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利用电化学生物传感器进行无创血糖检测技术研究 被引量：6
1
作者 刘剑 刘红敏 +3 位作者 杨庆德 姜利英 田青 蔡新霞 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第12期2535-2539,共5页
研制了一种新型的基于反离子电渗透原理无创检测血糖的电化学生物传感器,利用此生物传感器在自行搭建的实验装置上进行了裸鼠离体皮肤的葡萄糖透皮抽取和检测实验,研究了化学促渗剂和电流切换技术对无创血糖检测的影响.实验结果显示,使... 研制了一种新型的基于反离子电渗透原理无创检测血糖的电化学生物传感器,利用此生物传感器在自行搭建的实验装置上进行了裸鼠离体皮肤的葡萄糖透皮抽取和检测实验,研究了化学促渗剂和电流切换技术对无创血糖检测的影响.实验结果显示,使用化学促渗剂后葡萄糖的渗透量是不使用促渗剂情况下的2.29倍,采用电流切换技术,能减缓长时间通电对皮肤的刺激,在皮下葡萄糖浓度0～18mmol/L范围内,生物传感器的响应电流与皮下葡萄糖浓度具有较好的相关性(R=0.9886,n=7).此外,还进行了与生物传感器配合使用的腕式仪表的研制,为实现糖尿病人血糖闭环控制奠定技术基础. 展开更多
关键词 电化学生物传感器 血糖 无创检测 反离子电渗透 金电极
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电化学传感器及其在芯片实验室中的应用 被引量：14
2
作者 刘长春 崔大付 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第7期1-3,6,共4页
芯片实验室是一种微型化的生化分析仪器 ,而电化学传感器具有灵敏度高、易微型化、功耗小、成本低的特点 ,特别是它与目前的微电子机械系统技术兼容 ,因此它在芯片实验室发展过程显示出了诱人的应用前景。介绍了电化学传感器的原理、分... 芯片实验室是一种微型化的生化分析仪器 ,而电化学传感器具有灵敏度高、易微型化、功耗小、成本低的特点 ,特别是它与目前的微电子机械系统技术兼容 ,因此它在芯片实验室发展过程显示出了诱人的应用前景。介绍了电化学传感器的原理、分类及其在芯片实验室中的应用。 展开更多
关键词 电化学传感器 芯片实验室 生化分析仪器 微电子机械系统技术
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真空微电子传感器研究及进展 被引量：4
3
作者 夏善红 《机械强度》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第4期535-538,共4页
介绍真空微电子传感器的研究和发展概况 ,着重叙述了真空微电子压力传感器和真空微电子磁传感器的发展 ,并就其研究、发展和应用前景阐述了个人的观点。
关键词 传感器 真空微电子 磁传感器 压力传感器
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阴极-敏感膜复合型真空微电子压力传感器研究 被引量：2
4
作者 陶新昕 夏善红 +1 位作者 苏杰 陈绍凤 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2001年第1期81-84,共4页
该文提出了“阴极-敏感薄膜复合”结构的新型真空微电子压力传感器,并研制出了“阴极-敏感薄膜复合”结构,对硅薄膜在外力作用下产生的形变及其应力分布进行了计算机模拟计算,并讨论了薄膜结构参数对其敏感特性的影响。
关键词 真空微电子 压力传感器 阴极-敏感膜
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利用表面等离子谐振生物传感器检测磺胺二甲嘧啶的方法研究 被引量：13
5
作者 李辉 崔大付 +4 位作者 王于杰 蔡浩原 王军波 郑自攀 陈兴 《食品科学》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第6期288-292,共5页
动物源性食品中的兽药残留对人类的健康具有潜在的危害。这项研究利用SPR生物传感器免疫法检测磺胺二甲嘧啶。实验对抗原在芯片表面的固定条件以及抗体的浓度进行了优化,实验中所构建的标准曲线的检测限(LOD)约为0.7ng/ml,检测范围为0.7... 动物源性食品中的兽药残留对人类的健康具有潜在的危害。这项研究利用SPR生物传感器免疫法检测磺胺二甲嘧啶。实验对抗原在芯片表面的固定条件以及抗体的浓度进行了优化,实验中所构建的标准曲线的检测限(LOD)约为0.7ng/ml,检测范围为0.7～10ng/ml。对抗体的特异性和稳定性进行了研究。SPR-2004传感器为中国科学院电子学研究所自行研制的生化分析仪,为单通道双参数型,可以通过使用参照表面来消除折射率和基质效应的影响,从而提高数据的准确性,并缩短检测时间。 展开更多
关键词 表面等离子谐振 生物传感器 参照表面 磺胺二甲嘧啶
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基于自停止腐蚀技术的H型谐振式微机械压力传感器 被引量：11
6
作者 李玉欣 陈德勇 +2 位作者 王军波 焦海龙 罗振宇 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第12期2927-2934,共8页
为了提高压力传感器的精度并抑制温漂,提出了一种基于自停止腐蚀技术的"H"型双端固支梁、电磁激励、差分检测的微机械(MEMS)谐振式压力传感器。首先,通过有限元分析仿真优化了传感器的机械参数,得到了较高的灵敏度和分辨率。... 为了提高压力传感器的精度并抑制温漂,提出了一种基于自停止腐蚀技术的"H"型双端固支梁、电磁激励、差分检测的微机械(MEMS)谐振式压力传感器。首先,通过有限元分析仿真优化了传感器的机械参数,得到了较高的灵敏度和分辨率。然后,基于浓硼扩散自停止腐蚀原理,采用MEMS体硅标准工艺加工出一致性较好的传感器样品。最后,采用非光敏BCB,在真空高温高压条件下将硅片与谐振器黏和键合完成了传感器的真空封装,并设计了应力隔离的后封装方法以降低温漂。实验结果表明:传感器的检测范围为0～120kPa,满量程非线性度低于0.02%,准确度达到0.05%FS,加入应力隔离后在-40～70℃的温度漂移不高于0.05%/℃。该传感器能够实现大量程高精度的压力测量,有效地抑制了温漂,具有较高的性能指标。 展开更多
关键词 微机械压力传感器 谐振式压力传感器 双端固支梁 差分检测 黏和键合
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微结构气敏传感器敏感薄膜制备方法的研究 被引量：12
7
作者 李建平 王悦 +2 位作者 高晓光 王利 韩泾鸿 《真空科学与技术》 EI CSCD 北大核心 2000年第3期161-165,共5页
随着微结构气敏传感器的出现 ,金属氧化物半导体薄膜因具有灵敏度高、热质量小、批量制备一致性好等特点受到日益广泛的重视。本文比较了在微结构气敏传感器中三种方法制备的SnO2 敏感薄膜的结构和气敏响应特性。结果表明 ,用液涎生长... 随着微结构气敏传感器的出现 ,金属氧化物半导体薄膜因具有灵敏度高、热质量小、批量制备一致性好等特点受到日益广泛的重视。本文比较了在微结构气敏传感器中三种方法制备的SnO2 敏感薄膜的结构和气敏响应特性。结果表明 ,用液涎生长和热氧化技术制备的SnO2 薄膜灵敏度高、稳定性好 ,但这种方法与lift off技术不兼容 ;室温直流溅射Sn然后热氧化方法制备的SnO2 薄膜虽然能采用lift off技术成形 ,但由于膜中晶粒结构和Sn/O比不合适使得它的气敏响应特性很差 ;室温混合气氛 (Ar/O2 比为 8∶2 )下射频溅射SnO2 靶然后退火制备的SnO2 薄膜 ,不仅对有机分子十分灵敏 ,而且与微电子工艺相容。 展开更多
关键词 微结构 气敏传感器 二氧化锡薄膜 气敏特性
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电磁激励谐振式MEMS压力传感器闭环控制研究 被引量：13
8
作者 刘猛 王军波 +1 位作者 李玉欣 陈德勇 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第8期1066-1069,共4页
在谐振器动力学分析的基础上,系统地比较了谐振式压力传感器检测速度谐振频率和检测位移谐振频率的优缺点。设计出一种零相移的电磁激励谐振式MEMS压力传感器闭环控制系统,该系统利用检测速度谐振频率提高传感器的信号检测稳定性,并且... 在谐振器动力学分析的基础上,系统地比较了谐振式压力传感器检测速度谐振频率和检测位移谐振频率的优缺点。设计出一种零相移的电磁激励谐振式MEMS压力传感器闭环控制系统,该系统利用检测速度谐振频率提高传感器的信号检测稳定性,并且控制电路无需移相环节即可保证传感器在工作频率范围内实现稳定可靠的闭环自激。实验结果表明,采用该闭环控制系统的传感器具有较高的稳定性,传感器长时漂移低于0.025%F.S.,在10 hPa^1050 hPa范围内非线性度为0.06%。 展开更多
关键词 谐振式压力传感器 电磁激励 检测速度谐振频率 闭环控制 零相移
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基于光纤传感的生理参数监测系统研究 被引量：10
9
作者 赵荣建 汤敏芳 +4 位作者 陈贤祥 杜利东 曾华林 赵湛 方震 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2018年第9期2182-2189,共8页
常规生理参数监测系统由于测量时接触皮肤,因此舒适感差、个体依从性差。为解决上述问题,该文基于生理的微弱运动可致光纤微弯曲变形进而致光强度发生变化的原理,研制了新型的基于光纤传感的生理参数监测系统。该系统通过光探测器自适... 常规生理参数监测系统由于测量时接触皮肤,因此舒适感差、个体依从性差。为解决上述问题,该文基于生理的微弱运动可致光纤微弯曲变形进而致光强度发生变化的原理,研制了新型的基于光纤传感的生理参数监测系统。该系统通过光探测器自适应地检测细小的光强变化获得心冲击图(BCG)信号,利用信号处理算法获取心率、呼吸率和体动等信息;把光纤嵌入床垫或坐垫设计为三明治结构,既保护了光纤又增强了系统的可靠性和稳定性;采用蛇形返折走线将光纤均匀地分布在垫子中间,使系统具有高灵敏度。通过多家医院临床标准方法对比测试可得在95%的置信区间(±1.96SD)内该系统心率均值误差为–0.26±2.80次/min,与标准值之间的相关性为0.9984;呼吸率均值误差为0.41±1.49次/min,与标准值之间的相关性为0.9971。实验表明,研制的系统可在零负荷的状态下无感进行生理参数测量,在健康医疗领域具有广泛的应用前景。 展开更多
关键词 光纤传感器 心冲击图 心率 呼吸率
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利用参比型SPR生物传感器进行SARS病毒抗原检测的研究 被引量：4
10
作者 王于杰 崔大付 +5 位作者 邓巍 秦川 王军波 蔡浩原 关昕 王利 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第10期2151-2154,共4页
参比型SPR生物传感器是一种可以在单通道内实现对检测、参比两个位点同时检测的新型SPR分析系统.利用参比型SPR生物传感器在线制备了两种SARS病毒抗原的检测芯片.直接固定抗体法制备的检测芯片在检测时基本无反应;蛋白A固定抗体法制备... 参比型SPR生物传感器是一种可以在单通道内实现对检测、参比两个位点同时检测的新型SPR分析系统.利用参比型SPR生物传感器在线制备了两种SARS病毒抗原的检测芯片.直接固定抗体法制备的检测芯片在检测时基本无反应;蛋白A固定抗体法制备的芯片在通入灭活SARS病毒时检测信号明显,参比信号略有上升.第二种芯片可以直接检测到病毒培养液上清中的灭活SARS病毒,检测灵敏度已达到1.66×104PFU/mL.参比位点可以用来检测待测物中杂质引起的非特异性吸附. 展开更多
关键词 生物传感器 SARS病毒 检测 参比 SPR
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应用SU-8粘合技术的微型压力、温度和湿度集成传感器(英文) 被引量：3
11
作者 张建刚 庞程 +1 位作者 方震 赵湛 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第6期1350-1354,共5页
压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点,在环境监测和工业控制等领域应用广泛。基于微机电系统(MEMS)技术,本文设计和制作了一种尺寸为5.5mm×3.5mm×0.8mm的高精度压力、温度和湿度集成传感器。该... 压力、温度和湿度集成传感器具有体积小、成本低和可批量生产等优点,在环境监测和工业控制等领域应用广泛。基于微机电系统(MEMS)技术,本文设计和制作了一种尺寸为5.5mm×3.5mm×0.8mm的高精度压力、温度和湿度集成传感器。该集成传感器由SU-8真空粘合技术制作的铂压阻压力传感器,铂电阻温度传感器和电容式湿度传感器组成。介绍了该集成传感器的设计思想、结构和制备过程,给出了实验和测试方法。结果表明,压力传感器的精度优于0.05%;温度传感器的精度为0.3%;湿度集成传感器的量程为25%RH～95%RH,其性能曲线的线性相关系数为0.998。集成传感器中的这3种传感器的高精度表明该集成传感器的制作工艺具有良好的工艺兼容性。 展开更多
关键词 集成传感器 压力传感器 温度传感器 湿度传感器 聚酰亚胺 SU-8粘合技术
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新型的ISFET微传感器读出电路单芯片集成研究 被引量：3
12
作者 魏金宝 杨海钢 +2 位作者 韩泾鸿 孙红光 夏善红 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期224-227,共4页
生化微传感集成系统是目前的研究焦点,本文以在线性区和饱和区两种模式下工作的pH-ISFET作为研究对象,提出ISFET微传感器与其信号读出电路的单芯片集成,并深入研究传感机理以及与标准CMOS兼容的敏感材料制备技术.整个芯片包含ISFET/REFE... 生化微传感集成系统是目前的研究焦点,本文以在线性区和饱和区两种模式下工作的pH-ISFET作为研究对象,提出ISFET微传感器与其信号读出电路的单芯片集成,并深入研究传感机理以及与标准CMOS兼容的敏感材料制备技术.整个芯片包含ISFET/REFET微传感差分对、双模式ISFET/REFET放大器、次级差分放大、参比电极Pt、恒流源等,采用新加坡Chartered半导体集成电路公司3.3V标准CMOS工艺流片.同时进行传感器芯片的pH响应实验测试,获得53mV/pH灵敏度. 展开更多
关键词 微传感器 读取电路 单芯片 集成系统
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用于无创检测皮下葡萄糖的新型生物传感器研究 被引量：4
13
作者 姜利英 刘红敏 +2 位作者 刘剑 郭宗慧 蔡新霞 《传感器与微系统》 CSCD 北大核心 2008年第11期53-56,共4页
以无创检测人体血糖为应用需求，采用高灵敏度饿氧化还原聚合物修饰在薄膜电极上，并通过戊二醛交联法固定酶分子制备成新型生物传感器。实验结果表明：在0—700μmol／L的葡萄糖标准浓度范围内，传感器灵敏度为23．955nA／（μmol·... 以无创检测人体血糖为应用需求，采用高灵敏度饿氧化还原聚合物修饰在薄膜电极上，并通过戊二醛交联法固定酶分子制备成新型生物传感器。实验结果表明：在0—700μmol／L的葡萄糖标准浓度范围内，传感器灵敏度为23．955nA／（μmol·L^-1），最低检测限为0．3μmol／L，相关系数为0．999；在标准皮下葡萄糖浓度0—19mmol／L浓度范围内，被抽取出的葡萄糖电流响应值与皮下葡萄糖的浓度成线性关系，线性相关系数为0．994，灵敏度为4．03nA／（mmol·L^-1）；单只传感器对100μmol／L葡萄糖检测的精度为4．07％（n=10），不同传感器之间对100μmol／L葡萄糖测量的精度为3．22％（n=10），在4℃条件下，传感器的寿命可达450d。 展开更多
关键词 生物传感器 薄膜电极 生物酶 锇聚合物 低浓度
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用于检测低浓度葡萄糖的生物传感器研究 被引量：2
14
作者 姜利英 蔡新霞 +2 位作者 刘红敏 刘春秀 郭宗慧 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第2期1-4,共4页
通过在薄膜金电极上修饰具有较高电子转移效率的氧化还原聚合物,并固定相应的酶,制备了一种可用于检测低浓度葡萄糖的生物传感器。研究了利用戊二醛交联和光聚合两种酶固定化方法制备出的传感器对检测低浓度葡萄糖的动态响应特性影响。... 通过在薄膜金电极上修饰具有较高电子转移效率的氧化还原聚合物,并固定相应的酶,制备了一种可用于检测低浓度葡萄糖的生物传感器。研究了利用戊二醛交联和光聚合两种酶固定化方法制备出的传感器对检测低浓度葡萄糖的动态响应特性影响。结果表明;利用戊二醛交联方法制备的传感器灵敏度更高,且具有更好的稳定性。在0～500μM浓度范围内,传感器对葡萄糖干法电流响应灵敏度为35.4 nAμM^-1cm^-2,检测限为0.5μM,响应时间30 s,对50μM葡萄糖的精密度为4.4%。 展开更多
关键词 葡萄糖 生物传感器 酶固定化 低浓度
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基于三梁结构的电热驱动谐振式微加速度传感器研究(英文) 被引量：2
15
作者 陈健 陈德勇 王军波 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期516-518,共3页
为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到的固有振型来选择三梁结构参数,以减少能量耗散,提高品质因数.分析本设计消除交叉灵敏度的机制和独特的三... 为了提高电热激励/压阻拾振谐振式微加速度传感器的品质因数和消除交叉灵敏度,提出一种基于三梁结构的新设计.依据有限元模拟得到的固有振型来选择三梁结构参数,以减少能量耗散,提高品质因数.分析本设计消除交叉灵敏度的机制和独特的三梁结构的激振方式并对其进行有限元模拟.模拟结果证实这种谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1000Hz/g. 展开更多
关键词 微机械电子系统 电热驱动谐振式微加速度传感器 三梁结构 交叉灵敏度 有限元模拟
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基于SOI-MEMS工艺的谐振式压力传感器研究 被引量：1
16
作者 曹明威 陈德勇 +2 位作者 王军波 焦海龙 张健 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2013年第6期801-805,共5页
提出了一种电磁激励、差分检测的谐振式MEMS压力传感器,该器件采用低电阻率的SOI器件层单晶硅制作"H"型谐振梁,并作为激励和检测电极。根据对传感器数学模型的分析,利用有限元分析方法优化了传感器结构设计。采用等离子深刻... 提出了一种电磁激励、差分检测的谐振式MEMS压力传感器,该器件采用低电阻率的SOI器件层单晶硅制作"H"型谐振梁,并作为激励和检测电极。根据对传感器数学模型的分析,利用有限元分析方法优化了传感器结构设计。采用等离子深刻蚀制作传感器结构,并用湿法腐蚀SOI二氧化硅层的方法释放。利用硅-玻璃阳极键合技术,实现了传感器的圆片级真空封装。采用开环扫描检测和闭环自激振荡方式,测定压力传感器的特性。实验结果表明:传感器一致性良好,在500 hPa～1 100 hPa的检测范围内,差分检测灵敏度为14.96 Hz/hPa,线性相关系数为0.999 996。 展开更多
关键词 微电子机械系统 谐振式压力传感器 绝缘体上硅 差分检测 阳极键合
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氧化还原聚合物修饰的过氧化氢传感器的研究 被引量：1
17
作者 李华清 刘春秀 +3 位作者 郭宗慧 姜利英 崔大付 蔡新霞 《传感技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期549-551,共3页
一种用于快速检测过氧化氢的电流型生物传感器。将氧化还原聚合物滴在塑料基片上溅射的金薄膜工作电极上形成一层对过氧化氢的敏感膜。实验结果表明,该生物传感器在1.0×10-6-2.0×10-4mol,具有很好的线性相关,线性相关系数为0.... 一种用于快速检测过氧化氢的电流型生物传感器。将氧化还原聚合物滴在塑料基片上溅射的金薄膜工作电极上形成一层对过氧化氢的敏感膜。实验结果表明,该生物传感器在1.0×10-6-2.0×10-4mol,具有很好的线性相关,线性相关系数为0.999(n=9),灵敏度为0.6A/(mol·cm2),检出限为1μMH2O2,稳定性好且批量制备的传感器之间一致性好([CV]=4.2%),因此,该方法能够用于批量制备低成本的生物传感器。 展开更多
关键词 氧化还原聚合物 电子媒介体 过氧化氢 生物传感器
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用于氨氮检测的三维微纳氨气传感芯片及系统研究 被引量：1
18
作者 卞贺明 边超 +4 位作者 佟建华 孙楫舟 张虹 韩泾鸿 夏善红 《电子与信息学报》 EI CSCD 北大核心 2012年第5期1257-1262,共6页
该文设计并制备了一种多层微结构的安培型氨气三维微纳传感芯片,并构建了以此微传感芯片为敏感单元的氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感芯片采用微纳加工工艺制备,使用聚合物键合工艺在较低温度下实... 该文设计并制备了一种多层微结构的安培型氨气三维微纳传感芯片,并构建了以此微传感芯片为敏感单元的氨氮检测系统,探索了使用安培型氨气微传感器检测氨氮的方法。该微传感芯片采用微纳加工工艺制备,使用聚合物键合工艺在较低温度下实现了微传感器多层结构的封装。使用纳米铱作为传感器的敏感材料,其具有良好的电催化氧化能力,可使传感器具有较高的灵敏度。对Ag/AgCl微参比电极的稳定性进行了考察。使用自行设计的氨氮检测系统对氨氮样品进行检测,对微传感器的时间响应特性、浓度响应特性、重复性及选择性进行了测试和分析。实验结果表明,在0.5~10 mg/L的测试范围内,检测电流与氨氮浓度保持良好的线性,灵敏度为1.62μA/（mg/L）,线性相关系数为0.995,重复性偏差为5.73%。同时,传感器显示出良好的选择性。 展开更多
关键词 微型电化学氨气传感器 三维微纳器件 水质监测 氨氮
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热驱动微型电场传感器干燥技术 被引量：1
19
作者 郭鑫 杨鹏飞 +2 位作者 张海岩 彭春荣 夏善红 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第6期786-790,共5页
介绍了热驱动微型电场传感器的工艺流程,主要介绍了微型电场传感器的释放干燥工艺。热驱动微型电场传感器工艺存在的最大问题是牺牲层释放以后容易产生粘连,为了避免粘连现象的产生,采用了不同的干燥方法,如蒸发干燥法、CO2临界点干燥... 介绍了热驱动微型电场传感器的工艺流程,主要介绍了微型电场传感器的释放干燥工艺。热驱动微型电场传感器工艺存在的最大问题是牺牲层释放以后容易产生粘连,为了避免粘连现象的产生,采用了不同的干燥方法,如蒸发干燥法、CO2临界点干燥法、自组装膜方法,并对这些方法的优缺点进行了比较。对不同干燥方法制备的热驱动微型电场传感器的性能进行了测试,得到自组装膜法制备的热驱动微型电场传感器具有更好的灵敏度。 展开更多
关键词 电场传感器 粘连现象 临界点干燥 自组装膜
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基于MEMS技术微型静电场传感器系统设计与研制 被引量：1
20
作者 刘世国 彭春荣 +1 位作者 陈贤禅 夏善红 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2009年第B11期326-327,共2页
针对基于MEMS技术的微型静电场传感器的输出信号微弱、信噪比低等特点,采用高精度运算放大器和直接数字合成器芯片设计出了一种基于封装小但没有浮点运算器的单片机的微型静电场传感器系统,并通过一定的算法解决了单片机运算能力弱的问... 针对基于MEMS技术的微型静电场传感器的输出信号微弱、信噪比低等特点,采用高精度运算放大器和直接数字合成器芯片设计出了一种基于封装小但没有浮点运算器的单片机的微型静电场传感器系统,并通过一定的算法解决了单片机运算能力弱的问题,最终整个系统的测试精度能达到5%,分辨率能达到500 V/m,检测时间小于1 s. 展开更多
关键词 微型静电场传感器 微弱信号 相关检测
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