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基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计被引量：9: 1; 作者赵本刚徐静 +2 位作者高翔刘玉菲吴亚明《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第3期89-94,共6页; 光学电流传感器解决了传统电流互感器的缺点,但仍然存在生产困难、性能易受环境温度影响等不足,MEMS作为一种新兴技术,可批量生产各种性能良好的微电子器件,该文提出了将MEMS技术用于检测高压交流电的光学电流传感器。高压侧的传感装置... 展开更多; 关键词光学电流传感器微电子机械系统扭转微镜温度补偿耦合损耗; 在线阅读下载PDF 职称材料

新型MEMS质量传感器的研究被引量：1: 2; 作者熊磊焦继伟 +2 位作者葛道晗宓斌伟张轩雄《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第8期1-3,16,共4页; 研究了一种新型MEMS质量传感器的设计、仿真与制造。这种用于流体中微小分子质量检测的MEMS器件,具有高度对称的中空圆盘结构,以谐振的方式工作于简并/解并模态,能在测量时实现对环境波动的自我补偿。器件的中空腔内可以流过被测流体,... 展开更多; 关键词 MEMS 谐振器质量传感器自补偿; 在线阅读下载PDF 职称材料

一种新型数字式加速度传感器原理与设计被引量：2: 3; 作者庞洁 Lukasz Pakula +2 位作者 Paddy French 杨恒王跃林《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1996-2000,共5页; 建立了一种新型纯数字式加速度传感器的理论模型,通过检测吸合时间差检测加速度.该传感器不存在吸合电压的限制,避免了寄生电容的影响,其芯片面积远小于传统电容式加速度传感器;由于输出时间信号,可采用简单的纯数字接口电路检测.理论... 展开更多; 关键词加速度传感器数字式吸合时间吸合电压; 在线阅读下载PDF 职称材料

硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制被引量：1: 4; 作者王家畴李昕欣孙立宁《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期232-235,254,共5页; 为了解决纳米级定位平台小型化、低能耗、定位精度高的问题,基于结构、驱动和检测一体化的设计理念,研制出了一种硅基片上集成式微型平面纳米级XY定位平台,在建立定位平台数学模型基础上,利用Matlab分析软件对定位平台开环和闭环控制特... 展开更多; 关键词 MEMS 硅基集成式定位平台位移传感器闭环控制开环控制神经元自适应PID控制; 在线阅读下载PDF 职称材料

芯片级多轴集成微陀螺方案对比与发展趋势分析被引量：5: 5; 作者魏雯强鲁征浩 +3 位作者陈方申冲石云波曹慧亮《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第9期932-939,954,共9页; 微机械陀螺仪作为检测载体角速率信息的器件,在姿态控制平台和惯性导航领域有着广泛应用。首先结合国内外发展动态及研究成果,分析了三类芯片级多轴集成微机械陀螺集成方法:三单轴陀螺正交集成法、单片单结构三轴陀螺法及单片多结构陀... 展开更多; 关键词微机械陀螺仪敏感结构单结构三轴正交集成陀螺阵列; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析被引量：3: 6; 作者金大重李昕欣 +4 位作者刘剑于海涛王跃林左国民李鹏《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期101-106,共6页; 本文采用能量统计分布方法研究微机械悬臂梁的噪声模型,对热机械噪声理论模型进行了拓展和修正,使之适用于低温和高频条件.研究了温度、压力和频率对热机械噪声、温漂噪声和吸附-脱附噪声的影响.根据研究结果对静态检测悬臂梁和动态频... 展开更多; 关键词微电子机械系统噪声机制微机械悬臂梁分辨率; 在线阅读下载PDF 职称材料

级联式高阶Σ△M数字式闭环微机械加速度计: 7; 作者陈方刘卫平 +1 位作者刘礼张勇军《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第3期399-403,共5页; 基于Sigma-delta Modulator(Σ△M)原理的数字闭环微机械加速度计不仅实现了力反馈闭环控制,同时直接完成信号的模数转换。基于全差分式电容微加速度设计了一种2-2级联式(MASH)高阶Σ△M闭环系统——MASH_(2-2),并与传统的单环路二阶、... 展开更多; 关键词 Σ△M 微机械加速度计数字闭环模数转换 MASH_(2-2); 在线阅读下载PDF 职称材料

芯片级原子钟的气密性能分析被引量：3: 8; 作者张志强徐静 +1 位作者李绍良吴亚明《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期132-139,共8页; 基于相干布居囚禁(CPT)原理芯片级原子钟(CSAC)原子腔体积小、采用微电子机械系统硅-玻璃键合工艺制造,其气密性是决定CSAC寿命的关键因素。本文提出了"多层缓冲原子腔"方案大幅度提高原子腔的气密性能,从而提高CPT CSAC的稳... 展开更多; 关键词芯片级原子钟多层缓冲原子腔气密性毛细管等效气流模型 MATLAB仿真; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计被引量：9: 1; 作者赵本刚徐静高翔刘玉菲吴亚明; 机构中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室; 出处《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心 2007年第3期89-94,共6页; 基金国家自然科学基金项目(60572022)~~; 文摘光学电流传感器解决了传统电流互感器的缺点,但仍然存在生产困难、性能易受环境温度影响等不足,MEMS作为一种新兴技术,可批量生产各种性能良好的微电子器件,该文提出了将MEMS技术用于检测高压交流电的光学电流传感器。高压侧的传感装置由Rogowski线圈、MEMS扭转微镜和双光纤准直器组成。文中介绍了器件的高压侧敏感原理和光学检出原理,给出了器件的结构参数条件、模态分析和温度补偿结果,并利用ANSYS与Matlab软件对器件的性能进行了仿真模拟和分析。理论结果表明：温度补偿后,温度变化±50K时测试误差为0．2%,400A、2000A电流下的灵敏度分别为0．001dB/A与0．09dB/A,说明了基于MEMS技术的光学电流传感器具有一定的研究价值。; 关键词光学电流传感器微电子机械系统扭转微镜温度补偿耦合损耗; Keywords optical current sensor micro-electronic mechanic system torsional micro-mirror temperature compensation coupling-loss; 分类号 TM452.94 [电气工程—电器]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名新型MEMS质量传感器的研究被引量：1: 2; 作者熊磊焦继伟葛道晗宓斌伟张轩雄; 机构上海理工大学光电信息与计算机工程学院中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室中科院上海微系统与信息技术研究所微系统技术国家重点实验室; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2011年第8期1-3,16,共4页; 文摘研究了一种新型MEMS质量传感器的设计、仿真与制造。这种用于流体中微小分子质量检测的MEMS器件,具有高度对称的中空圆盘结构,以谐振的方式工作于简并/解并模态,能在测量时实现对环境波动的自我补偿。器件的中空腔内可以流过被测流体,腔外的真空环境使得圆盘谐振器受到更小的阻尼。利用ANSYS对圆盘在质量吸附前后的模态及频率分裂进行仿真,计算结果显示对质量的测量灵敏度达pg量级。采用MEMS双牺牲层工艺方法成功制作出具有双层结构的空心圆盘谐振器。; 关键词 MEMS 谐振器质量传感器自补偿; Keywords MEMS resonator mass sensor self-compensating; 分类号 TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置] TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名一种新型数字式加速度传感器原理与设计被引量：2: 3; 作者庞洁 Lukasz Pakula Paddy French 杨恒王跃林; 机构中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室 Delft University of Technology; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第9期1996-2000,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(60406009); 文摘建立了一种新型纯数字式加速度传感器的理论模型,通过检测吸合时间差检测加速度.该传感器不存在吸合电压的限制,避免了寄生电容的影响,其芯片面积远小于传统电容式加速度传感器;由于输出时间信号,可采用简单的纯数字接口电路检测.理论分析表明,质量块在两个检测电极之间的吸合时间差ΔT与加速度成正比关系,通过检测ΔT的变化即可检测加速度,其灵敏度、非线性与传统电容式加速度传感器相当.设计了一个悬臂梁-质量块结构的加速度传感器,芯片有效面积仅为0.03mm2,模拟结果显示,工作电压为8V,加速度为1gn时,吸合时间的变化ΔT为1.0554μs.采用TTL电路进行检测,其分辨率可以达到0.01gn,满量程±10gn工作时,非线性度为1.23%.; 关键词加速度传感器数字式吸合时间吸合电压; Keywords accelerometer digital circuit pull-in time pull-in voltage; 分类号 TP212.1 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制被引量：1: 4; 作者王家畴李昕欣孙立宁; 机构中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室哈尔滨工业大学机器人技术与系统国家重点实验室; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期232-235,254,共5页; 文摘为了解决纳米级定位平台小型化、低能耗、定位精度高的问题,基于结构、驱动和检测一体化的设计理念,研制出了一种硅基片上集成式微型平面纳米级XY定位平台,在建立定位平台数学模型基础上,利用Matlab分析软件对定位平台开环和闭环控制特性进行了比较和仿真分析。在实际控制中,针对硅微机械加工的MEMS器件难以获取精确数学模型的不足,将单神经元算法和传统PID控制算法相结合,设计了具有自动识别被控过程参数并对控制参数进行实时自校正的单神经元自适应PID控制器,依靠平台自身集成的位移传感器实现了定位平台的位置闭环控制,实验结果表明:单神经元自适应PID控制器不仅具有结构简单、鲁棒性好等特点而且能够有效地弥补硅基定位平台由于微机械加工限制造成的机构方面不足,定位平台的动态和稳态性能良好,最大工作行程±10μm,稳定时间小于2.5 ms,重复定位精度优于24.9 nm.; 关键词 MEMS 硅基集成式定位平台位移传感器闭环控制开环控制神经元自适应PID控制; Keywords MEMS silicon-based integrated positioning platform displacement sensor closed-lop control open-lop control single neuron adaptive PID; 分类号 TP242 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名芯片级多轴集成微陀螺方案对比与发展趋势分析被引量：5: 5; 作者魏雯强鲁征浩陈方申冲石云波曹慧亮; 机构中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室苏州大学微纳传感技术研究中心中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2023年第9期932-939,954,共9页; 基金国家重点研发计划(2022YFB3205000) 国家自然科学基金(U2230206) +1 种基金装备发展部预研领域基金(80917010501)。; 文摘微机械陀螺仪作为检测载体角速率信息的器件,在姿态控制平台和惯性导航领域有着广泛应用。首先结合国内外发展动态及研究成果,分析了三类芯片级多轴集成微机械陀螺集成方法:三单轴陀螺正交集成法、单片单结构三轴陀螺法及单片多结构陀螺阵列法。其次,通过对当前方案的总结与分析,比较了各方案的优缺点,设计了一种频差小、抗冲击能力强的单片三轴轮环式陀螺结构。仿真实验表明该结构能承受20000 g冲击,轮结构频差为180.3 Hz,环结构频差为3 Hz。最后,分析了未来芯片级多轴集成微陀螺仪的改良方向。; 关键词微机械陀螺仪敏感结构单结构三轴正交集成陀螺阵列; Keywords micro-electro-mechanical system gyroscope sensitive structures single structure three axis orthogonal placement gyro array; 分类号 TH89 [机械工程—精密仪器及机械]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析被引量：3: 6; 作者金大重李昕欣刘剑于海涛王跃林左国民李鹏; 机构中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第1期101-106,共6页; 基金国家重点基础研究发展规划项目资助(973计划2006CB300405) 国家自然科学基金项目资助(60376038); 文摘本文采用能量统计分布方法研究微机械悬臂梁的噪声模型,对热机械噪声理论模型进行了拓展和修正,使之适用于低温和高频条件.研究了温度、压力和频率对热机械噪声、温漂噪声和吸附-脱附噪声的影响.根据研究结果对静态检测悬臂梁和动态频率响应悬臂梁传感器进行了具体分析.对于静态下工作的微机械悬臂梁,振幅的随机变化取决于热机械噪声.对于工作在谐振状态的微米尺度悬臂梁,在室温常压下热机械噪声是主要的噪声机制;当尺寸进一步缩小至纳米尺度时,表面效应变得显著,吸附-脱附噪声成为主要的噪声机制.基于对不同情况下噪声特性的分析,对微机械悬臂梁传感器的优化设计规则进行了探讨.; 关键词微电子机械系统噪声机制微机械悬臂梁分辨率; Keywords MEMS noise mechanism micromechanical cantilever resolution; 分类号 TB53 [理学—声学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名级联式高阶Σ△M数字式闭环微机械加速度计: 7; 作者陈方刘卫平刘礼张勇军; 机构中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海航天电子通讯设备研究所北京科技大学高效轧制国家工程研究中心; 出处《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心 2016年第3期399-403,共5页; 基金国家自然科学基金资助项目(61504159); 文摘基于Sigma-delta Modulator(Σ△M)原理的数字闭环微机械加速度计不仅实现了力反馈闭环控制,同时直接完成信号的模数转换。基于全差分式电容微加速度设计了一种2-2级联式(MASH)高阶Σ△M闭环系统——MASH_(2-2),并与传统的单环路二阶、四阶Σ△M闭环系统(SD2、SD4)进行了仿真分析比较,研制了原理样机。微加速度计是基于结构层厚度50mm的SOI硅片通过DRIE刻蚀、气态HF释放等一系列微加工工艺得到,系统电路以数字化方式集成在FPGA中。常压下测试结果表明,样机的灵敏度为0.876 V/g,噪声基底为-110 d B,零偏不稳定性为20mg,静态温漂为40.8mg/℃,量程为±20 g。; 关键词 Σ△M 微机械加速度计数字闭环模数转换 MASH_(2-2); Keywords Σ△M micromachined accelerometer digital closed-loop analog-to-digital conversion MASH_（2-2）; 分类号 U666.1 [交通运输工程—船舶及航道工程]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名芯片级原子钟的气密性能分析被引量：3: 8; 作者张志强徐静李绍良吴亚明; 机构中科院上海微系统与信息技术研究所传感技术联合国家重点实验室、微系统技术重点实验室中国科学院研究生院; 出处《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期132-139,共8页; 基金中国科学院知识创新工程重要方向性项目资助; 文摘基于相干布居囚禁(CPT)原理芯片级原子钟(CSAC)原子腔体积小、采用微电子机械系统硅-玻璃键合工艺制造,其气密性是决定CSAC寿命的关键因素。本文提出了"多层缓冲原子腔"方案大幅度提高原子腔的气密性能,从而提高CPT CSAC的稳定性和寿命。建立了一个"毛细管等效气流模型"模拟多层缓冲原子腔的泄漏以分析原子腔的气密性能,应用Matlab仿真对比了单层密封、多层密封、添加保护腔等不同方式下气密性能的改善幅度。仿真结果验证了"多层缓冲原子腔"在提高CPT CSAC物理系统气密性能方面的可行性和有效性,为原子腔的设计提供指导。; 关键词芯片级原子钟多层缓冲原子腔气密性毛细管等效气流模型 MATLAB仿真; Keywords Chip-scale atomic clock Multi-stage buffer cells Hermeticity Equivalent capillary flow model Matlab simulation; 分类号 TB753 [一般工业技术—真空技术]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	基于微电子机械系统的光学电流传感器原理与设计	赵本刚徐静高翔刘玉菲吴亚明	《中国电机工程学报》 EI CSCD 北大核心	2007	9	在线阅读下载PDF 职称材料
2	新型MEMS质量传感器的研究	熊磊焦继伟葛道晗宓斌伟张轩雄	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2011	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	一种新型数字式加速度传感器原理与设计	庞洁 Lukasz Pakula Paddy French 杨恒王跃林	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2007	2	在线阅读下载PDF 职称材料
4	硅基集成式微型平面纳米级定位平台控制	王家畴李昕欣孙立宁	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	芯片级多轴集成微陀螺方案对比与发展趋势分析	魏雯强鲁征浩陈方申冲石云波曹慧亮	《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心	2023	5	在线阅读下载PDF 职称材料
6	微机械悬臂梁中的机械噪声机制分析	金大重李昕欣刘剑于海涛王跃林左国民李鹏	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2007	3	在线阅读下载PDF 职称材料
7	级联式高阶Σ△M数字式闭环微机械加速度计	陈方刘卫平刘礼张勇军	《中国惯性技术学报》 EI CSCD 北大核心	2016	0	在线阅读下载PDF 职称材料
8	芯片级原子钟的气密性能分析	张志强徐静李绍良吴亚明	《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2012	3	在线阅读下载PDF 职称材料