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考虑边缘效应的平行平板式静电微执行器Pull-in模型被引量：7: 1; 作者方玉明李普《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期848-852,共5页; 在MEMS执行器的设计中,求出准确的Pull-in参数是至关重要的。在过去的研究中,对于漏电场不能忽略的平行平板式静电微执行器,通常只能采用有限元法数值求解。但是,有限元法繁琐、费时而且不直观。平行平板电容器的漏电容解析模型通常有两... 展开更多; 关键词 MEMS pull-in 微执行器边缘效应; 在线阅读下载PDF 职称材料

静电微梁器件的降阶模型及其动态Pull-in不稳定性研究被引量：1: 2; 作者林谢昭胡振明黄健萌《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第5期89-91,102,共4页; 微器件的设计需要利用计算机技术快速准确仿真其动态特性。以器件中结构件的模态振型函数作为基函数,结合Galerkin映射建立静电-结构耦合微梁器件的自由度缩减模型,该降阶模型能考虑初始轴向载荷、大变形几何非线性效应对器件基频及动... 展开更多; 关键词 pull-in不稳定性模态分析 Galerkin映射静电驱动; 在线阅读下载PDF 职称材料

衔铁平行运动的磁微执行器Pull-in机理分析被引量：1: 3; 作者方玉明李伟华《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期471-475,共5页; 与静电微执行器类似,磁微执行器中也存在重要的Pull-in失稳问题。但相对于静电微执行器详尽的模型相比,研究磁微执行器的文献很少。对于宏观器件,由于磁芯磁阻可以忽略,所以可利用电磁类比,得到Pull-in失稳参数。而对于微观器件,磁芯磁... 展开更多; 关键词 MEMS 磁微执行器 pull-in; 在线阅读下载PDF 职称材料

尺度依赖的静电驱动各向异性微板的Pull-in效应被引量：1: 4; 作者马云龙乔瑞贺丹《应用力学学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第3期1030-1035,I0008,共7页; 在新修正偶应力理论的基础上建立了一种可用于分析静电驱动各向异性微板的尺度依赖模型。模型中包含有两个材料尺度参数,在考虑材料宏观各向异性的同时也考虑了微观各向异性程度对结构Pull-in特性的影响。通过虚功原理推导了静电驱动微... 展开更多; 关键词修正偶应力理论静电驱动微板 pull-in电压材料尺度参数尺度效应; 在线阅读下载PDF 职称材料

考虑漏磁效应的平行平板式磁微执行器Pull-in模型: 5; 作者郄军建方玉明徐琳《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期448-451,共4页; Pull-in参数是设计磁微执行器时需要考虑的一项重要参数。研究漏磁效应对Pull-in参数的影响时,通常采用有限元法求数值解,需要反复重新建模,工作量大,因而需要一个解析模型。对于平行平板式磁微执行器,给出了详细的漏磁阻模型。将漏磁... 展开更多; 关键词 pull-in 磁微执行器漏磁阻耦合场分析有限元法; 在线阅读下载PDF 职称材料

MEMS穿孔板微执行器动态Pull-in特性分析: 6; 作者季莅莅方玉明 +2 位作者孜乃提古丽.布尔汉戚举艾昕晨《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期1311-1315,共5页; 本文基于穿孔板静电微执行器的基本模型,在忽略和考虑压膜阻尼效应的两种情况下,采用能量法推导了静电微执行器的动态Pull-in参数公式,并结合ANSYS软件得到动态Pull-in参数的仿真值。通过对比两种情况下的Pull-in电压和Pull-in位移,得... 展开更多; 关键词静电微执行器动态 pull-in参数 ANSYS 压膜阻尼效应; 在线阅读下载PDF 职称材料

微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计被引量：1: 7; 作者刘军李海华王庆康《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期1675-1679,共5页; 基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法... 展开更多; 关键词扭臂式静电驱动微执行器力矩法 pull-in电压力电耦合分析方法; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名考虑边缘效应的平行平板式静电微执行器Pull-in模型被引量：7: 1; 作者方玉明李普; 机构南京邮电大学电子科学与工程学院东南大学机械工程学院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2011年第6期848-852,共5页; 基金国家自然科学基助项目(60806036 51075072) +1 种基金 2010年度江苏省高校"青蓝工程"; 文摘在MEMS执行器的设计中,求出准确的Pull-in参数是至关重要的。在过去的研究中,对于漏电场不能忽略的平行平板式静电微执行器,通常只能采用有限元法数值求解。但是,有限元法繁琐、费时而且不直观。平行平板电容器的漏电容解析模型通常有两种:一种简单的;一种详细的。基于这两种漏电容解析模型,分别导出了漏电场不能忽略的平行平板式微执行器的Pull-in失稳方程,并将求解结果与ANSYS耦合场分析结果做了对比。结果表明,基于详细漏电容模型的结果精度良好,而且相对误差不随着极板间距的增大而增大。基于简单漏电容模型的结果精度太低,尤其在极板间距较大时。; 关键词 MEMS pull-in 微执行器边缘效应; Keywords MEMS pull-in microactuators fringing field effect; 分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名静电微梁器件的降阶模型及其动态Pull-in不稳定性研究被引量：1: 2; 作者林谢昭胡振明黄健萌; 机构福州大学机械工程及自动化学院; 出处《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2016年第5期89-91,102,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(51205062) 福建省自然科学基金资助项目(2013J01182); 文摘微器件的设计需要利用计算机技术快速准确仿真其动态特性。以器件中结构件的模态振型函数作为基函数,结合Galerkin映射建立静电-结构耦合微梁器件的自由度缩减模型,该降阶模型能考虑初始轴向载荷、大变形几何非线性效应对器件基频及动态特性的影响。在Simulink中建立单模态模型,并对器件的Pull-in过程进行动态仿真,分析了有阻尼和无阻尼情况下,静电器件动态Pull-in的分叉现象。; 关键词 pull-in不稳定性模态分析 Galerkin映射静电驱动; Keywords pull-in instability mode analysis method Galerkin＇s decomposition electrostatically actuated; 分类号 TH16 [机械工程—机械制造及自动化]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名衔铁平行运动的磁微执行器Pull-in机理分析被引量：1: 3; 作者方玉明李伟华; 机构南京邮电大学电子科学与工程学院东南大学MEMS教育部重点实验室; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2009年第4期471-475,共5页; 基金国家"八六三"计划项目资助(2006AA04z302) 国家自然科学基金项目资助(60806036) 江苏省高校自然科学研究计划资助项目(08KJB510014); 文摘与静电微执行器类似,磁微执行器中也存在重要的Pull-in失稳问题。但相对于静电微执行器详尽的模型相比,研究磁微执行器的文献很少。对于宏观器件,由于磁芯磁阻可以忽略,所以可利用电磁类比,得到Pull-in失稳参数。而对于微观器件,磁芯磁阻不可以忽略,不可利用电磁类比。基于小信号模型对衔铁平行运动的磁微执行器Pull-in的失稳现象首先进行了分析和建模,考虑了微磁芯磁阻,在建立磁微执行器动态小信号模型的基础上,分析发现衔铁平行运动的磁微执行器中不存在Pull-in现象。然后又采用能量法研究了同样的Pull-in失稳问题,得出了和力法相同的结论。最后,给出了一个分析实例,以反映微磁芯磁阻对Pull-in的影响,同时证实了衔铁平行运动的磁微执行器中不存在Pull-in现象的结论。结论对于磁微执行器的设计具有重要意义。; 关键词 MEMS 磁微执行器 pull-in; Keywords MEMS magnetic microactuator pull-in; 分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名尺度依赖的静电驱动各向异性微板的Pull-in效应被引量：1: 4; 作者马云龙乔瑞贺丹; 机构北京宇航系统工程研究所沈阳航空航天大学辽宁省飞行器复合材料结构分析与仿真重点实验室; 出处《应用力学学报》 CAS CSCD 北大核心 2020年第3期1030-1035,I0008,共7页; 基金国家自然科学基金(11572204)。; 文摘在新修正偶应力理论的基础上建立了一种可用于分析静电驱动各向异性微板的尺度依赖模型。模型中包含有两个材料尺度参数,在考虑材料宏观各向异性的同时也考虑了微观各向异性程度对结构Pull-in特性的影响。通过虚功原理推导了静电驱动微板的非线性控制方程并显式地给出了Pull-in电压和挠度的表达式。算例结果表明:本文模型所预测的Pull-in电压和挠度分别大于和小于经典宏观板理论的预测结果,即反映了微尺度结构下的尺度效应。尺度效应的影响在板厚度与材料尺度参数接近时逐渐增加,而随着两者比值的增加,该影响逐渐减弱,最终可以忽略不计。此外,本文也讨论了初始间隙d对Pull-in电压以及尺度效应的影响。结果表明随着d的增加,Pull-in电压随之增大,而Pull-in挠度变化不大。; 关键词修正偶应力理论静电驱动微板 pull-in电压材料尺度参数尺度效应; Keywords modified couple stress theory electrostatic actuation micro-plate pull-in voltage material size parameter size effect; 分类号 O343.8 [理学—固体力学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名考虑漏磁效应的平行平板式磁微执行器Pull-in模型: 5; 作者郄军建方玉明徐琳; 机构南京邮电大学电子科学与工程学院; 出处《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2012年第6期448-451,共4页; 基金国家自然科学基金资助项目(60806036) 2010年度江苏省高校"青蓝工程"资助项目; 文摘 Pull-in参数是设计磁微执行器时需要考虑的一项重要参数。研究漏磁效应对Pull-in参数的影响时,通常采用有限元法求数值解,需要反复重新建模,工作量大,因而需要一个解析模型。对于平行平板式磁微执行器,给出了详细的漏磁阻模型。将漏磁阻的解析式带入到Pull-in方程组中便可得到一对考虑了漏磁影响的Pull-in参数。利用有限元法对器件的Pull-in特性进行了仿真。将考虑漏磁影响的理论值和不考虑漏磁影响的理论值分别与有限元分析结果做对比,结果表明,不考虑漏磁影响时,Pull-in参数的误差随着极板间距的增大而增大。利用漏磁阻模型求出的Pull-in参数具则有良好的精度,并且相对误差不随极板间距的增大而增大。; 关键词 pull-in 磁微执行器漏磁阻耦合场分析有限元法; Keywords pull-in magnetic micro actuator leakage reluctance coupled-field analysis finite element method （FEM）; 分类号 TN402 [电子电信—微电子学与固体电子学] TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名MEMS穿孔板微执行器动态Pull-in特性分析: 6; 作者季莅莅方玉明孜乃提古丽.布尔汉戚举艾昕晨; 机构南京邮电大学电子与光学工程学院微电子学院; 出处《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2018年第9期1311-1315,共5页; 基金江苏省研究生科研与实践创新计划项目(SJCX17_0231 KYCX18_0879) 南京邮电大学大学生创新训练计划项目(XZD2018041); 文摘本文基于穿孔板静电微执行器的基本模型,在忽略和考虑压膜阻尼效应的两种情况下,采用能量法推导了静电微执行器的动态Pull-in参数公式,并结合ANSYS软件得到动态Pull-in参数的仿真值。通过对比两种情况下的Pull-in电压和Pull-in位移,得出了阻尼比变化对动态Pull-in参数的影响。结果表明,压膜阻尼效应会增大Pull-in电压、减小Pull-in位移;当阻尼比大于0.4,动态Pull-in电压值将与静态Pull-in电压值一致;当阻尼比大于0.5,动态Pull-in位移值将与静态Pull-in位移值一致。; 关键词静电微执行器动态 pull-in参数 ANSYS 压膜阻尼效应; Keywords electrostatic micro-actuator dynamic pull-in parameter ANSYS squeeze damping effect; 分类号 TN405 [电子电信—微电子学与固体电子学]; 在线阅读下载PDF 职称材料

题名微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计被引量：1: 7; 作者刘军李海华王庆康; 机构上海交通大学电子信息与电气工程学院微纳电子学系; 出处《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第11期1675-1679,共5页; 基金中国科技部国际合作项目(2012DFA11070); 文摘基于扭臂式静电驱动微执行器的基本模型,运用力矩法推导出该结构的Pull-in电压和角度,并设计了用于微机电系统(Micro Electronic Mechanical System,MEMS)光开关的单晶硅扭臂式静电驱动结构参数.在所选结构参数下,运用力电耦合分析方法,研究了空气阻尼作用对扭臂式静电驱动结构Pull-in电压的影响.对所设计的驱动结构,考虑空气阻尼作用时,Pull-in电压增大约7%.对单晶硅扭臂式静电驱动结构进行应力分析得到,当上下极板发生吸合时,结构应力均匀分布在上电极,且扭臂的最大内应力仅为72.848MPa,远小于单晶硅的屈服强度,整个驱动结构的设计是稳定可靠的;用力矩法推导出的该结构的Pull-in电压适用于该微静电驱动系统.研究结果为扭臂式微驱动器参数选择提供了依据.; 关键词扭臂式静电驱动微执行器力矩法 pull-in电压力电耦合分析方法; Keywords torsion electrostatic micro-actuator the method of moment pull-in voltage electro-mechanical coupling method; 分类号 TP211 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]; 在线阅读下载PDF 职称材料

	题名	作者	出处	发文年	被引量	操作
1	考虑边缘效应的平行平板式静电微执行器Pull-in模型	方玉明李普	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2011	7	在线阅读下载PDF 职称材料
2	静电微梁器件的降阶模型及其动态Pull-in不稳定性研究	林谢昭胡振明黄健萌	《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心	2016	1	在线阅读下载PDF 职称材料
3	衔铁平行运动的磁微执行器Pull-in机理分析	方玉明李伟华	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2009	1	在线阅读下载PDF 职称材料
4	尺度依赖的静电驱动各向异性微板的Pull-in效应	马云龙乔瑞贺丹	《应用力学学报》 CAS CSCD 北大核心	2020	1	在线阅读下载PDF 职称材料
5	考虑漏磁效应的平行平板式磁微执行器Pull-in模型	郄军建方玉明徐琳	《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心	2012	0	在线阅读下载PDF 职称材料
6	MEMS穿孔板微执行器动态Pull-in特性分析	季莅莅方玉明孜乃提古丽.布尔汉戚举艾昕晨	《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心	2018	0	在线阅读下载PDF 职称材料
7	微机电系统光开关的扭臂式静电驱动结构设计	刘军李海华王庆康	《上海交通大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心	2015	1	在线阅读下载PDF 职称材料