摘要
利用有限元法分析了同一圆形晶体基片上不同区域的应力分布,通过蒸镀电极的方法证实了理论分析结果的正确性。在此基础上,根据晶体振动的限波理论,设计制作了单基多电极石英晶体谐振器,由此构成的差频式力敏感元件的力-频灵敏度系数可达251.9 Hz/N,输出特性非线性度小于0.5%满刻度(FS)。
This paper analyzes the stress distribution on the different region of the same circular quartz by using the finite element method, the result approves the correctness of the theoretic analysis by coating electrodes. On the basis of that and the theory of crystal vibration, we design mono base multi electrode quartz crystal resonators. The force-frequency coefficient of those resonators can be 251. 9 Hz/N and the output non linear degree is less than 0.5%FS.
出处
《压电与声光》
CSCD
北大核心
2007年第6期641-643,共3页
Piezoelectrics & Acoustooptics
基金
北京市科技发展资助项目(KM200610772009)
北京市高校学术创新团队资助项目(51050031)
北京市传感器重点实验室资助项目(KM200710772022)
关键词
有限元法
多电极石英谐振器
力-频特性
非线性度
finite element method
multi-electrode quartz resonator
force-frequency characteristic
non-linear degree
作者简介
田文杰（1962-），男，云南昭通人，副教授，博士，硕士生导师，主要从事石英惯性器件研究及教学工作。
