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新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究
被引量:
3
1
作者
董林玺
焦继伟
+1 位作者
颜海霞
孙玲玲
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期1053-1057,共5页
增大传感器振子的质量和静态测试电容可以减小电容式MEMS惯性传感系统的噪声,而深度粒子反应刻蚀工艺由于复杂的工艺原因,当深宽比较大时,不能刻蚀出大质量和大初始电容的传感器.据此,本文研究了一种磁驱动增大检测电容的MEMS惯性传感器...
增大传感器振子的质量和静态测试电容可以减小电容式MEMS惯性传感系统的噪声,而深度粒子反应刻蚀工艺由于复杂的工艺原因,当深宽比较大时,不能刻蚀出大质量和大初始电容的传感器.据此,本文研究了一种磁驱动增大检测电容的MEMS惯性传感器,通过电磁驱动器,传感器的静态测试电容可以大幅增加,在梳齿电容上刻蚀阻尼槽后,其机械噪声达到0.61μg每根号赫兹,仿真其共振频率为598Hz,静态位移灵敏度为0.7μm每重力加速度,基于硅-玻璃键合工艺,制作了栅形条电容式惯性传感器,并用电磁驱动的方式测试其品质因子达到715,从而验证了制作工艺的可行性和电磁驱动器改变传感器初始静态测试电容的可行性.
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关键词
电容式加速度计
惯性传感器
高精度
深度粒子反应刻蚀
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职称材料
砷注入碲镉汞光电二极管及其电学特性的等效分析
2
作者
李向阳
赵军
+2 位作者
陆慧庆
胡晓宁
方家熊
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第3期176-179,共4页
通过对碲镉汞材料进行As注入以及退火,成功地制备了P-on-N型光伏器件。器件的截止波长为5.5,黑体探测率D(500K,1K,100)可达2.1×10cmHzW通过对器件的变温电流-电压关系的测量,利用等效电路...
通过对碲镉汞材料进行As注入以及退火,成功地制备了P-on-N型光伏器件。器件的截止波长为5.5,黑体探测率D(500K,1K,100)可达2.1×10cmHzW通过对器件的变温电流-电压关系的测量,利用等效电路进行拟合后,我们发现,限制器件优质因子R。A的主要因素是并联电阻。估计此并联电阻可能由表面漏电和体缺陷引起。
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关键词
碲镉汞光电二极管
砷注入及退火
电流电压特性
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职称材料
题名
新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究
被引量:
3
1
作者
董林玺
焦继伟
颜海霞
孙玲玲
机构
杭州电子科技大学射频电路与系统教育部
重点
实验室
中科院传感技术国家重点实验室
东芝水电设备有限公司
出处
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010年第5期1053-1057,共5页
基金
国家自然科学基金(No.60506015)
浙江省自然科学基金(No.Y107105)
传感技术联合国家重点实验室开发基金
文摘
增大传感器振子的质量和静态测试电容可以减小电容式MEMS惯性传感系统的噪声,而深度粒子反应刻蚀工艺由于复杂的工艺原因,当深宽比较大时,不能刻蚀出大质量和大初始电容的传感器.据此,本文研究了一种磁驱动增大检测电容的MEMS惯性传感器,通过电磁驱动器,传感器的静态测试电容可以大幅增加,在梳齿电容上刻蚀阻尼槽后,其机械噪声达到0.61μg每根号赫兹,仿真其共振频率为598Hz,静态位移灵敏度为0.7μm每重力加速度,基于硅-玻璃键合工艺,制作了栅形条电容式惯性传感器,并用电磁驱动的方式测试其品质因子达到715,从而验证了制作工艺的可行性和电磁驱动器改变传感器初始静态测试电容的可行性.
关键词
电容式加速度计
惯性传感器
高精度
深度粒子反应刻蚀
Keywords
capacitive accelerometer
inertial sensor
high precision
deep RIE
分类号
TN43 [电子电信—微电子学与固体电子学]
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职称材料
题名
砷注入碲镉汞光电二极管及其电学特性的等效分析
2
作者
李向阳
赵军
陆慧庆
胡晓宁
方家熊
机构
中科院传感技术国家重点实验室
出处
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
1998年第3期176-179,共4页
文摘
通过对碲镉汞材料进行As注入以及退火,成功地制备了P-on-N型光伏器件。器件的截止波长为5.5,黑体探测率D(500K,1K,100)可达2.1×10cmHzW通过对器件的变温电流-电压关系的测量,利用等效电路进行拟合后,我们发现,限制器件优质因子R。A的主要因素是并联电阻。估计此并联电阻可能由表面漏电和体缺陷引起。
关键词
碲镉汞光电二极管
砷注入及退火
电流电压特性
分类号
TN15 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型磁驱动增大检测电容的高精度MEMS惯性传感器研究
董林玺
焦继伟
颜海霞
孙玲玲
《电子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2010
3
在线阅读
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职称材料
2
砷注入碲镉汞光电二极管及其电学特性的等效分析
李向阳
赵军
陆慧庆
胡晓宁
方家熊
《激光与红外》
CAS
CSCD
北大核心
1998
0
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职称材料
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