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室温磁制冷材料的研究现状及发展前景 被引量:5
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作者 包立夫 武荣荣 张虎 《材料导报》 EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期17-22,共6页
制冷业耗能占社会总耗能的15%以上。目前普遍使用的气体压缩制冷技术的卡诺循环效率最高仅为25%左右,而且气体压缩制冷中使用的气体制冷剂会破坏大气臭氧层并引起温室效应。探求无污染、绿色环保的制冷材料和研发新型低能耗、高效率的... 制冷业耗能占社会总耗能的15%以上。目前普遍使用的气体压缩制冷技术的卡诺循环效率最高仅为25%左右,而且气体压缩制冷中使用的气体制冷剂会破坏大气臭氧层并引起温室效应。探求无污染、绿色环保的制冷材料和研发新型低能耗、高效率的制冷技术是当今世界需要迫切解决的问题。磁制冷技术具有绿色环保、高效节能、稳定可靠的特点,近些年来已经引起世界范围的广泛关注。具有磁热效应的材料是磁制冷技术的关键。重点综述了当今室温磁热材料的研究现状。为了使该项技术走向工业化和实用化的道路,提出改进并优化磁制冷工质的性能是未来的研究方向。 展开更多
关键词 磁热效应 磁制冷 磁熵变 磁热材料
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(Nd_(1-x)Y_x)_3Fe_(27.31)Ti_(1.69)化合物的结构与磁性研究 被引量:1
2
作者 王文全 张惜锋 +5 位作者 苏峰 王向群 杜晓波 金汉民 杨伏明 吴光恒 《高等学校化学学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2003年第1期13-16,共4页
制备了 ( Nd1 - x Yx) 3 Fe2 7.3 1 Ti1 .69( 0≤ x≤ 0 .6 )系列化合物 ,通过 X射线衍射和磁性测量等手段研究了它们的结构和磁性 .这些化合物均为 Nd3 ( Fe,Ti) 2 9型结构 ,A2 /m空间群 .化合物晶胞体积随 Y含量增加而单调减少 ,居里... 制备了 ( Nd1 - x Yx) 3 Fe2 7.3 1 Ti1 .69( 0≤ x≤ 0 .6 )系列化合物 ,通过 X射线衍射和磁性测量等手段研究了它们的结构和磁性 .这些化合物均为 Nd3 ( Fe,Ti) 2 9型结构 ,A2 /m空间群 .化合物晶胞体积随 Y含量增加而单调减少 ,居里温度 Tc随 Y含量增加略有降低 ,说明化合物的居里温度主要由 Fe-Fe之间的交换相互作用所决定 .温度为 5 K时 ,饱和磁化强度 Ms 随 Y含量的增加而单调降低 ,与一个简单的稀释模型预期结果一致 .所得化合物在低温下均发生自旋重取向 ,自旋重取向温度 Tsr随 Y含量增加而单调降低 ,从 x=0时的2 32 K减小到 x=0 .6时的 1 2 1 K.基于磁晶各向异性的研究结果确定了所得化合物的自旋相图 . 展开更多
关键词 (Nd1-xYx)3Fe27.31Ti1.69 磁性 居里温度 磁晶各向异性 稀土磁性材料
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用Rietica处理中子粉末衍射实验数据的方法 被引量:1
3
作者 张莉 陈东风 +5 位作者 薛艳杰 张百生 王光军 李庆安 鲁毅 成昭华 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 2004年第6期551-553,共3页
介绍了基于Rietveld轮廓精修方法的粉末衍射轮廓精修程序Rietica处理中子粉末衍射数据的方法,并以钙钛矿锰氧化物La0.69Ca0.31Mn0.96Fe0.04O3的拟合过程为例,具体说明了输入参数文件和数据文件的编写方法和程序运行方法。
关键词 中子粉末衍射 Rietveld轮廓精修 Rietica执行程序 钙钛矿锰氧化物
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金属单晶生长和相关物理工作的结合 被引量:1
4
作者 吴光恒 陈京兰 +2 位作者 王文洪 柳祝红 张铭 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2002年第3期283-287,共5页
从近几年的工作结果中总结了一些单晶生长和物理研究相结合的体会。在基础研究中 ,单晶生长工作仍具有本身的优势和特点。单晶样品促进了物理的深入 ,物理工作也帮助了生长方法的提高。积极参与物理问题的研究 ,可以具有材料制备和基础... 从近几年的工作结果中总结了一些单晶生长和物理研究相结合的体会。在基础研究中 ,单晶生长工作仍具有本身的优势和特点。单晶样品促进了物理的深入 ,物理工作也帮助了生长方法的提高。积极参与物理问题的研究 ,可以具有材料制备和基础研究两方面的能力。物理工作对材料科学的指导意义可以使我们的单晶生长事半功倍。 展开更多
关键词 金属 单晶生长 金属 磁性
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La_(1-x)Ca_xMn_(0.96)Fe_(0.04)O_3(x=0.31、0.5、0.6)的中子衍射研究
5
作者 张莉 薛艳杰 +6 位作者 张百生 陈娜 陈东风 成昭华 鲁毅 李庆安 邸乃力 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第4期402-405,共4页
利用Rietveld分析方法对钙钛矿锰氧化物La1-xCaxMn0.96Fe0.04O3(x=0.31、0.5、0.6)室温下中子衍射实验数据进行拟合。结果表明,La1-xCaxMn0.96Fe0.04O3化合物具有MnO6八面体,空间群为Pnma,La(Ca)原子占据4c晶位,Mn(Fe)原子占据4b晶位,O... 利用Rietveld分析方法对钙钛矿锰氧化物La1-xCaxMn0.96Fe0.04O3(x=0.31、0.5、0.6)室温下中子衍射实验数据进行拟合。结果表明,La1-xCaxMn0.96Fe0.04O3化合物具有MnO6八面体,空间群为Pnma,La(Ca)原子占据4c晶位,Mn(Fe)原子占据4b晶位,O原子分别占据4c和8d晶位。根据拟合结果,计算出Mn O键的键长和Mn O Mn的键角,并对该系列样品结构和磁性能间的关系进行了简单讨论。 展开更多
关键词 中子粉末衍射 晶体结构 磁结构
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La2/3Ca1/3Mn1-xCrxO3(x=0.0,0.1)晶体结构的中子衍射研究
6
作者 李峻宏 薛艳杰 +3 位作者 陈娜 陈东风 石峰军 王芳卫 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第11期980-983,共4页
采用传统高温固相反应法合成钙钛矿型多晶样品。在室温下分别测量了La2/3Ca1/3Mn1-xCrxO3(x=0.0,0.1)的中子粉末衍射谱,采用Rietveld峰形精修方法对衍射数据进行拟合,得到样品晶胞参数和原子坐标,根据原子坐标计算了与稀土锰氧化物宏观... 采用传统高温固相反应法合成钙钛矿型多晶样品。在室温下分别测量了La2/3Ca1/3Mn1-xCrxO3(x=0.0,0.1)的中子粉末衍射谱,采用Rietveld峰形精修方法对衍射数据进行拟合,得到样品晶胞参数和原子坐标,根据原子坐标计算了与稀土锰氧化物宏观磁性能密切相关的锰氧键的键长和键角。 展开更多
关键词 中子衍射 钙钛矿型锰氧化物 晶体结构
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磁光存储介质的研究
7
作者 周勋 王海 +3 位作者 梁冰清 王荫君 唐云俊 杨占民 《贵州师范大学学报(自然科学版)》 CAS 2001年第3期93-96,共4页
从硬磁盘的存储出发讨论了磁光存储的现状和未来发展。分析了第一代、第二代磁光存储介质的理论和应用的研究状况 ,说明磁和磁光存储在信息存储中的应用潜力。
关键词 垂直各向异性 矫顽力 多层膜 克尔角 磁光存储介质 硬磁盘
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(Er_(0.8)Y_(0.2))_2Fe_(17)C_x的磁性和穆斯堡尔谱研究
8
作者 赵振杰 周荣洁 +2 位作者 刁训刚 沈保根 李发伸 《兰州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 1998年第2期31-35,共5页
利用快淬手段制备了高碳含量间隙化合物(Er0.8Y0.2)2Fe17Cx,利用57Fe穆斯堡尔谱分析了77K和室温下化合物中各铁晶位及平均超精细场随碳含量的变化,并研究了化合物的自旋再取向现象,自旋再取向温度随碳含量... 利用快淬手段制备了高碳含量间隙化合物(Er0.8Y0.2)2Fe17Cx,利用57Fe穆斯堡尔谱分析了77K和室温下化合物中各铁晶位及平均超精细场随碳含量的变化,并研究了化合物的自旋再取向现象,自旋再取向温度随碳含量增加而升高. 展开更多
关键词 稀土永磁材料 磁性 穆斯堡尔谱
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室温铁磁性Ni^(2+)掺杂TiO_2纳米带的制备与表征(英文) 被引量:12
9
作者 张宏晔 嵇天浩 +5 位作者 李玲龙 齐兴义 刘奕帆 蔡建旺 杜海燕 孙家跃 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2008年第4期607-611,共5页
通过水热离子交换方法,制得不同含量的过渡金属离子Ni2+掺杂的、锐钛矿型的TiO2纳米带.使用X射线衍射(XRD),扫描电子显微镜(SEM),透射电子显微镜(TEM),高分辨透射电子显微镜(HRTEM),X射线光电子能谱(XPS),傅立叶变换红外(FTIR)光谱和磁... 通过水热离子交换方法,制得不同含量的过渡金属离子Ni2+掺杂的、锐钛矿型的TiO2纳米带.使用X射线衍射(XRD),扫描电子显微镜(SEM),透射电子显微镜(TEM),高分辨透射电子显微镜(HRTEM),X射线光电子能谱(XPS),傅立叶变换红外(FTIR)光谱和磁性测试等手段对样品进行了详尽的表征.结果表明,经过离子交换,Ni2+离子进入到了TiO2纳米带的晶格中,其中并没有形成金属Ni团簇或纳米颗粒.此外,磁性测试的结果表明,实验制备的Ni-TiO2样品具有室温铁磁性和磁滞回线特性,并且,由于TiO2纳米带中Ni2+离子有较好的分散性,在相同的外磁场条件下,样品的磁化强度随着掺杂Ni2+含量的增加而增大. 展开更多
关键词 稀磁半导体 纳米带 Ni-掺杂氧化钛 室温铁磁性
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Tb_(0.3)Dy_(0.7)(Fe_(1-x)Al_x)_(1.95)合金的磁性、磁致伸缩和Mssbauer 被引量:3
10
作者 郑小平 张佩峰 +2 位作者 李发伸 成昭华 沈保根 《兰州大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2007年第3期101-105,共5页
系统研究了室温下Tb0.3Dy0.7(Fe1-xAlx)1.95(x=0,0.05,0.1,0.15,0.2,0.25,0.3,0.35)合金中金属Al替代Fe对磁性、磁致伸缩、自旋重取向和穆斯堡尔谱的影响.结果发现,x<0.4时,Tb0.3Dy0.7 (Fe1-xAlx)1.95完全保持MgCu2立方... 系统研究了室温下Tb0.3Dy0.7(Fe1-xAlx)1.95(x=0,0.05,0.1,0.15,0.2,0.25,0.3,0.35)合金中金属Al替代Fe对磁性、磁致伸缩、自旋重取向和穆斯堡尔谱的影响.结果发现,x<0.4时,Tb0.3Dy0.7 (Fe1-xAlx)1.95完全保持MgCu2立方Laves相结构.磁化强度和磁致伸缩测量发现,x<0.15时,添加少量Al有助于减小磁晶各向异性,并且随着Al替代量x增加,磁致伸缩λs、内禀磁致伸缩λ111和Curie温度Tc大幅度降低.多功能磁性测量系统PPMS的研究和Mossbauer效应表明,Tb0.3Dy0.7(Fe1-xAlx)1.95合金的易磁化方向随成分和温度在{110}面逐渐偏离了立方晶体的主对称轴,即自旋重取向.室温下,当x=0.15时,Tb0.3Dy0.7(Fe1-xAlx)1.95合金中出现了少量非磁性相;x>0.15时,该合金完全呈顺磁性;而77K温度下x=0.2时合金仍然呈磁性相. 展开更多
关键词 磁致伸缩 立方Laves相 自旋重取向 磁晶各向异性
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高精度金属薄膜磁电阻效应测试系统 被引量:2
11
作者 王立锦 于广华 +1 位作者 赖武彦 朱逢吾 《仪器仪表学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1257-1261,共5页
概述了探针法金属薄膜磁电阻效应测试的原理;分析了探针因子对测量结果的影响;设计组装了金属薄膜磁电阻效应的高精度测试系统,并给出了微机控制软件的关键子程序。该系统集数据采样、数据处理、参数计算等功能于一体,用户界面友好、测... 概述了探针法金属薄膜磁电阻效应测试的原理;分析了探针因子对测量结果的影响;设计组装了金属薄膜磁电阻效应的高精度测试系统,并给出了微机控制软件的关键子程序。该系统集数据采样、数据处理、参数计算等功能于一体,用户界面友好、测试范围宽、精度高。系统软件还能显示和打印测量结果的数据曲线,并可生成标准数据文件供OR IG IN等数据处理软件调用。 展开更多
关键词 金属薄膜 磁电阻效应 C语言 计算机辅助测试 IEEE-488
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溶液中细胞色素b6f的原子力显微镜和扫描隧道显微镜观测 被引量:2
12
作者 李辉 苏贵金 +5 位作者 李宾兴 李晓东 林毅 万立骏 李良璧 韩宝善 《电子显微学报》 CAS CSCD 北大核心 2004年第6期658-662,共5页
本文用原子力显微镜(atomicforcemicroscope,AFM)和扫描隧道显微镜(scanningtunnelingmicroscope,STM)在Tricine NaOH OG缓冲溶液中研究了细胞色素b6f(Cytochromeb6f,Cytb6f)在固体表面上的吸附形态。首先用AFM观察了吸附在云母表面上的... 本文用原子力显微镜(atomicforcemicroscope,AFM)和扫描隧道显微镜(scanningtunnelingmicroscope,STM)在Tricine NaOH OG缓冲溶液中研究了细胞色素b6f(Cytochromeb6f,Cytb6f)在固体表面上的吸附形态。首先用AFM观察了吸附在云母表面上的Cytb6f复合体,观察到了分散较好的蛋白质颗粒。进一步用高分辨率的电化学STM(EC STM)观察了吸附在Au(111)表面上的Cytb6f分子,在浓度较低时发现了其二聚体的吸附形态,而在浓度较高时Cytb6f分子在Au(111)表面聚集成薄膜。 展开更多
关键词 细胞色素 b6f 二聚体 原子力显微镜 扫描隧道显微镜
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磁电子学器件应用原理 被引量:47
13
作者 蔡建旺 《物理学进展》 CSCD 北大核心 2006年第2期180-227,共48页
本文介绍几种重要的磁电子器件的基本结构和工作原理,包括巨磁电阻与隧穿磁电阻传感器、巨磁电阻隔离器、巨磁电阻与隧穿磁电阻硬盘读出磁头、磁电阻随机存取存储器、自旋转移磁化反转与微波振荡器。自旋晶体管作为未来磁电子学或自旋... 本文介绍几种重要的磁电子器件的基本结构和工作原理,包括巨磁电阻与隧穿磁电阻传感器、巨磁电阻隔离器、巨磁电阻与隧穿磁电阻硬盘读出磁头、磁电阻随机存取存储器、自旋转移磁化反转与微波振荡器。自旋晶体管作为未来磁电子学或自旋电子学时代的基本元素,目前大都还处在概念型阶段,本文也将对几种自旋晶体管的大致原理作简要介绍。 展开更多
关键词 凝聚态物理学 磁电子学器件 综述 巨磁电阻 隧穿磁电阻 自旋转移
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Tb_2Fe_(17)和Tb_2(Fe,Si)_(17)磁性单晶的生长和相图 被引量:1
14
作者 陈京兰 孟丽琴 +3 位作者 赵德乾 高书侠 杜江 吴光恒 《人工晶体学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2001年第2期192-197,共6页
利用磁悬浮冷坩埚提拉法技术生长了Tb2 Fe17和Tb2 (Fe ,Si) 17的单晶 ,并用差热分析等方法研究了材料的相图。研究结果表明 :Tb2 Fe17的相关系并非以往报道的包晶反应 ,而是同成分熔化。本文还给出了Tb2 Fe17化合物附近的新相图。采用... 利用磁悬浮冷坩埚提拉法技术生长了Tb2 Fe17和Tb2 (Fe ,Si) 17的单晶 ,并用差热分析等方法研究了材料的相图。研究结果表明 :Tb2 Fe17的相关系并非以往报道的包晶反应 ,而是同成分熔化。本文还给出了Tb2 Fe17化合物附近的新相图。采用优化后的生长条件 ,获得了缺陷较少的Tb2 Fe17和Tb2 (Fe ,Si) 17高质量单晶。分析了Si替代对于化合物结构的影响。测量了Tb2 Fe17单晶样品的基本磁性。从材料的一级磁化过程的测量可以看出 ,在理想配比条件下最容易获得缺陷密度低的单晶样品。这种磁性测量方法为了解单晶的完整性提供了一个有效的间接观察方法。 展开更多
关键词 Tb2Fe17 Tb2(Fe Si)17 提拉法 单晶生长 相图 磁性测量
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原子力显微镜拉伸吸附在金膜表面的短单链DNA分子(英文) 被引量:1
15
作者 李辉 曹恩华 +1 位作者 韩宝善 靳刚 《生物化学与生物物理进展》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2005年第12期1173-1177,共5页
对单根DNA分子的操纵和拉伸可以直接研究DNA的弹性等力学性质.首先通过将金沉积到云母表面制备了表面粗糙度小于0.3nm的金膜,然后一段硫代的单链DNA(100bases)吸附到金膜表面.利用原子力显微镜观察不同浓度的DNA吸附在金膜上的表面形貌... 对单根DNA分子的操纵和拉伸可以直接研究DNA的弹性等力学性质.首先通过将金沉积到云母表面制备了表面粗糙度小于0.3nm的金膜,然后一段硫代的单链DNA(100bases)吸附到金膜表面.利用原子力显微镜观察不同浓度的DNA吸附在金膜上的表面形貌.进一步用原子力显微镜的力曲线模式拉伸DNA分子,在50%的情况下DNA可以被针尖拉伸,观察到了由于针尖和DNA分子间作用力的不同导致的多种不同力曲线. 展开更多
关键词 金膜 DNA 原子力显微镜 单分子力谱
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Nd_(0.5)Sr_(0.4)Pb_(0.1)Mn_(0.96)Fe_(0.04)O_3微观结构的中子衍射
16
作者 薛艳杰 张莉 +5 位作者 陈娜 肖红文 陈东风 鲁毅 李庆安 成昭华 《原子能科学技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2005年第5期395-398,共4页
采用固相反应法制备了混价钙钛矿型锰氧化物多晶样品Nd0.5Sr0.4Pb0.1Mn0.96Fe0.04O3,在室温下进行了中子粉末衍射测量并用Rietveld峰形精修程序Fullprof2k对实验数据进行了拟合。结果表明:Nd0.5Sr0.4Pb0.1Mn0.96Fe0.04O3样品具有正交的G... 采用固相反应法制备了混价钙钛矿型锰氧化物多晶样品Nd0.5Sr0.4Pb0.1Mn0.96Fe0.04O3,在室温下进行了中子粉末衍射测量并用Rietveld峰形精修程序Fullprof2k对实验数据进行了拟合。结果表明:Nd0.5Sr0.4Pb0.1Mn0.96Fe0.04O3样品具有正交的GdFeO3型结构,空间群为Pnma,Nd(Sr、Pb)原子占据4c晶位,Mn(Fe)原子占据4b晶位,O原子分别占据4c和8d两个不等价的晶位,并得到了MnO6八面体中Mn—O—Mn键角和Mn—O键的键长。 展开更多
关键词 钙钛矿型锰氧化物 中子粉末衍射 晶体结构
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界面掺杂FeMn对CoFe/CrPt交换偏置体系的影响
17
作者 代波 蔡健旺 赖武彦 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第5期727-729,733,共4页
采用磁控溅射的方法制备了CoFe/CrPt钉扎的交换偏置体系,用外加磁场真空退火以获得钉扎场。通过把反铁磁的FeMn掺入到该钉扎体系中发现,约0.7nm厚度的FeMn掺入在CoFe/CrPt的界面时,可以使体系的钉扎场从原来的5.6×103A/m增加到1.55... 采用磁控溅射的方法制备了CoFe/CrPt钉扎的交换偏置体系,用外加磁场真空退火以获得钉扎场。通过把反铁磁的FeMn掺入到该钉扎体系中发现,约0.7nm厚度的FeMn掺入在CoFe/CrPt的界面时,可以使体系的钉扎场从原来的5.6×103A/m增加到1.55×104A/m,而体系的Blocking温度仍然可以达到600℃。 展开更多
关键词 交换偏置 钉扎场 反铁磁
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铟替代部分锗对锰钴锗合金磁结构相变及磁热效应的影响
18
作者 包立夫 武荣荣 张虎 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2016年第5期67-71,76,共6页
为研究铟替代部分锗对锰钴锗合金磁结构相变与磁热效应的影响,采用电弧熔炼方法制备了Mn_1Co_1Ge_1和Mn_1Co_1Ge_(0.99)In_(0.01)合金,研究了这两种合金的物相、相变和磁热效应,以及升、降温测试方式得到的Mn_1Co_1Ge_(0.99)In_(0.01)... 为研究铟替代部分锗对锰钴锗合金磁结构相变与磁热效应的影响,采用电弧熔炼方法制备了Mn_1Co_1Ge_1和Mn_1Co_1Ge_(0.99)In_(0.01)合金,研究了这两种合金的物相、相变和磁热效应,以及升、降温测试方式得到的Mn_1Co_1Ge_(0.99)In_(0.01)合金的磁化曲线。结果表明:铟替代部分锗后,合金中并未产生杂相,其相变特性由二级磁相变变为一级磁结构相变;Mn_1Co_1Ge_(0.99)In_(0.01)合金在不同的相变方向上具有不同的磁滞后行为;升温测试时,Mn_1Co_1Ge_(0.99)In_(0.01)合金在5,7T磁场强度下的磁熵变峰值分别为52.2,64.1J·kg^(-1)·K^(-1),降温测试时的磁熵变峰值分别为40.8,50.9J·kg^(-1)·K^(-1);升温测试时,Mn_1Co_1Ge_(0.99)In_(0.01)合金在7T磁场强度下的制冷能力为477J·kg^(-1),降温测试时为264.4J·kg^(-1)。 展开更多
关键词 锰钴锗合金 磁热效应 磁结构相变 制冷能力
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铁磁形状记忆合金Mn_(2+x)NiGa的室温组织结构特征 被引量:1
19
作者 马晓东 杜志伟 +4 位作者 刘恩克 吴光恒 韩小磊 付新 熊竟成 《中国有色金属学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期758-764,共7页
采用X射线衍射分析与透射电子显微分析相结合的方法,对铁磁形状记忆合金Mn2+xNiGa(x=0,0.02,0.06)室温下微观组织结构进行研究。XRD结果表明:3种合金在室温下主要为奥氏体相。TEM以及HREM观察发现Mn含量对合金母相的微观组织形态有很大... 采用X射线衍射分析与透射电子显微分析相结合的方法,对铁磁形状记忆合金Mn2+xNiGa(x=0,0.02,0.06)室温下微观组织结构进行研究。XRD结果表明:3种合金在室温下主要为奥氏体相。TEM以及HREM观察发现Mn含量对合金母相的微观组织形态有很大影响,在Mn2NiGa合金基体中存在Ni2In型六角结构的MnNiGa相;除存在MnNiGa相外,Mn2.02NiGa合金基体中还出现了少量层状无调制结构马氏体相;Mn2.06NiGa合金中不存在MnNiGa相,基体中有大量的无调制马氏体。HREM观察发现,3种合金在室温下都存在局域的晶格畸变,这种晶格畸变形成纳米尺度微畴,具有应变玻璃相的特征。 展开更多
关键词 铁磁形状记忆合金 Mn2NiGa 马氏体相变 显微组织
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全息光刻-离子束刻蚀制作磁性亚微米结构 被引量:1
20
作者 张自军 徐向东 +6 位作者 刘颖 邱克强 付绍军 洪义麟 郭玉献 徐鹏寿 蔡建旺 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第6期493-497,共5页
激光干涉制作亚微米尺寸磁性周期结构中,基底材料具有高反射率,由于垂直驻波的影响,光刻胶浮雕图形侧壁产生"束腰",本文将O2反应离子刻蚀引入到制作工艺中,对光刻胶图形进行修正,获得了很好的效果,具有工艺简单、可控性好等... 激光干涉制作亚微米尺寸磁性周期结构中,基底材料具有高反射率,由于垂直驻波的影响,光刻胶浮雕图形侧壁产生"束腰",本文将O2反应离子刻蚀引入到制作工艺中,对光刻胶图形进行修正,获得了很好的效果,具有工艺简单、可控性好等特点。以50nm厚的由磁控溅射生长的Ta/Co0.9Fe0.1/Ta薄膜为基底,采用激光干涉光刻结合离子束刻蚀转移图形的方式,制作出了特征尺寸为330nm Co0.9Fe0.1亚微米周期结构,并采用SQUID的技术对其磁滞回线进行了研究。 展开更多
关键词 光刻胶灰化 全息光刻 垂直驻波 磁性微结构
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