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题名压电谐振力传感器零位不稳定性的机理和试验
- 1
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作者
宁永怀
田文杰
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机构
北京信息工程学院传感器技术研究中心
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出处
《传感器与微系统》
CSCD
北大核心
2007年第7期35-37,共3页
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文摘
介绍了一种研究石英谐振器力频特性的新方法,利用此方法对平面型和透镜型石英谐振器进行了对比分析,并结合这2种谐振器性能的对比分析试验,得出石英谐振器的电极质量敏感性是引起谐振器零位不稳定和频率短期不稳定的一个主要原因,理论和试验一致表明:通过改善石英谐振器的形状可使这种不稳定性降到原来的1%。
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关键词
石英谐振器
不稳定性
零位
力频特性
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Keywords
quartz resonator
instability
zero
force-frequency characters
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分类号
TP202
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名Cymbal换能器结构参数与机电性能的研究
被引量：6
- 2
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作者
王光灿
王丽坤
李光
栾桂冬
张福学
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机构
云南大学化学与材料工程学院
北京信息工程学院传感器技术研究中心
北京大学电子学系
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2005年第3期320-323,共4页
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基金
北京市传感器重点实验室基金资助项目(543044)
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文摘
Cymbal换能器的结构参数对其机电性能起着重要的作用。用有限元法和ANSYS软件仿真计算了不同结构参数对Cymbal换能器的机械、电及机电性能的影响。研制了Cymbal换能器样品并进行了测量,仿真计算的结果和Cymbal样品的实测结果符合较好。通过这一研究得到了结构参数与Cymbal换能器的机电性能之间的关系。
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关键词
CYMBAL换能器
结构参数
机电性能
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Keywords
Cymbal transducer
structure parameters
electromechanical characteristics
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名Cym bal换能器的有限元模拟
被引量：8
- 3
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作者
王光灿
林宇
王丽坤
李光
栾桂冬
张福学
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机构
北京信息工程学院传感器技术研究中心
北京大学电子学系
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第2期162-164,共3页
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文摘
采用有限元法和ANSYS5.7软件设计Cymbal换能器,并分析了前3阶振动模态。该方法解决了该换能器旋转对称面上存在跃变的应力、应变给设计工作带来的困难。结果表明:ANSYS的计算值与换能器的实测值相近。
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关键词
有限元法
CYMBAL换能器
谐振频率
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Keywords
finite element method
cymbal transducer
resonance frequency
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名Cymbal换能器的有限元动力学分析
被引量：6
- 4
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作者
王光灿
林宇
王丽坤
李光
栾桂冬
张福学
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机构
北京信息工程学院传感器技术研究中心
北京大学电子学系
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2003年第5期418-421,共4页
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基金
国防科技预研基金(00J9.1.9.DZ0301)
北京市重点实验室(传感器)资助项目
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文摘
用有限元法和ANSYS 5.7软件模拟、分析了Cymbal换能器的动力学特性。在模态分析的基础上进行了动力学分析,计算了Cymbal换能器前3阶振动模态的位移分布曲线,速度分布曲线和加速度分布曲线。研究了Cymbal换能器的不同空腔高度与它的谐振频率、位移、加速度和速度分布曲线之间的关系。研制了Cymbal换能器样品。ANSYS5.7软件的Cymbal换能器动力学分析结果与用POLYTEC PSV300-F Scanning Laser Vibro-meter型激光扫描仪对Cymbal换能器样品的实测值相近。
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关键词
有限元法
CYMBAL换能器
空腔高度
动力学分析
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Keywords
finite element method
Cymbal transducer
cavity height
dynamics analysis
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分类号
TP212
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名单基多电极石英晶体谐振器的力-频特性
被引量：3
- 5
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作者
田文杰
程红亚
宁永怀
崔媛媛
鄂然
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机构
北京信息工程学院传感器技术研究中心
中国电子技术标准化研究所
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2007年第6期641-643,共3页
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基金
北京市科技发展资助项目(KM200610772009)
北京市高校学术创新团队资助项目(51050031)
北京市传感器重点实验室资助项目(KM200710772022)
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文摘
利用有限元法分析了同一圆形晶体基片上不同区域的应力分布,通过蒸镀电极的方法证实了理论分析结果的正确性。在此基础上,根据晶体振动的限波理论,设计制作了单基多电极石英晶体谐振器,由此构成的差频式力敏感元件的力-频灵敏度系数可达251.9 Hz/N,输出特性非线性度小于0.5%满刻度(FS)。
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关键词
有限元法
多电极石英谐振器
力-频特性
非线性度
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Keywords
finite element method
multi-electrode quartz resonator
force-frequency characteristic
non-linear degree
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分类号
TP21
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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题名表面结构对集成式石英谐振器性能的影响
被引量：2
- 6
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作者
田文杰
田双
霍静
崔媛媛
鄂然
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机构
北京信息工程学院传感器技术研究中心
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2008年第3期276-278,281,共4页
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基金
北京市科技发展资助项目(KM200610772009)
北京市自然科学基金资助项目(4082011)
北京市传感器重点实验室资助项目
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文摘
在研究石英晶体谐振器力敏特性与加力方位角关系及晶体薄片内波的传播特性的基础上,设计制作了基于同一晶体基片上的集成式四电极谐振器。研究了这种结构的谐振器的力敏特性与加力方位、谐振频率稳定性与基片表面和边沿结构的关系。实验结果表明,谐振器的力敏特性与加力方位密切相关;对晶体基片表面进行抛光处理,能有效地消除表面缺陷对谐振器振动状态的影响,提高谐振频率的稳定性;对晶体基片边沿进行倒边处理,能缩短谐振波波幅在边沿区衰减的空间距离,抑制了谐振器振动能量沿晶片边沿的散失,使谐振器频率稳定性得到进一步提高。经表面抛光及边沿倒边处理后,谐振器频率波动的平均值分别下降到处理前的42%和30%。
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关键词
表面结构
集成式石英谐振器
抛光
倒边
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Keywords
surface structure
integrate quartz resonator
polishing
wafer border beveling
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分类号
TH703.2
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名石英晶振加力方位角的ANSYS分析与实验检验
被引量：3
- 7
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作者
宁永怀
田文杰
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机构
北京信息工程学院传感器技术研究中心
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出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2007年第5期537-539,543,共4页
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基金
北京市科技发展基金资助项目(KM200610772009)
北京市高校学术创新团队基金资助项目(51050031)
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文摘
通过ANSYS8.0对几种石英晶振在加力方位角改变时的应力分布进行了分析计算,并通过实验对石英晶振频率变化和加力方位角关系进行了验证。实验表明,ANSYS8.0分析结果曲线和实验曲线几乎一致。利用此法分析了石英谐振器力敏特性简单、实用、高效。
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关键词
ANSYS分析
石英谐振器
方位角
力频特性
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Keywords
ANSYS analysis
quartz sensor
azimuth
force-frequency effect
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分类号
TP202
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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