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组合导航微系统陶瓷基三维集成技术
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作者 沈时俊 何一蕾 +1 位作者 汪金华 庄永河 《电子技术应用》 2025年第4期101-105,共5页
为了解决高精度组合导航系统的体积和重量较大的问题,基于多层陶瓷基板高密度布线和三维立体组装等系统级封装(System In Package,SiP)工艺技术,提出了一种全新的三维立体微系统封装结构。采用低温共烧陶瓷(Low Temperature Cofired Cer... 为了解决高精度组合导航系统的体积和重量较大的问题,基于多层陶瓷基板高密度布线和三维立体组装等系统级封装(System In Package,SiP)工艺技术,提出了一种全新的三维立体微系统封装结构。采用低温共烧陶瓷(Low Temperature Cofired Ceramic,LTCC)基板高密度布线及贴装、基板堆叠、高正交度立体组装等SiP工艺,将三轴加速度计、三轴陀螺仪、卫星导航、地磁计和气压高度计等集成在一个封装单元中,研制出外形尺寸仅3.1 cm×2.9 cm×0.96cm、重量仅18g的组合导航微系统产品,拓展了应用领域。通过数据融合算法,可以有效提升导航精度和可靠性,具有广阔的应用前景。 展开更多
关键词 组合导航微系统 系统级封装 三维立体组装 低温共烧陶瓷
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GNC信息处理微系统电路设计与实现
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作者 廉运河 吴超 胡南中 《遥测遥控》 2025年第2期41-47,共7页
随着装备信息化、轻量化程度不断提高,导航制导控制(Navigation Guidance and Control,GNC)系统设计日趋复杂,系统小型化、轻量化设计需求愈发迫切。系统级封装(System in Package,SiP)作为一种高密度集成封装手段,可以将多种功能芯片... 随着装备信息化、轻量化程度不断提高,导航制导控制(Navigation Guidance and Control,GNC)系统设计日趋复杂,系统小型化、轻量化设计需求愈发迫切。系统级封装(System in Package,SiP)作为一种高密度集成封装手段,可以将多种功能芯片封装进更小的腔体内,实现系统高集成化、小型化。针对GNC系统小型化需求,基于SiP技术设计了一种GNC信息处理微系统电路,采用DSP(数字信号处理器)+FPGA(现场可编程门阵列)架构,集成接口芯片、存储芯片,采用成熟的陶瓷基板微系统集成技术研制,并进行了多物理场仿真。测试结果表明:电路功能正常,能够满足设计要求。对比原型验证板,该电路体积仅为45 mm×45 mm×11 mm,重量约60 g,采用该电路代替板级系统,可有效提高产品集成度,实现控制系统小型化的需求。 展开更多
关键词 系统级封装 导航制导控制 多物理场仿真 小型化 微系统 电路
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面向智能装备的MEMS惯性集成微系统关键技术分析
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作者 蒋鹏 鞠莉娜 +3 位作者 王子 徐彤 李亚平 陈远金 《微纳电子技术》 2025年第3期92-98,共7页
装备领域的变革对智能化提出了新的要求,模块化、通用化成为当前的重要趋势。基于微机电系统(MEMS)技术的惯性集成微系统因具备高密度多功能集成、高可靠等优点,可满足高效费比和精准作用需求。从智能装备对MEMS惯性集成微系统的需求出... 装备领域的变革对智能化提出了新的要求,模块化、通用化成为当前的重要趋势。基于微机电系统(MEMS)技术的惯性集成微系统因具备高密度多功能集成、高可靠等优点,可满足高效费比和精准作用需求。从智能装备对MEMS惯性集成微系统的需求出发,重点介绍了MEMS惯性集成微系统跨尺度设计、三维异构集成工艺、集成检测与可靠性验证等关键技术,并对技术发展趋势进行了分析。 展开更多
关键词 智能装备 微机电系统(MEMS) 惯性集成微系统 多物理场 三维集成 缺陷检测
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Designing shielded radio-frequency phased-array coils for magnetic resonance imaging 被引量:3
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作者 徐文龙 张鞠成 +2 位作者 李霞 徐冰俏 陶贵生 《Chinese Physics B》 SCIE EI CAS CSCD 2013年第1期46-53,共8页
In this paper, an approach to the design of shielded radio-frequency (RF) phased-array coils for magnetic resonance imaging (MRI) is proposed. The target field method is used to find current densities distributed ... In this paper, an approach to the design of shielded radio-frequency (RF) phased-array coils for magnetic resonance imaging (MRI) is proposed. The target field method is used to find current densities distributed on primary and shield coils. The stream function technique is used to discretize current densities and to obtain the winding patterns of the coils. The corresponding highly ill-conditioned integral equation is solved by the Tikhonov regularization with a penalty function related to the minimum curvature. To balance the simplicity and smoothness with the homogeneity of the magnetic field of the coll's winding pattern, the selection of a penalty factor is discussed in detail. 展开更多
关键词 active shield phased-array coil radio-frequency coil magnetic resonance imaging
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Recent advances and key opportunities on in-plane micro-supercapacitors:From functional microdevices to smart integrated microsystems 被引量:1
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作者 Jieqiong Qin Hongtao Zhang +4 位作者 Zhi Yang Xiao Wang Pratteek Das Feng Zhou Zhong-Shuai Wu 《Journal of Energy Chemistry》 SCIE EI CAS CSCD 2023年第6期410-431,I0010,共23页
The popularization of portable,implantable and wearable microelectronics has greatly stimulated the rapid development of high-power planar micro-supercapacitors(PMSCs).Particularly,the introduction of new functionalit... The popularization of portable,implantable and wearable microelectronics has greatly stimulated the rapid development of high-power planar micro-supercapacitors(PMSCs).Particularly,the introduction of new functionalities(e.g.,high voltage,flexibility,stretchability,self-healing,electrochromism and photo/thermal response)to PMSCs is essential for building multifunctional PMSCs and their smart selfpowered integrated microsystems.In this review,we summarized the latest advances in PMSCs from various functional microdevices to their smart integrated microsystems.Primarily,the functionalities of PMSCs are characterized by three major factors to emphasize their electrochemical behavior and unique scope of application.These include but are not limited to high-voltage outputs(realized through asymmetric configuration,novel electrolyte and modular integration),mechanical resilience that includes various feats of flexibility or stretchability,and response to stimuli(self-healing,electrochromic,photo-responsive,or thermal-responsive properties).Furthermore,three representative integrated microsystems including energy harvester-PMSC,PMSC-energy consumption,and all-in-one selfpowered microsystems are elaborately overviewed to understand the emerging intelligent interaction models.Finally,the key perspectives,challenges and opportunities of PMSCs for powering smart microelectronics are proposed in brief. 展开更多
关键词 Micro-supercapacitors IN-PLANE Functionalization Integrated microsystem Energy storage
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JK Microsystems嵌入式功率控制器
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《电子产品世界》 2003年第07B期100-101,共2页
JK Microsystems公司推出一种嵌入式功率控制器,把调整,监视和开/关控制安装在比信用卡还要小的平台中。这种PowerNut电源管理板把输入功率控制在现有的器件上,从而简化了电源设计。该板给设计者提供一种包括电压调整,电源开/关时... JK Microsystems公司推出一种嵌入式功率控制器,把调整,监视和开/关控制安装在比信用卡还要小的平台中。这种PowerNut电源管理板把输入功率控制在现有的器件上,从而简化了电源设计。该板给设计者提供一种包括电压调整,电源开/关时间表和电压监视的现成解决方案。从太阳能板或电池传来的电源电压能控制输出1A的电流。 展开更多
关键词 嵌入式 microsystems公司 解决方案 电源管理 器件 平台 电压监视 电源设计 电源电压 电池
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Integrated 3D Fan-out Package of RF Microsystem and Antenna for 5G Communications
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作者 XIA Chenhui WANG Gang +1 位作者 WANG Bo MING Xuefei 《ZTE Communications》 2020年第3期33-41,共9页
A 3D fan-out packaging method for the integration of 5G communication RF microsystem and antenna is studied.First of all,through the double-sided wiring technology on the glass wafer,the fabrication of 5G antenna arra... A 3D fan-out packaging method for the integration of 5G communication RF microsystem and antenna is studied.First of all,through the double-sided wiring technology on the glass wafer,the fabrication of 5G antenna array is realized.Then the low power devices such as through silicon via(TSV)transfer chips,filters and antenna tuners are flip-welded on the glass wafer,and the glass wafer is reformed into a wafer permanently bonded with glass and resin by the injection molding process with resin material.Finally,the thinning resin surface leaks out of the TSV transfer chip,the rewiring is carried out on the resin surface,and then the power amplifier,low-noise amplifier,power management and other devices are flip-welded on the resin wafer surface.A ball grid array(BGA)is implanted to form the final package.The loss of the RF transmission line is measured by using the RF millimeter wave probe table.The results show that the RF transmission loss from the chip end to the antenna end in the fan-out package is very small,and it is only 0.26 dB/mm when working in 60 GHz.A slot coupling antenna is designed on the glass wafer.The antenna can operate at 60 GHz and the maximum gain can reach 6 dB within the working bandwidth.This demonstration successfully provides a feasible solution for the 3D fan-out integration of RF microsystem and antenna in 5G communications. 展开更多
关键词 AIP fan‐out package RF microsystem 3D integration 5G communications
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Allegro MicroSystems推出采用专利控制技术的最新LED驱动系列产品
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《世界电子元器件》 2019年第4期52-52,共1页
新产品系列采用小型4x4封装,能够实现超大的真正PWM调光比运动控制和高能效系统电源和传感解决方案的全球领导厂商Allegro MicroSystems(以下简称Allegro)宣布推出最新一代先进LED背光驱动器A8060x系列,该系列器件采用了创新的专利技术P... 新产品系列采用小型4x4封装,能够实现超大的真正PWM调光比运动控制和高能效系统电源和传感解决方案的全球领导厂商Allegro MicroSystems(以下简称Allegro)宣布推出最新一代先进LED背光驱动器A8060x系列,该系列器件采用了创新的专利技术Pre-Emptive Boost(PEB)控制,能够消除通常可听到的噪音。 展开更多
关键词 LED ALLEGRO microsystems 调光比 控制技术
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Procom与Sun Microsystems签署多年技术协议
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《电子与电脑》 2004年第5期144-144,共1页
关键词 Procom公司 SUN microsystems公司 技术协议 OEM
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Allegro MicroSystems推出最先进的变速箱速度传感器IC
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作者 俞庆华 《汽车零部件》 2019年第2期50-50,共1页
2019年1月16日,Allegro MicroSystems宣布推出公司最先进的获ASIL B认证的变速箱速度传感器系列产品A19520、A19530和A19570,这些新磁传感器IC是Allegro近20年产业应用经验和技术进步的结晶,其中包括了先进的巨磁阻(GMR)和霍尔效应技术... 2019年1月16日,Allegro MicroSystems宣布推出公司最先进的获ASIL B认证的变速箱速度传感器系列产品A19520、A19530和A19570,这些新磁传感器IC是Allegro近20年产业应用经验和技术进步的结晶,其中包括了先进的巨磁阻(GMR)和霍尔效应技术,使新产品成为满足当今变速箱应用苛刻要求的理想选择。 展开更多
关键词 变速箱 ALLEGRO microsystems 速度传感器 IC
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Allegro MicroSystems,LLC发布两款高带宽电流传感器以补充现有的产品系列
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《世界电子元器件》 2017年第12期50-50,共1页
Allegro MicroSystems,LLC宣布在现有的高带宽系列电流传感器基础上增加新一代产品ACS732和ACS733,新产品能够为测量DC/DC转换器和其他开关电源应用中的高频电流提供紧凑、快速和精确的解决方案,这些器件是Allegro首次提供的具有1MHz带... Allegro MicroSystems,LLC宣布在现有的高带宽系列电流传感器基础上增加新一代产品ACS732和ACS733,新产品能够为测量DC/DC转换器和其他开关电源应用中的高频电流提供紧凑、快速和精确的解决方案,这些器件是Allegro首次提供的具有1MHz带宽和3600VRMS额定隔离度的产品。ACS732和ACS733为基于霍尔效应的电流传感器,集成有用户可配置的过流故障检测等功能。 展开更多
关键词 电流传感器 Allegro microsystems LLC 高带宽
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1994成功一年,1995充满机会——访Sun Microsystems公司国际市场业务总监Darlene Yaplee
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作者 刘洪 《电子产品世界》 1995年第1期66-66,共1页
新年将近,记者采访了专程从美国赶来参加与太极计算机公司的合作项目签字仪式的Sun Microsystems公司国际市场业务总监Darlene Yaplee小姐,请她谈了谈公司1994年所取得的成就以及对1995年的有关工作站市场的展望.Darlene小姐介绍说,199... 新年将近,记者采访了专程从美国赶来参加与太极计算机公司的合作项目签字仪式的Sun Microsystems公司国际市场业务总监Darlene Yaplee小姐,请她谈了谈公司1994年所取得的成就以及对1995年的有关工作站市场的展望.Darlene小姐介绍说,1994年对Sun来说是十分成功的一年,尤其是在工作站、服务器业务方面取得很大成绩.IDC统计表明,Sun在UNIX工作站和服务器方面排名第一,在数据库平台方面亦排在第一位,全球最大的数据库Oracle即运行于Sun的工作站上,总容量达360GB;在Internet服务器方面,86%是使用Sun的服务器,50%以上软件是在Sun的平台上开发出来的.过去的一年,Sun在自己所拥有的市场上与合作伙伴进一步加强了合作,与数据库。 展开更多
关键词 microsystems公司 市场业务 数据库平台 INTERNET服务器 SPARC UNIX工作站 太极计算机公司 文件服务器 Oracle 合作伙伴
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射频异构集成微系统多层级协同仿真建模与PDK技术综述 被引量:2
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作者 刘军 高爽 +2 位作者 汪曾达 王大伟 陈展飞 《微电子学与计算机》 2024年第1期11-25,共15页
作为后摩尔技术的可选路径之一,基于异构集成工艺实现的集成微系统具有高集成度、低成本、高性能等优点,引起学术界和工业界的广泛关注。异构集成微系统设计是以系统为中心的多层级协同设计,对传统以晶体管为中心的设计方法和设计流程... 作为后摩尔技术的可选路径之一,基于异构集成工艺实现的集成微系统具有高集成度、低成本、高性能等优点,引起学术界和工业界的广泛关注。异构集成微系统设计是以系统为中心的多层级协同设计,对传统以晶体管为中心的设计方法和设计流程带来新的挑战,同时对设计环境的开发带来新的要求。本文对射频集成微系统设计中所需的基础器件/结构建模方法、多工艺混合工艺设计套件(Process Design Kit,PDK)技术、以及电路-模块-系统多层级协同仿真等技术最新进展进行综述。 展开更多
关键词 异构集成射频微系统 多层级协同仿真 建模方法 多工艺混合 工艺设计套件(PDK)
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一种基于硅基MEMS三维异构集成技术的T/R组件
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作者 陈兴 张超 +1 位作者 李晓林 赵永志 《太赫兹科学与电子信息学报》 2024年第3期331-336,共6页
基于硅基微电子机械系统(MEMS)三维异构集成工艺,设计并制作了用于相控阵天线系统的三维堆叠式Ku波段双通道T/R组件。该组件由两层硅基结构通过球栅阵列(BGA)植球堆叠而成,上下两层硅基封装均采用5层硅片通过硅通孔(TSV)、晶圆级键合工... 基于硅基微电子机械系统(MEMS)三维异构集成工艺,设计并制作了用于相控阵天线系统的三维堆叠式Ku波段双通道T/R组件。该组件由两层硅基结构通过球栅阵列(BGA)植球堆叠而成,上下两层硅基封装均采用5层硅片通过硅通孔(TSV)、晶圆级键合工艺实现。组件集成了六位数控移相、六位数控衰减、串转并、电源调制、逻辑控制等功能,最终组件尺寸仅为15 mm×8 mm×3.8 mm。测试结果表明,在Ku波段内,该组件发射通道饱和输出功率大于24 dBm,单通道发射增益大于20 dB,接收通道增益大于20 dB,噪声系数小于3.0 dB。该组件性能好,质量轻,体积小,加工精确度高,组装效率高。 展开更多
关键词 微系统 硅基MEMS 收发组件 三维集成
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超宽带硅基射频微系统设计
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作者 张先荣 钟丽 《电讯技术》 北大核心 2024年第9期1507-1515,共9页
针对超宽带硅基射频模块的微系统化问题,采用硅基板作为转接板设计了一款具备收发功能的超宽带系统级封装(System in Package,SiP)射频微系统。各层硅基转接板之间的射频信号传输、控制和供电等均采用低损耗的硅通孔(Through Silicon Vi... 针对超宽带硅基射频模块的微系统化问题,采用硅基板作为转接板设计了一款具备收发功能的超宽带系统级封装(System in Package,SiP)射频微系统。各层硅基转接板之间的射频信号传输、控制和供电等均采用低损耗的硅通孔(Through Silicon Via,TSV)结构来实现。为了减小封装对射频性能的影响,整个超宽带射频微系统采用5层硅基封装结构,与传统二维封装结构相比,其体积减少95%以上。射频微系统封装完成后,对其电气性能指标进行了测试。在整个超宽带频带内,其接收噪声系数小于2.6 dB,增益大于35 dB,发射功率大于等于34 dBm,端口驻波小于2。该封装结构实现了硅基超宽带射频模块的微系统化,可广泛适用于各类超宽带射频系统。 展开更多
关键词 超宽带射频微系统 硅基转接板 硅通孔(TSV) 系统级封装(SiP)
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高密度电容器件的制备及其可靠性
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作者 商庆杰 王敬轩 +2 位作者 董春晖 宋洁晶 杨志 《电子工艺技术》 2024年第3期13-16,共4页
介绍了一种基于微机械加工技术(MicroElectronMechanical System,MEMS)的硅基高密度电容芯片的制备方法。该电容芯片采用了深孔刻蚀、介质淀积生长以及原位掺杂多晶硅等工艺技术,实现了高击穿电压(50V@1μA)、高电容密度(38.8~39.5nF/mm... 介绍了一种基于微机械加工技术(MicroElectronMechanical System,MEMS)的硅基高密度电容芯片的制备方法。该电容芯片采用了深孔刻蚀、介质淀积生长以及原位掺杂多晶硅等工艺技术,实现了高击穿电压(50V@1μA)、高电容密度(38.8~39.5nF/mm^(2))的电容芯片制备。 展开更多
关键词 微系统芯片 高密度电容 深孔刻蚀 原位掺杂多晶硅
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基于认知层次分类的卓越人才微系统建构
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作者 殷俊峰 白瑞 张璐 《建筑与文化》 2024年第6期24-26,共3页
随着国家社会经济的发展变化,建筑行业整体出行下行趋势,建筑教育也必然转向“少而精”的卓越人才培养模式。研究以建筑学专业为例,对“卓越计划”与“专业评估”进行了比较,通过认知层次分类对卓越人才的概念进行了界定和解析。从系统... 随着国家社会经济的发展变化,建筑行业整体出行下行趋势,建筑教育也必然转向“少而精”的卓越人才培养模式。研究以建筑学专业为例,对“卓越计划”与“专业评估”进行了比较,通过认知层次分类对卓越人才的概念进行了界定和解析。从系统论的角度出发,指出充分发挥“卓越计划”与“专业评估”的他组织系统积极性,促进学生自组织系统的形成,才能合理建构卓越人才培养的微系统。 展开更多
关键词 认知层次 卓越 自组织 微系统
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基于体硅MEMS工艺的射频微系统冲击特性仿真研究 被引量:1
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作者 冯政森 王辂 +4 位作者 曾燕萍 杨兵 祁冬 王志辉 张睿 《电子技术应用》 2024年第2期65-70,共6页
高过载冲击试验成本高、周期长,同时失效检测手段较少,难以定位结构薄弱点。针对体硅工艺MEMS(Micro-electromechanical System)射频微系统,采用冲击响应谱与瞬态动力学方法,研究板级与试验条件下的高冲击载荷响应。仿真结果表明,该射... 高过载冲击试验成本高、周期长,同时失效检测手段较少,难以定位结构薄弱点。针对体硅工艺MEMS(Micro-electromechanical System)射频微系统,采用冲击响应谱与瞬态动力学方法,研究板级与试验条件下的高冲击载荷响应。仿真结果表明,该射频微系统能够承受高冲击过载,仿真结果可提前预判结构失效点,提高产品抗冲击可靠性。 展开更多
关键词 体硅MEMS 射频微系统 冲击 响应谱 瞬态动力学 可靠性
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射频集成微系统技术的发展与典型应用
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作者 杨进 张君直 +2 位作者 朱健 韩磊 孙斌 《上海航天(中英文)》 CSCD 2024年第4期102-112,共11页
摩尔定律已经逐渐放缓,并越来越逼近其物理极限,但未来的射频系统仍然朝着更高集成度、更高性能、更高工作频率等方向发展,射频集成微系统技术是实现射频系统微型化的核心技术之一。本文首先对射频微系统的发展和现状进行了介绍,重点分... 摩尔定律已经逐渐放缓,并越来越逼近其物理极限,但未来的射频系统仍然朝着更高集成度、更高性能、更高工作频率等方向发展,射频集成微系统技术是实现射频系统微型化的核心技术之一。本文首先对射频微系统的发展和现状进行了介绍,重点分析了美国国防高级研究计划局(DARPA)的微系统发展历程和经典项目,接着对射频微系统的技术路线和解决方案进行了梳理和总结,随后通过一系列典型应用案例,展现了最新的射频集成微系统技术,最后提出了射频集成微系统技术的进一步发展思路。 展开更多
关键词 摩尔定律 射频(RF) 集成 微系统 解决方案
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硅基三维异构集成射频微系统的多物理场耦合仿真与设计
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作者 张睿 朱旻琦 +6 位作者 杨兵 冯政森 王辂 张先荣 陆宇 蔡源 邱钊 《电子技术应用》 2024年第5期1-6,共6页
利用硅基三维异构集成工艺设计一款射频微系统,以满足设备对射频模组高性能、小型化的需求。为了在设计初期充分评估该微系统的潜在可靠性风险,根据工艺特征以及产品在多物理场中的耦合现象,建立一种面向硅基三维异构集成工艺射频微系... 利用硅基三维异构集成工艺设计一款射频微系统,以满足设备对射频模组高性能、小型化的需求。为了在设计初期充分评估该微系统的潜在可靠性风险,根据工艺特征以及产品在多物理场中的耦合现象,建立一种面向硅基三维异构集成工艺射频微系统的多物理场一体化仿真流程,逐一分析所涉及的电-热耦合和热-力耦合过程,预判产品在工作条件下的热学和力学特性,为设计环节提供针对性的指导,预先规避可靠性风险,从而有效提高一次性设计成功率。 展开更多
关键词 硅基三维异构集成射频微系统 多物理场耦合仿真 电-热耦合 热-力耦合
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