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题名芯片级多轴集成微陀螺方案对比与发展趋势分析
被引量：3
- 1
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作者
魏雯强
鲁征浩
陈方
申冲
石云波
曹慧亮
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机构
中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室
苏州大学微纳传感技术研究中心
中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2023年第9期932-939,954,共9页
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基金
国家重点研发计划(2022YFB3205000)
国家自然科学基金(U2230206)
+1 种基金
国家基础加强计划技术领域基金(021-JCJQ-JJ-0315)
装备发展部预研领域基金(80917010501)。
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文摘
微机械陀螺仪作为检测载体角速率信息的器件,在姿态控制平台和惯性导航领域有着广泛应用。首先结合国内外发展动态及研究成果,分析了三类芯片级多轴集成微机械陀螺集成方法:三单轴陀螺正交集成法、单片单结构三轴陀螺法及单片多结构陀螺阵列法。其次,通过对当前方案的总结与分析,比较了各方案的优缺点,设计了一种频差小、抗冲击能力强的单片三轴轮环式陀螺结构。仿真实验表明该结构能承受20000 g冲击,轮结构频差为180.3 Hz,环结构频差为3 Hz。最后,分析了未来芯片级多轴集成微陀螺仪的改良方向。
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关键词
微机械陀螺仪
敏感结构
单结构三轴
正交集成
陀螺阵列
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Keywords
micro-electro-mechanical system gyroscope
sensitive structures
single structure three axis
orthogonal placement
gyro array
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分类号
TH89
[机械工程—精密仪器及机械]
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题名NEMS谐振器的研究与分析
被引量：4
- 2
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作者
宋达
刘文平
李铁
李昕欣
王跃林
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机构
浙江大学信息与电子工程学系
中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家联合重点实验室
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出处
《电子器件》
EI
CAS
2005年第1期30-34,共5页
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文摘
介绍了NEMS谐振器的主要特点与性能参数。并且详细讨论了NEMS谐振器的材料、制备工艺以及激励与检测手段。同时根据结构与工作模态,分类介绍了近年来国际上出现的几种典型的NEMS谐振器。最后分析了 NEMS谐振器发展所面临的挑战,并指出NEMS谐振器将具有良好的应用与发展前景。
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关键词
NEMS
纳米技术
谐振器
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Keywords
NEMS
nanotechnology
resonators
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分类号
TN303
[电子电信—物理电子学]
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题名电磁驱动电容检测微机械陀螺的设计
被引量：1
- 3
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作者
宋朝辉
贾孟军
李昕欣
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机构
中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
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出处
《微纳电子技术》
CAS
2003年第7期309-311,共3页
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文摘
介绍了一种电磁驱动电容检测微机械陀螺的结构和工作原理。该陀螺的突出优点在于驱动和检测采用了相互独立的折叠梁和振动质量 ,故驱动和检测间的耦合大大地减小。本文从理论上分析了折叠梁结构参数对振动模态频率的影响 ,并针对初步确定的结构尺寸 ,利用COVENTERWARE软件进行了静力学和动力学分析 。
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关键词
电磁驱动
电容检测
微机械陀螺
折叠梁
有限元分析
结构
工作原理
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Keywords
micromachined gyroscope
folded beam
simulation
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分类号
V241.5
[航空宇航科学与技术—飞行器设计]
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题名级联式高阶Σ△M数字式闭环微机械加速度计
- 4
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作者
陈方
刘卫平
刘礼
张勇军
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机构
中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室
上海航天电子通讯设备研究所
北京科技大学高效轧制国家工程研究中心
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出处
《中国惯性技术学报》
EI
CSCD
北大核心
2016年第3期399-403,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61504159)
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文摘
基于Sigma-delta Modulator(Σ△M)原理的数字闭环微机械加速度计不仅实现了力反馈闭环控制,同时直接完成信号的模数转换。基于全差分式电容微加速度设计了一种2-2级联式(MASH)高阶Σ△M闭环系统——MASH_(2-2),并与传统的单环路二阶、四阶Σ△M闭环系统(SD2、SD4)进行了仿真分析比较,研制了原理样机。微加速度计是基于结构层厚度50mm的SOI硅片通过DRIE刻蚀、气态HF释放等一系列微加工工艺得到,系统电路以数字化方式集成在FPGA中。常压下测试结果表明,样机的灵敏度为0.876 V/g,噪声基底为-110 d B,零偏不稳定性为20mg,静态温漂为40.8mg/℃,量程为±20 g。
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关键词
Σ△M
微机械加速度计
数字闭环
模数转换
MASH_(2-2)
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Keywords
Σ△M
micromachined accelerometer
digital closed-loop
analog-to-digital conversion
MASH_（2-2）
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分类号
U666.1
[交通运输工程—船舶及航道工程]
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