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电子束电压衬度机理及其应用
1
作者
曹普光
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1983年第3期81-86,共6页
扫描电子显微镜(SEM)广泛地利用于半导体表面局部电位的测定,电学功能试验和大规模集成电路失效分析。本项工作首先叙述电子束与集成电路的相互作用,二次放射机理和电压衬度的测量原理。本文讨论了各种电压衬度法,也叙述了一种新的电压...
扫描电子显微镜(SEM)广泛地利用于半导体表面局部电位的测定,电学功能试验和大规模集成电路失效分析。本项工作首先叙述电子束与集成电路的相互作用,二次放射机理和电压衬度的测量原理。本文讨论了各种电压衬度法,也叙述了一种新的电压衬度法,称它为电子束感生电压衬度法。这种方法对具有钝化层表面的集成电路的性能测量具有重要意义。本文讨论了电子束感生电压衬度的原理,给出了获得表面电位分布信息的各种分析方法和谱仪的结构。关于PMOS和CMOS失效分析的扫描电镜研究表明,该方法对于大规模集成电路失效分析是一种很有价值的分析技术。
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关键词
衬度
电子束能量
二次电子
失效分析
半导体表面
性能测量
电位分布
局部电位
扫描电子显微镜
测量原理
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职称材料
K_2S_2O_8/NaHSO_3引发丙烯酸甲酯与玉米淀粉接枝共聚的研究
被引量:
7
2
作者
鲁德忠
范云飞
+1 位作者
巫拱生
孙艳霞
《精细化工》
EI
CAS
CSCD
1990年第3期26-30,共5页
本文研究了K_2S_2O_8/NaHSO_3引发丙烯酸甲脂与玉米淀粉接枝共聚的反应规律,初步探讨了此接枝共聚物的成型加工、力学性能和生物降解等。
关键词
丙烯酸甲酯
玉米淀粉
接枝共聚
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职称材料
两步法腐蚀硅锥阴极阵列的工艺研究
被引量:
1
3
作者
朱长纯
淮永进
李毓民
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
1994年第6期426-430,共5页
详细研究了利用硅的各向异性腐蚀、各向同性腐蚀制备硅锥阴极阵列的工艺。采用快速腐蚀与缓蚀削尖两步工艺,制备出了均匀、尖锐的硅锥阵列。其阵列密度可达106/cm2,硅锥曲率半径可做到20nm。
关键词
各向异性
腐蚀
各向同性
两步法
硅锥
集成电路
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职称材料
一种新型的半导体氢离子活度测量器
4
作者
陈冰铨
张鹏
+1 位作者
姚淑珍
刘健
《生物化学与生物物理进展》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
1990年第4期324-325,共2页
离子敏感场效应器件(简称ISFET),是近年来发展的一种测定溶液中离子活度的半导体敏感器件。它将半导体表面场效应原理和离子敏感膜的电化学特性两者相结合,而设计成具有体积小、阻抗低、响应时间快、取样少、操作方便、灵敏度高、稳定...
离子敏感场效应器件(简称ISFET),是近年来发展的一种测定溶液中离子活度的半导体敏感器件。它将半导体表面场效应原理和离子敏感膜的电化学特性两者相结合,而设计成具有体积小、阻抗低、响应时间快、取样少、操作方便、灵敏度高、稳定可靠和全固体化等优点的新型功能器件。在生物、医学、化工、环保、水文和地质等领域里有着广泛的应用前景。H^+-ISFET是这类器件中最基本、最重要的一种。
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关键词
氢离子测量器
氢离子
敏感器件
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职称材料
俄歇效应和表面结构分析
5
作者
曹普光
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1982年第4期433-441,共9页
俄歇电子谱仪广泛地利用来确定固体表面的化学和电子结构(40 A)。这篇文章详细地讨论了利用俄歇电子谱仪分析表面结构的方法。给出了俄歇表面结构分析的许多应用。1.俄歇效应,提出可采用的俄歇效应有:(1)俄歇表面效应,(2)俄歇峰宽和化...
俄歇电子谱仪广泛地利用来确定固体表面的化学和电子结构(40 A)。这篇文章详细地讨论了利用俄歇电子谱仪分析表面结构的方法。给出了俄歇表面结构分析的许多应用。1.俄歇效应,提出可采用的俄歇效应有:(1)俄歇表面效应,(2)俄歇峰宽和化学效应,(3)俄歇复合,(4)俄歇电子结构效应和俄歇表面态效应。2.俄歇表面结构分析。3.俄歇表面电子结构研究。4.俄歇表面态和界面态研究。5.俄歇复合和h_(EF)参量的研究。6.讨论。
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关键词
表面结构分析
俄歇效应
俄歇电子谱
俄歇复合
表面态
结构效应
表面电子结构
低能电子衍射
界面态
俄歇跃迁
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职称材料
用于液晶显示驱动电路的非晶硅薄膜晶体管
6
作者
关旭东
陈洪
+1 位作者
韩汝琦
张书绅
《北京大学学报(自然科学版)》
CAS
1988年第1期119-126,共8页
本文报导了用于液晶平面显示板的非晶硅薄膜晶体管的研制结果。晶体管的断态电流<10^(11)A,通态与断态电流比>10~5,开启电压约为5 V。并对影响晶体管参数性能的主要因素做了分析和讨论。
关键词
硅薄膜晶体管
液晶显示驱动
非晶
断态电流
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职称材料
256×64点阵液晶显示器模块
7
作者
吴训
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第1期46-47,共2页
报导了256×64点阵液晶显示器模块的工作原理,设计与制造工艺。
关键词
液晶
显示器
点阵模块
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职称材料
一个办文管文相结合的微机文件管理系统
8
作者
褚鹤
《北京档案》
北大核心
1991年第3期29-29,共1页
近几年来,许多单位在应用微型计算机进行文书档案管理方面做了大量有意义的工作。从1988年开始,我们在吸取兄弟单位成功之处的同时,分析了存在的不足及产生的原因,以“通用、实用、为办文管文全过程所用”为目标,开发了DEBG-1微机文件...
近几年来,许多单位在应用微型计算机进行文书档案管理方面做了大量有意义的工作。从1988年开始,我们在吸取兄弟单位成功之处的同时,分析了存在的不足及产生的原因,以“通用、实用、为办文管文全过程所用”为目标,开发了DEBG-1微机文件管理系统。
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关键词
文件管理系统
微型计算机
文书档案管理
功能模块
文档管理
系统的功能
文件处理
应用软件
汉字输入
数据结构
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职称材料
题名
电子束电压衬度机理及其应用
1
作者
曹普光
机构
北京电子管厂
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1983年第3期81-86,共6页
文摘
扫描电子显微镜(SEM)广泛地利用于半导体表面局部电位的测定,电学功能试验和大规模集成电路失效分析。本项工作首先叙述电子束与集成电路的相互作用,二次放射机理和电压衬度的测量原理。本文讨论了各种电压衬度法,也叙述了一种新的电压衬度法,称它为电子束感生电压衬度法。这种方法对具有钝化层表面的集成电路的性能测量具有重要意义。本文讨论了电子束感生电压衬度的原理,给出了获得表面电位分布信息的各种分析方法和谱仪的结构。关于PMOS和CMOS失效分析的扫描电镜研究表明,该方法对于大规模集成电路失效分析是一种很有价值的分析技术。
关键词
衬度
电子束能量
二次电子
失效分析
半导体表面
性能测量
电位分布
局部电位
扫描电子显微镜
测量原理
分类号
TN1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
K_2S_2O_8/NaHSO_3引发丙烯酸甲酯与玉米淀粉接枝共聚的研究
被引量:
7
2
作者
鲁德忠
范云飞
巫拱生
孙艳霞
机构
淮南矿业学院
北京电子管厂
青岛大学
吉林大学
出处
《精细化工》
EI
CAS
CSCD
1990年第3期26-30,共5页
文摘
本文研究了K_2S_2O_8/NaHSO_3引发丙烯酸甲脂与玉米淀粉接枝共聚的反应规律,初步探讨了此接枝共聚物的成型加工、力学性能和生物降解等。
关键词
丙烯酸甲酯
玉米淀粉
接枝共聚
分类号
O632.52 [理学—高分子化学]
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职称材料
题名
两步法腐蚀硅锥阴极阵列的工艺研究
被引量:
1
3
作者
朱长纯
淮永进
李毓民
机构
西安交通大学
电子
工程系
北京电子管厂
出处
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
1994年第6期426-430,共5页
文摘
详细研究了利用硅的各向异性腐蚀、各向同性腐蚀制备硅锥阴极阵列的工艺。采用快速腐蚀与缓蚀削尖两步工艺,制备出了均匀、尖锐的硅锥阵列。其阵列密度可达106/cm2,硅锥曲率半径可做到20nm。
关键词
各向异性
腐蚀
各向同性
两步法
硅锥
集成电路
Keywords
Anisotropic etching,Isotropic etching,Two-step method,Silicon cone
分类号
TN405.98 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
一种新型的半导体氢离子活度测量器
4
作者
陈冰铨
张鹏
姚淑珍
刘健
机构
北京
市劳动卫生职业病研究所
北京电子管厂
出处
《生物化学与生物物理进展》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
1990年第4期324-325,共2页
文摘
离子敏感场效应器件(简称ISFET),是近年来发展的一种测定溶液中离子活度的半导体敏感器件。它将半导体表面场效应原理和离子敏感膜的电化学特性两者相结合,而设计成具有体积小、阻抗低、响应时间快、取样少、操作方便、灵敏度高、稳定可靠和全固体化等优点的新型功能器件。在生物、医学、化工、环保、水文和地质等领域里有着广泛的应用前景。H^+-ISFET是这类器件中最基本、最重要的一种。
关键词
氢离子测量器
氢离子
敏感器件
分类号
TH776.2 [机械工程—精密仪器及机械]
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职称材料
题名
俄歇效应和表面结构分析
5
作者
曹普光
机构
北京电子管厂
出处
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1982年第4期433-441,共9页
文摘
俄歇电子谱仪广泛地利用来确定固体表面的化学和电子结构(40 A)。这篇文章详细地讨论了利用俄歇电子谱仪分析表面结构的方法。给出了俄歇表面结构分析的许多应用。1.俄歇效应,提出可采用的俄歇效应有:(1)俄歇表面效应,(2)俄歇峰宽和化学效应,(3)俄歇复合,(4)俄歇电子结构效应和俄歇表面态效应。2.俄歇表面结构分析。3.俄歇表面电子结构研究。4.俄歇表面态和界面态研究。5.俄歇复合和h_(EF)参量的研究。6.讨论。
关键词
表面结构分析
俄歇效应
俄歇电子谱
俄歇复合
表面态
结构效应
表面电子结构
低能电子衍射
界面态
俄歇跃迁
分类号
TN3 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
用于液晶显示驱动电路的非晶硅薄膜晶体管
6
作者
关旭东
陈洪
韩汝琦
张书绅
机构
北京
大学计算机科学技术系
北京电子管厂
出处
《北京大学学报(自然科学版)》
CAS
1988年第1期119-126,共8页
文摘
本文报导了用于液晶平面显示板的非晶硅薄膜晶体管的研制结果。晶体管的断态电流<10^(11)A,通态与断态电流比>10~5,开启电压约为5 V。并对影响晶体管参数性能的主要因素做了分析和讨论。
关键词
硅薄膜晶体管
液晶显示驱动
非晶
断态电流
分类号
TN8 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
256×64点阵液晶显示器模块
7
作者
吴训
机构
北京电子管厂
贸易事业部
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
1996年第1期46-47,共2页
文摘
报导了256×64点阵液晶显示器模块的工作原理,设计与制造工艺。
关键词
液晶
显示器
点阵模块
分类号
TN873.93 [电子电信—信息与通信工程]
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职称材料
题名
一个办文管文相结合的微机文件管理系统
8
作者
褚鹤
机构
北京电子管厂
出处
《北京档案》
北大核心
1991年第3期29-29,共1页
文摘
近几年来,许多单位在应用微型计算机进行文书档案管理方面做了大量有意义的工作。从1988年开始,我们在吸取兄弟单位成功之处的同时,分析了存在的不足及产生的原因,以“通用、实用、为办文管文全过程所用”为目标,开发了DEBG-1微机文件管理系统。
关键词
文件管理系统
微型计算机
文书档案管理
功能模块
文档管理
系统的功能
文件处理
应用软件
汉字输入
数据结构
分类号
G27 [文化科学—档案学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电子束电压衬度机理及其应用
曹普光
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1983
0
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职称材料
2
K_2S_2O_8/NaHSO_3引发丙烯酸甲酯与玉米淀粉接枝共聚的研究
鲁德忠
范云飞
巫拱生
孙艳霞
《精细化工》
EI
CAS
CSCD
1990
7
在线阅读
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职称材料
3
两步法腐蚀硅锥阴极阵列的工艺研究
朱长纯
淮永进
李毓民
《真空科学与技术》
EI
CAS
CSCD
1994
1
在线阅读
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职称材料
4
一种新型的半导体氢离子活度测量器
陈冰铨
张鹏
姚淑珍
刘健
《生物化学与生物物理进展》
SCIE
CAS
CSCD
北大核心
1990
0
在线阅读
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职称材料
5
俄歇效应和表面结构分析
曹普光
《仪器仪表学报》
EI
CAS
1982
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
6
用于液晶显示驱动电路的非晶硅薄膜晶体管
关旭东
陈洪
韩汝琦
张书绅
《北京大学学报(自然科学版)》
CAS
1988
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
7
256×64点阵液晶显示器模块
吴训
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
1996
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
8
一个办文管文相结合的微机文件管理系统
褚鹤
《北京档案》
北大核心
1991
0
在线阅读
下载PDF
职称材料
已选择
0
条
导出题录
引用分析
参考文献
引证文献
统计分析
检索结果
已选文献
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