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题名激光制备PMMA基PCR微流控芯片的热压键合研究
被引量：5
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作者
姚李英
张瑜
陈涛
王升启
左铁钏
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机构
北京工业大学激光工程研究院
军事医学科学院放射医学研究所全军生物芯片重点实验室
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出处
《激光杂志》
CAS
CSCD
北大核心
2006年第1期75-77,共3页
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基金
国家自然科学基金项目(50175002)
北京市自然基金项目(3031001)
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文摘
MEMS技术的发展,使得PCR微流控芯片的制备成为了现实。本文采用波长248nm的准分子激光作为一种新型的微加工方法,在19KV电压和18mm/min的激光优化加工参数下,在40mm×63mm的PMMA基片上制备出了20个循环的PCR微流控芯片。芯片上微通道的宽为104μm,深为56μm,长为1040mm,芯片加工耗时57分钟。随后采用自己搭建的热压装置,定量讨论了热压键合的温度、压力和时间对芯片键合质量的影响,得出了PMMA基微流控芯片热压键合的最佳参数:95℃,160N,20min。并在该条件下成功地将PMMA基的20个循环的PCR微流控芯片和相同尺寸的盖片键合在一起,键合后的芯片具有良好的密封性,能够承受的最大压强为0.85Mpa,能满足进行PCR反应的要求。
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关键词
准分子激光
高聚物
热压键合
PCR技术
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Keywords
Excimer laser
Polymer
Hot pressing bonding
PCR technology
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分类号
TN249
[电子电信—物理电子学]
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