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纳米多孔SiO_2薄膜的结构控制与强化
被引量：
11
1
作者
吴广明
陈炎
+1 位作者
沈军
周斌
《同济大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期836-840,共5页
报道了采用溶胶 -凝胶技术 ,结合碱 /酸两步催化和氨与水蒸气混合气体热处理技术 ,成功地制备了高孔隙率、耐磨和附着力好的纳米多孔SiO2 薄膜 .使用透射电镜 (TEM )、扫描电镜 (SEM)、原子力显微镜、椭偏仪等方法测量和分析了薄膜的特...
报道了采用溶胶 -凝胶技术 ,结合碱 /酸两步催化和氨与水蒸气混合气体热处理技术 ,成功地制备了高孔隙率、耐磨和附着力好的纳米多孔SiO2 薄膜 .使用透射电镜 (TEM )、扫描电镜 (SEM)、原子力显微镜、椭偏仪等方法测量和分析了薄膜的特性 .实验结果表明 :通过控制实验条件实现了SiO2 纳米结构的人工控制 ,形成的薄膜折射率在 1.18～1.4 1之间连续可调 ;采用碱 /酸两步催化法明显提高了薄膜的力学性能 ,混合气体中的热处理进一步改善了薄膜的力学性能 ;薄膜增强归因于SiO2
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关键词
溶胶-凝胶技术
SI02
薄膜
纳米多孔结构
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职称材料
题名
纳米多孔SiO_2薄膜的结构控制与强化
被引量：
11
1
作者
吴广明
陈炎
沈军
周斌
机构
同济大学波耳固体物理研究所
上海声像出版社
出处
《同济大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第6期836-840,共5页
基金
国家自然科学基金重点资助项目 ( 2 0 13 3 0 40 )
国家"八六三"高技术研究发展计划资助项目 ( 2 0 0 2AA842 0 5 2 )
+2 种基金
上海市重点学科建设基金资助项目
上海市自然科学基金资助项目 ( 0 2ZE14 10 1)
上海市纳米技术与产业发展促进中心资助项目( 0 3 5 2nm0 43
文摘
报道了采用溶胶 -凝胶技术 ,结合碱 /酸两步催化和氨与水蒸气混合气体热处理技术 ,成功地制备了高孔隙率、耐磨和附着力好的纳米多孔SiO2 薄膜 .使用透射电镜 (TEM )、扫描电镜 (SEM)、原子力显微镜、椭偏仪等方法测量和分析了薄膜的特性 .实验结果表明 :通过控制实验条件实现了SiO2 纳米结构的人工控制 ,形成的薄膜折射率在 1.18～1.4 1之间连续可调 ;采用碱 /酸两步催化法明显提高了薄膜的力学性能 ,混合气体中的热处理进一步改善了薄膜的力学性能 ;薄膜增强归因于SiO2
关键词
溶胶-凝胶技术
SI02
薄膜
纳米多孔结构
Keywords
sol-gel process
SiO 2 thin films
nano-porous structure
分类号
O484.4 [理学—固体物理]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
纳米多孔SiO_2薄膜的结构控制与强化
吴广明
陈炎
沈军
周斌
《同济大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
11
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