-227,共7页
基金
国家自然科学基金(12072234,11872044,12072233)。
文摘
为揭示由于刻蚀加工误差导致的梳齿倾斜角度对多自由度微陀螺动态性能的影响机理,以一类四自由度静电驱动微机械陀螺为研究对象,分析了线性及静电力非线性工况下梳齿倾斜角度对微陀螺动力学特性的影响。研究结果表明,微陀螺在线性系统内工作时,梳齿倾斜角会导致微陀螺系统出现共振频率偏移,并造成灵敏度大幅下降,但对带宽基本没有影响。当在静电力非线性系统内工作时,梳齿倾斜角对系统响应有刚度硬化作用,可在一定程度上抵消静电力非线性的影响;硬化作用先随梳齿倾斜角的增加而增加,到达峰值后随刻蚀误差的增加而减小,即存在最佳梳齿倾斜角度以抵消静电力非线性的影响。上述研究成果为控制或利用刻蚀误差的影响提供了理论依据。
关键词
梳齿倾斜角
多自由度微陀螺
静电力非线性
灵敏度
动态性能
Keywords
comb inclination angle
multi-DOF micro-gyroscope
electrostatic force nonlinearity
sensitivity
dynamic performance
分类号
O322 [理学—一般力学与力学基础]
TP202 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
驱动刚度非线性对双检测微陀螺性能的影响
被引量:
4
4
作者
郝淑英
李伟雄
李会杰
张琪昌
冯晶晶
机构
天津市先进机电系统设计与控制重点实验室
机电
工程国家级
实验
教学示范中心
天津市
非线性动力学
与控制
重点
实验室
出处
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2019年第14期131-137,共7页
基金
国家自然科学基金(11372210)
国家重点研发计划(2018YFB0106200)
+1 种基金
国家自然科学青年基金(11602169
11702192)
文摘
驱动刚度非线性的存在会导致幅频曲线出现典型的非线性硬化特性,从而影响双检测微陀螺检测输出信号和灵敏度的稳定性。为对比线性刚度和非线性刚度对微陀螺检测输出的影响规律,首先求解线性刚度下系统的稳态响应,其次采用多尺度法求解非线性动力学方程的近似周期解,并考虑科氏力对检测输出的影响,在此基础上探讨驱动刚度立方非线性对双检测微陀螺系统主共振的幅频曲线、共振频率、灵敏度的影响规律。研究发现:驱动模态共振频率与刚度非线性及振动峰值密切相关;刚度非线性越强,固有频率的漂移量对振幅的变化就越敏感。较弱的驱动刚度非线性就会导致检测一和检测二在驱动模态频率处的幅值大幅下降,由此对微陀螺的输出信号产生极大影响,降低了微陀螺检测信号的稳定性,并与基于线性设计的灵敏度值产生极大的偏差。
关键词
双检测微陀螺
多尺度法
科氏力
驱动刚度立方非线性
灵敏度
Keywords
double sense-mode micro gyroscope
multi-scale method
Coriolis force
driving stiffness cubic nonlinearity
sensitivity
分类号
O322 [理学—一般力学与力学基础]
TP202 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
静电驱动微梁谐振器的厚度形态误差特性分析
5
作者
刘成
冯晶晶
郝淑英
张伟
机构
天津
理工大学
天津市先进机电系统设计与控制重点实验室
机械工程学院
天津
理工大学
机电
工程国家级
实验
教学示范中心
北京工业大学北京机械强度结构与非线性振动
重点
实验室
机电
学院
出处
《动力学与控制学报》
2020年第2期35-41,共7页
基金
国家自然科学基金资助项目(11602169,11702192)
天津市自然科学基金资助项目(16JCQNJC04700)
天津市高等学校自然科学研究计划一般项目(2017KJ262)。
文摘
本文研究了一类双极板静电驱动两端固支微梁谐振器.考虑中性面拉伸和厚度形态误差,建立了微谐振器连续体模型.厚度形态误差通过设置参数方程实现,方程中包含误差参数λ,用于调整误差影响程度.利用伽辽金法和Newton-Cotes法将系统化简为单自由度模型.首先,通过COMSOL Multiphysics有限元软件对理论求得的静电力进行了仿真验证.然后,推导了不考虑厚度形态误差时系统的吸合情况,发现系统在特定情况下可以出现二次吸合现象.通过改变误差参数,分析了厚度形态误差对吸合情况的影响.最后,利用多尺度法求出系统小幅振动下的响应,研究了厚度形态误差对等效固有频率和系统软硬特性的影响.
关键词
微梁谐振器
厚度形态误差
静态吸合
多尺度法
软硬特性
Keywords
microbeam resonator
thickness shape error
static pull-in
multiple scales method
softening and hardening characteristics
分类号
TH113 [机械工程—机械设计及理论]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于响应面法多自由度微机电陀螺的优化设计
郝淑英
孟思
张琪昌
冯晶晶
陈炜
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2019
1
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职称材料
2
静电力非线性对双检测微陀螺谐振频率及灵敏度稳定性的影响
郝淑英
李伟雄
李会杰
张琪昌
冯晶晶
张昆鹏
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2020
2
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职称材料
3
梳齿倾斜角对多自由度微陀螺动态性能的影响
张昆鹏
郝淑英
宋宇昊
张琪昌
冯晶晶
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2022
0
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职称材料
4
驱动刚度非线性对双检测微陀螺性能的影响
郝淑英
李伟雄
李会杰
张琪昌
冯晶晶
《振动与冲击》
EI
CSCD
北大核心
2019
4
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职称材料
5
静电驱动微梁谐振器的厚度形态误差特性分析
刘成
冯晶晶
郝淑英
张伟
《动力学与控制学报》
2020
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职称材料
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