大直径硅片超精密磨削技术的研究与应用现状 被引量：60

1

作者 康仁科 田业冰 +1 位作者 郭东明 金洙吉 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2003年第4期13-18,25,共7页

随着IC制造技术的飞速发展 ,为了增加IC芯片产量和降低单元制造成本 ,硅片趋向大直径化 ,原始硅片的厚度也相应增大以保证大尺寸硅片的强度 ;与此相反 ,为了满足IC封装的要求 ,芯片的厚度却不断减小 ,需要对图形硅片进行背面减薄。硅片... 随着IC制造技术的飞速发展 ,为了增加IC芯片产量和降低单元制造成本 ,硅片趋向大直径化 ,原始硅片的厚度也相应增大以保证大尺寸硅片的强度 ;与此相反 ,为了满足IC封装的要求 ,芯片的厚度却不断减小 ,需要对图形硅片进行背面减薄。硅片和芯片尺寸变化所导致的硅片加工量的增加以及对硅片加工精度和表面质量更高的要求 ,使已有的硅片加工技术面临严峻的挑战。本文详细分析了传统硅片加工工艺的局限性 ,介绍了几种大直径硅片超精密磨削加工工艺的原理和特点 ,评述了国内外硅片超精密磨削技术与装备研究和应用的现状及发展方向 ,强调了我国开展大直径硅片超精密磨削技术和装备研究的必要性。 展开更多

关键词 IC芯片 硅片 超精密磨削 砂轮 磨床 集成电路

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大深径比微细孔超声辅助电火花加工技术研究 被引量：6

2

作者 张余升 荆怀靖 +2 位作者 李敏明 唐春英 余祖元 《电加工与模具》 2011年第6期63-66,共4页

微细电火花加工中电极损耗较大,在加工大深径比微细孔时,工具电极和工件之间的狭窄间隙内流体阻力较大,气泡及加工屑不易排出,易产生频繁的非正常放电,导致电极损耗进一步增大。针对大深径比微细孔加工的这一难题,提出采用电极摇动同时... 微细电火花加工中电极损耗较大,在加工大深径比微细孔时,工具电极和工件之间的狭窄间隙内流体阻力较大,气泡及加工屑不易排出,易产生频繁的非正常放电,导致电极损耗进一步增大。针对大深径比微细孔加工的这一难题,提出采用电极摇动同时在工件上加载超声波振动的新方法,成功地在3.5 mm厚的不锈钢板上加工出平均直径为120μm的通孔,深径比达29。 展开更多

关键词 大深径比微细孔 微细电火花加工 超声振动

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基于DSP的多轴控制器的研究 被引量：2

3

作者 王永青 徐鸿书 刘勇 《组合机床与自动化加工技术》 2005年第4期64-66,68,共4页

开放式体系结构的数控系统以及高性能多轴控制器是CNC系统的发展方向。文章深入研究了以高处理能力的数字信号处理器(DSP)为核心的多轴控制器的实现方案。文章研究的基于DSP的轴控制器,利用DSP强大的处理能力来实现多轴控制器高精度的... 开放式体系结构的数控系统以及高性能多轴控制器是CNC系统的发展方向。文章深入研究了以高处理能力的数字信号处理器(DSP)为核心的多轴控制器的实现方案。文章研究的基于DSP的轴控制器,利用DSP强大的处理能力来实现多轴控制器高精度的、实时加工的处理要求。 展开更多

关键词 DSP 双口RAM 嵌入式实时系统 PID控制 多轴控制器

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钛合金微弧氧化钙磷生物膜层形成机制研究 被引量：1

4

作者 王凤彪 张金豹 +1 位作者 侯博 许立 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2014年第12期6-10,共5页

为了利用微弧氧化工艺生成钛合金生物钙磷陶瓷涂层,使用微弧氧化电源,在恒电流条件下制备试样。通过电子扫描电镜和电子能谱仪观测不同氧化阶段涂层形貌和元素组成,膜层厚度变化特点,并分析各阶段微弧放电特性,研究了钛合金微弧氧化生... 为了利用微弧氧化工艺生成钛合金生物钙磷陶瓷涂层,使用微弧氧化电源,在恒电流条件下制备试样。通过电子扫描电镜和电子能谱仪观测不同氧化阶段涂层形貌和元素组成,膜层厚度变化特点,并分析各阶段微弧放电特性,研究了钛合金微弧氧化生成羟基磷灰石(钙磷)医用陶瓷涂层机制。结果表明,各阶段膜层放电特性不同,膜层先向外生长,后向内生长,且所生成膜层元素成分有区别,致使在微弧放电阶段才有钙磷生物成分生成。结论:若想获得高质量钙磷生物膜层,需使微弧氧化达到微弧放电阶段,但应避免进入弧光放电阶段,所得结论可对研究微弧氧化成膜过程起到一定的指导作用。 展开更多

关键词 微弧氧化 羟基磷灰石 膜层元素 微弧放电 钛合金

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TC4合金微弧氧化工艺电场结构研究

5

作者 王凤彪 侯博 +2 位作者 张金豹 李猛 李亚鹏 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2015年第7期5-9,24,共6页

为了探讨微弧氧化膜层制备工艺理论,需对工艺中能量转变过程进行深入研究。利用微弧氧化电源,在恒电压/恒电流不同条件下制备含有氧化钛和双相钙磷成分的膜层试样,通过扫描电子显微镜观测膜层表面和截面形貌和结构特征;从热能和动能角... 为了探讨微弧氧化膜层制备工艺理论,需对工艺中能量转变过程进行深入研究。利用微弧氧化电源,在恒电压/恒电流不同条件下制备含有氧化钛和双相钙磷成分的膜层试样,通过扫描电子显微镜观测膜层表面和截面形貌和结构特征;从热能和动能角度研究了微弧氧化系统各组成单元压降情况及系统导热散热特点。结果表明,恒流模式下,随占空比升高,电源电压和膜层压降升高,而工作液压降不变;获得了电源能量消耗组成情况,表征了能量转换过程和膜层范围内电势分布情况。揭示了微弧放电能量转换过程,对该工艺理论研究具有定量的意义。 展开更多

关键词 TC4合金 微弧氧化 压降 能量转换 电势分布

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电涡流扫描测量的边沿位置反演算法研究

6

作者 王永青 廉盟 +1 位作者 刘海波 薄其乐 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2014年第10期89-92,共4页

针对不规则面形电涡流检测中边沿几何特征准确提取难题,定性分析了电涡流传感器扫描测量中边沿几何突变对输出电信号的影响机理。提出了综合考虑提离高度与扫描速度的边沿特征反演方法,建立了基于电信号轮廓曲线突变点辨识的边沿特征位... 针对不规则面形电涡流检测中边沿几何特征准确提取难题,定性分析了电涡流传感器扫描测量中边沿几何突变对输出电信号的影响机理。提出了综合考虑提离高度与扫描速度的边沿特征反演方法,建立了基于电信号轮廓曲线突变点辨识的边沿特征位置反演算法,实验研究了扫描速度与提离高度对边沿位置的影响规律。与实际标定实验相比,利用本文算法计算出的边沿特征位置反演误差可控制在0.02mm^0.04mm范围内。 展开更多

关键词 电涡流测量 边沿位置 反演算法 提离高度 扫描速度

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线激光在机测量建模与数据预处理研究 被引量：9

7

作者 徐淑婷 薄其乐 +1 位作者 张豪 王永青 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2018年第3期131-134,共4页

针对复杂曲面线激光在机高效、精密测量难题,虑及被测表面几何、反光特性、位姿倾角等多因素影响,建立了面向复杂曲面几何信息精确提取的线激光在机测量数学模型,设计了高斯滤波与中值滤波相结合的测点去噪、基于角度弦高的数据精简等... 针对复杂曲面线激光在机高效、精密测量难题,虑及被测表面几何、反光特性、位姿倾角等多因素影响,建立了面向复杂曲面几何信息精确提取的线激光在机测量数学模型,设计了高斯滤波与中值滤波相结合的测点去噪、基于角度弦高的数据精简等数据处理算法,有效降低了测量数据波动与冗余度。利用所开发的线激光在机测量系统,对典型弧型面进行了扫描测量实验与数据处理分析,表明所建立的测量模型与设计的数据预处理算法可满足线激光在机测量要求。 展开更多

关键词 在机测量 线激光 测量建模 数据预处理

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镜像加工装备的位置/力混合控制研究 被引量：3

8

作者 张豪 薄其乐 +1 位作者 胡磊 王永青 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2019年第2期82-85,共4页

镜像加工方法是一种解决大型薄壁零件制造难题的有效途径。为保证镜像加工过程中恒定支撑,基于镜像加工装备,设计了一种末端执行器。末端力传感器反馈的支撑力信息用于对当前位置的支撑力修正,以达到恒定支撑力的效果。并且提出了一种... 镜像加工方法是一种解决大型薄壁零件制造难题的有效途径。为保证镜像加工过程中恒定支撑,基于镜像加工装备,设计了一种末端执行器。末端力传感器反馈的支撑力信息用于对当前位置的支撑力修正,以达到恒定支撑力的效果。并且提出了一种基于模糊自适应PID控制的在线轨迹修正位置/力控制策略,在LABVIEW中建立了测量控制模块,在镜像加工装备上进行了加工实验验证,结果表明:该方法能够实现精确位置跟踪和力跟踪控制。 展开更多

关键词 镜像加工 位置/力控制 模糊PID

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管内轮式移动机器人弯道内驱动控制方法 被引量：11

9

作者 张永顺 邓宗全 +1 位作者 贾振元 蔡鹤皋 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第18期1534-1537,共4页

三轮全主动驱动管道机器人的弯道通过性一直是个难题 ,由于三轮差动机构尚未实现 ,机器人的 3个主动驱动轮在弯管内将出现干涉而不能行走。为了使机器人可靠、平稳、快速地通过弯管 ,基于机器人在转弯过程中的阻力负载特性分析的基础上 ... 三轮全主动驱动管道机器人的弯道通过性一直是个难题 ,由于三轮差动机构尚未实现 ,机器人的 3个主动驱动轮在弯管内将出现干涉而不能行走。为了使机器人可靠、平稳、快速地通过弯管 ,基于机器人在转弯过程中的阻力负载特性分析的基础上 ,提出了驱动轮独立协调控制转弯的方案 ,并对速度协调控制过程进行了仿真实验 。 展开更多

关键词 管内轮式移动机器人 独立协调控制 阻力负载特性 三轮差动

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基于粒子群算法的三维扫描点云数据在机配准 被引量：5

10

作者 王永青 冀志超 +1 位作者 侯博 赵亮 《组合机床与自动化加工技术》 北大核心 2016年第12期23-26,共4页

针对配准过程中经典ICP算法存在的对初始位置要求高、效率低、不易收敛、与加工环节分离等问题,文章提出一种对于扫描点云数据的基于粒子群优化算法的改进ICP配准算法,并嵌入测量-加工一体化设备内,实现配准过程的在机操作。针对使用回... 针对配准过程中经典ICP算法存在的对初始位置要求高、效率低、不易收敛、与加工环节分离等问题,文章提出一种对于扫描点云数据的基于粒子群优化算法的改进ICP配准算法,并嵌入测量-加工一体化设备内,实现配准过程的在机操作。针对使用回转截面线法扫描得到的扫描点云数据,采用弦高差法进行数据的去噪和精简处理,使用改进后的粒子群优化算法进行预配准,再利用基于K-Dtree数据结构加速的ICP算法进行精配准。结果表明:该方法降低了ICP算法配准时对于初始位置的高要求,配准后叶片加工部位偏差处于±0.5mm范围以内。通过基于数控机床和数控系统的实验平台的在机实验,验证了所提出的在机配准方法,能够满足工件下一步加工需要。 展开更多

关键词 粒子群算法 在机配准 点云数据 回转截面线法

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外场驱动无缆微型机器人的行走机理 被引量：2

11

作者 张永顺 贾振元 +3 位作者 丁凡 王福吉 史纯 郭丽莎 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2003年第14期1171-1175,共5页

提出了一种以管道外磁场来驱动控制微型管道机器人行走的方法 ,基于振动原理实现了微机器人的行走。其特点是采用无缆驱动方式 ,使机器人可靠性和实用性都得到提高。其原理是通过管外时变振荡磁场频率的改变 ,借助微机器人磁致伸缩合金... 提出了一种以管道外磁场来驱动控制微型管道机器人行走的方法 ,基于振动原理实现了微机器人的行走。其特点是采用无缆驱动方式 ,使机器人可靠性和实用性都得到提高。其原理是通过管外时变振荡磁场频率的改变 ,借助微机器人磁致伸缩合金微驱动器的磁机耦合作用 ,将时变振荡磁场能转换成机器人弹性腿的振动机械能 ;上下弹性腿的刚度系数不同 ,可将微驱动器的轴向振动转化为机器人的径向振动从而实现机器人的行走。介绍了系统组成及工作原理 ,对行走机理进行了基础性研究 ,建立了机器人运动方程。实验表明机器人系统切实可行 。 展开更多

关键词 微型管道机器人 磁致伸缩驱动器 外磁场驱动 行走机理

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基于双幅图像三维重建的不确定性分析 被引量：2

12

作者 王晓明 臧林然 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2002年第18期24-26,共3页

由于得到基于误差传播理论的重建不确定性显式公式并没有直观性,文章在给出三维重建扰动分析模型的基础上,应用多元分析的统计方法研究了图像量化误差、匹配误差、标定误差等对重建精度的影响。采用计算机仿真图像进行实验,向重建模型... 由于得到基于误差传播理论的重建不确定性显式公式并没有直观性,文章在给出三维重建扰动分析模型的基础上,应用多元分析的统计方法研究了图像量化误差、匹配误差、标定误差等对重建精度的影响。采用计算机仿真图像进行实验,向重建模型中输入高斯噪声进行扰动分析,这样有利于对不确定性的评定,仿真实验证明了方法的有效性。最后,对三维重建点的伸展不确定性也进行了可视化。 展开更多

关键词 双幅图像 三维重建 不确定性分析 多元分析 扰动分析 计算机视觉 图像量化

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TC4合金微弧氧化生物涂层制备及其耐磨抗腐蚀性能 被引量：1

13

作者 王凤彪 许鸣宇 +1 位作者 刘军 董淑婧 《腐蚀与防护》 CAS 北大核心 2014年第8期801-804,812,共5页

采用微弧氧化覆膜工艺方法在TC4合金表面制备了羟基磷灰石(HA)生物涂层,利用XRD对涂层主要生物成分HA进行分析;并配制模拟人体体液(SBF),对涂层进行了浸泡试验和耐蚀试验;利用摩擦磨损试验机对试样进行耐磨损试验。结果表明,制备出HA生... 采用微弧氧化覆膜工艺方法在TC4合金表面制备了羟基磷灰石(HA)生物涂层,利用XRD对涂层主要生物成分HA进行分析;并配制模拟人体体液(SBF),对涂层进行了浸泡试验和耐蚀试验;利用摩擦磨损试验机对试样进行耐磨损试验。结果表明,制备出HA生物陶瓷涂层在长时间浸泡后,经过降解和沉淀,质量先减少后增加;磨损量随磨损时间变化,最终呈平稳趋势;此外试验材料所在SBF的pH由7.1变化到7.8,变化不大,涂层化学稳定性好,耐SBF腐蚀性好。试验结论:该种涂层材料能够适于生物体体液环境,并具有良好的耐磨耐腐蚀性能。 展开更多

关键词 微弧氧化 羟基磷灰石 摩擦磨损 耐腐蚀

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基于Huang-Faugeras约束的相机分步自标定方法 被引量：1

14

作者 顾晓东 王晓明 刘健 《计算机辅助设计与图形学学报》 EI CSCD 北大核心 2003年第1期34-37,共4页

提出一种运动变焦相机分步自标定的方法 .因相机在运动过程中其纵横比、主点固定不变 ,可以事先标定 ;在假设像素无扭曲的情况下基于Huang Faugeras约束线性求解焦距 ,只需输入基础矩阵 ,不必预先进行任何类型的投影阵分解或投影束校正 ... 提出一种运动变焦相机分步自标定的方法 .因相机在运动过程中其纵横比、主点固定不变 ,可以事先标定 ;在假设像素无扭曲的情况下基于Huang Faugeras约束线性求解焦距 ,只需输入基础矩阵 ,不必预先进行任何类型的投影阵分解或投影束校正 .线性求解焦距避免了非线性法的不稳定性 ,实际数值实验表明文中方法简单实用 . 展开更多

关键词 Huang-Faugeras约束 相机分步自标定方法 计算机视觉 基础矩阵 本性矩阵 图像处理

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溶液浓度对TC4钛合金微弧氧化膜的影响 被引量：1

15

作者 王凤彪 刘军 +1 位作者 许鸣宇 吕海霆 《电镀与精饰》 CAS 北大核心 2014年第6期5-8,共4页

为了实现在钛合金表面制备微弧氧化膜层含有特定钙、磷比例关系,指导合理配置化学试剂。研究了不同质量浓度且不同钙、磷摩尔比溶液对微弧氧化膜层中钙、磷的影响。实验结果表明,随氧化液质量浓度的升高,膜层中钙、磷含量都降低,而膜层... 为了实现在钛合金表面制备微弧氧化膜层含有特定钙、磷比例关系,指导合理配置化学试剂。研究了不同质量浓度且不同钙、磷摩尔比溶液对微弧氧化膜层中钙、磷的影响。实验结果表明,随氧化液质量浓度的升高,膜层中钙、磷含量都降低,而膜层中钙、磷比例升高。溶液中钙、磷摩尔比越高,膜层中钙、磷含量越低。若希望制备某一钙、磷摩尔比的生物膜层,可据此确定不同钙、磷摩尔比的溶液,进而确定钙、磷化合物配比关系。 展开更多

关键词 钙磷比 微弧氧化 溶液浓度

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基于曲线坐标系下扩散方程的形态学开.闭运算

16

作者 顾晓东 王晓明 刘健 《小型微型计算机系统》 CSCD 北大核心 2003年第12期2174-2176,共3页

形态学开、闭运算以腐蚀和膨胀为基础 .图像的腐蚀和膨胀统一为笛卡尔直角坐标系下几何制约扩散方程对图像灰度等值线的演化 .针对许多曲面上图像 ,比如柱面帖图 ,球面帖图 ,结合深度信息采用曲线坐标系下的几何制约扩散方程 (曲面上曲... 形态学开、闭运算以腐蚀和膨胀为基础 .图像的腐蚀和膨胀统一为笛卡尔直角坐标系下几何制约扩散方程对图像灰度等值线的演化 .针对许多曲面上图像 ,比如柱面帖图 ,球面帖图 ,结合深度信息采用曲线坐标系下的几何制约扩散方程 (曲面上曲线的演化 )来进行形态学运算是一种新的尝试 ,从结果可以看到处理效果明显优于普通的方法 . 展开更多

关键词 曲线坐标系 几何制约扩散方程 形态学 开运算 闭运算 图像处理

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基于Kruppa方程的相机分步自标定方法

17

作者 顾晓东 王晓明 刘健 《大连理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2003年第1期82-85,共4页

提出一种运动变焦相机分步自标定的方法,即事先标定相机的纵横比和主点,在假设像素为矩形及主点为图像中心的情况下,基于Kruppa方程线性求解焦距.算法中只需输入基础矩阵,不必预先进行任何类型的投影阵分解或投影束校正.线性求解焦距避... 提出一种运动变焦相机分步自标定的方法,即事先标定相机的纵横比和主点,在假设像素为矩形及主点为图像中心的情况下,基于Kruppa方程线性求解焦距.算法中只需输入基础矩阵,不必预先进行任何类型的投影阵分解或投影束校正.线性求解焦距避免了非线性法的不稳定性.实际数值实验表明该方法简单实用. 展开更多

关键词 分步自标定方法 基础矩阵 KRUPPA方程 摄影测量学 焦距 变焦相机 计算机视觉

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面向Agent的分布式多媒体系统分析

18

作者 黄东军 陈松乔 桂宁 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2002年第3期38-40,共3页

分布式多媒体系统是一个复杂的动态系统,传统的面向对象分析方法存在不适应的地方。基于Agent的计算以其良好的自适应性、结构的动态优化和智能化的信息处理而广泛应用于分布式计算环境。该文讨论了基于Agent的分布式多媒体系统的分析... 分布式多媒体系统是一个复杂的动态系统,传统的面向对象分析方法存在不适应的地方。基于Agent的计算以其良好的自适应性、结构的动态优化和智能化的信息处理而广泛应用于分布式计算环境。该文讨论了基于Agent的分布式多媒体系统的分析与设计。首先分析了分布式多媒体系统的复杂性,指出这种复杂性表现为系统结构的层次性、交互性、行为的不可预测性;在此基础上,阐述了面向对象分析方法在解决复杂系统分析和设计时存在的不足,进而讨论了基于Agent的分析方法,并通过一个实例对方法加以说明。基于Agent的分析方法能够较好地解决多媒体异构环境存储、分布式多媒体对象处理和语义合成表现等问题。 展开更多

关键词 分布式多媒体系统 面向对象分析 多AGENT系统 系统模型

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基于曲线坐标系的图像边缘检测

19

作者 顾晓东 王晓明 刘健 《计算机工程与应用》 CSCD 北大核心 2002年第3期36-37,共2页

边缘检测是数字图像处理中一种重要的处理手段,目前普遍采用的方法是基于直角坐标系下的Laplacian算子,取其零交叉位置来检测。而现实中往往可见到许多曲面上的图像,比如柱面帖图、球面帖图,处理此类图像采用基于直角坐标系的微分算子... 边缘检测是数字图像处理中一种重要的处理手段,目前普遍采用的方法是基于直角坐标系下的Laplacian算子,取其零交叉位置来检测。而现实中往往可见到许多曲面上的图像,比如柱面帖图、球面帖图,处理此类图像采用基于直角坐标系的微分算子显然不能胜任。该文采用基于微分几何曲线坐标系下普遍的Laplacian算子进行边缘检测,从结果可以看到处理效果明显优于普通的方法。 展开更多

关键词 曲线坐标系 LAPLACIAN算子 图像边缘检测 数字图像处理

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基于ADO的远程工艺设计系统

20

作者 吴宏基 陈厚军 《制造技术与机床》 CSCD 北大核心 2004年第1期77-79,共3页

文章探讨了在ADO技术下构建远程工艺设计系统的方法 ,并介绍了ADO技术以及其对象模型和两个主要对象—Connection和Recordset。

关键词 ADO 远程工艺设计 对象模型 CONNECTION RECORDSET 加工企业

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