利用飞秒激光在熔融石英雕塑中加工结构色

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作者 陈靖 周鸿溦 +1 位作者 宋云鹏 程亚 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第7期305-311,共7页

颜色是艺术家们创作时的重要艺术语言。长久以来艺术家们通过颜料在艺术品表面展示出创作的颜色。结构色是颜色显示的另一种技术方案,近年来得到了广泛的研究。文中在熔融石英材料内部,利用飞秒激光加工出高精度的周期光栅,基于光栅衍... 颜色是艺术家们创作时的重要艺术语言。长久以来艺术家们通过颜料在艺术品表面展示出创作的颜色。结构色是颜色显示的另一种技术方案,近年来得到了广泛的研究。文中在熔融石英材料内部,利用飞秒激光加工出高精度的周期光栅,基于光栅衍射效应,实现了在某观察角度上的结构色呈现;在此基础上,展示了该结构色在雕塑领域的应用效果。结果表明,飞秒激光加工技术不仅可以对透明石英材料表面进行3D打印雕刻,制作出雕塑;还可以在材料内部进行彩色三维结构加工,为雕塑艺术的内在表达提供了新的技术支撑。 展开更多

关键词 飞秒激光 熔融石英材料 三维微纳加工 光栅衍射 结构色 雕塑

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纳米长度溯源链融合计量研究

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作者 张玉杰 雷李华 +7 位作者 管钰晴 刘丽琴 郭创为 谢张宁 徐瑞书 梁利杰 李强 凌刚 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第5期236-242,共7页

为了更好地研究量子扁平化的溯源体系,提出一种纳米长度溯源链融合计量的方法。溯源性是纳米测量中的基础性问题,多种溯源途径与测量方法的融合测量已经成为未来微纳结构测量的趋势。建立“自上而下”型和“自下而上”型溯源相融合测量... 为了更好地研究量子扁平化的溯源体系,提出一种纳米长度溯源链融合计量的方法。溯源性是纳米测量中的基础性问题,多种溯源途径与测量方法的融合测量已经成为未来微纳结构测量的趋势。建立“自上而下”型和“自下而上”型溯源相融合测量体系,需要确保两种溯源体系之间的测量准确性、等效性与可比性。利用激光会聚原子沉积技术与软X射线干涉光刻技术相结合的方式,制作直接溯源至原子跃迁频率的光栅,理论准确性可达到0.001nm量级,在保证准确性极高的同时也在其整体结构面积内均能保持良好均匀性。通过制作高精度的小尺寸光栅作为两条溯源链的比对载体,有效规避以线宽为载体时产生的误差来源。文中利用基于原子光刻-软X射线干涉光刻制备的53.2nm硅光栅作为有效载体,提升自上而下的计量型原子力显微镜测量水平以及自下而上的基于硅晶格常数测量的准确性,提升国内“自上而下”型和“自下而上”型溯源的测量准确性、等效性与可比性水平。 展开更多

关键词 融合计量 自溯源光栅 纳米溯源链 硅晶格常数

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基于激光干涉仪的微纳光栅姿态校准方法研究

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作者 邹文哲 管钰晴 +5 位作者 郭创为 张玉杰 刘丽琴 徐瑞书 雷李华 凌刚 《红外与激光工程》 北大核心 2025年第5期263-271,共9页

微纳光栅作为光栅位移测量系统的核心部件,其安装姿态误差直接影响系统的测量准确性与长期稳定性。针对微纳光栅多维度安装误差导致衍射场相位畸变这一纳米测量领域共性难题,为了减小其因为位置解算而产生的纳米级误差,提出基于矢量衍... 微纳光栅作为光栅位移测量系统的核心部件,其安装姿态误差直接影响系统的测量准确性与长期稳定性。针对微纳光栅多维度安装误差导致衍射场相位畸变这一纳米测量领域共性难题,为了减小其因为位置解算而产生的纳米级误差,提出基于矢量衍射场相位调制特性的位姿协同校准新方法。分析了微纳光栅位姿误差产生的原因,利用一维光栅的横滚、俯仰和偏航角共同描述一维光栅相对于位移台的装配状态,并基于矢量衍射理论对其误差值进行量化分析。创新性地构建了基于激光干涉仪基准的可溯源校准链,通过极值追踪与干涉仪示值闭环反馈的复合调控策略,实现光栅-位移台多自由度协同校准。同时,通过在装置搭建环节中,对于核心部件的校准,减小了系统搭建时的不确定度引入,使实验数据更可靠。最后经由实验验证了该方法在500μm行程范围内的安装误差量为13.2 nm,整体装置引入的合成测量不确定度为2.17 nm,设计的校准方案稳定可靠,因激光干涉仪的引入,具有可溯源性。 展开更多

关键词 微纳光栅 位姿校准 激光干涉仪 不确定度分析

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光栅干涉精密纳米测量技术 被引量：6

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作者 李星辉 崔璨 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第17期2591-2611,共21页

光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数... 光栅干涉测量是一种重要的精密纳米测量技术,具有高分辨率、高抗干扰能力和多自由度扩展的优势,在先进节点光刻机、超精密机床等场景中发挥着至关重要的作用。对比介绍了光栅干涉、激光干涉与时栅测量技术,明确其应用场景和当前性能参数,阐述了光栅干涉测量中的零差和外差两种技术原理,并在此基础上分析了光栅干涉仪的国内外发展动态,包括代表性的设备厂商,和近年来国内外在纳米及亚纳米精度的单、多自由度系统方面的研究开发情况。进一步地,对光栅干涉测量的精度和误差进行了分析与讨论,介绍了误差来源、分类及针对性的补偿方法。最后,对光栅干涉仪的发展现状及未来前景进行了讨论,期望为光栅干涉仪系统的开发和优化提供参考。 展开更多

关键词 精密测量 纳米测量 光栅干涉仪 多自由度 误差补偿

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基于柔性纳米压印工艺制备中红外双层金属纳米光栅 被引量：11

5

作者 褚金奎 康维东 +1 位作者 曾祥伟 张然 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3034-3040,共7页

用纳米压印工艺制备红外金属光栅时,硬模板压印极易造成光栅结构缺陷致使光栅性能下降。本文采用柔性纳米压印工艺作为替代方法制备了适合在3-5μm波段工作,高度为100nm,上下金属层厚为40nm的双层金属纳米光栅,其光栅结构参数为:周期200... 用纳米压印工艺制备红外金属光栅时,硬模板压印极易造成光栅结构缺陷致使光栅性能下降。本文采用柔性纳米压印工艺作为替代方法制备了适合在3-5μm波段工作,高度为100nm,上下金属层厚为40nm的双层金属纳米光栅,其光栅结构参数为:周期200nm,线宽100nm,深宽比1∶1。该方法采用热纳米压印工艺将母模板光栅结构复制到IPS(Intermediate Ploymer Sheet)材料上,制作出压印所需软模板;随后通过紫外纳米压印工艺将IPS软模板压印到STU-7压印胶,得到结构完整均匀的介质光栅;最后在介质光栅上垂直热蒸镀金属铝,完成中红外双层金属纳米光栅的制备。对所制备光栅进行了测试,结果表明,所制备光栅在2.5~5μm波段的TM偏振透射率超过70%,在2.7~5μm波段的消光比超过30dB,在2.72~3.93μm波段的消光比超过35dB,显示了优异的消光比特性和偏振特性。该研究结果在红外偏振探测、红外偏振传感等方面具有潜在应用。 展开更多

关键词 纳米光栅 中红外光栅 金属光栅 柔性纳米压印 IPS(Intermediate PloymerSheet) 热蒸镀

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铬原子束沉积纳米光栅结构的3维仿真 被引量：6

6

作者 张宝武 马艳 +1 位作者 赵敏 张文涛 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第3期364-367,383,共5页

为了研究铬原子经过波长为425.55nm 1维高斯激光驻波会聚作用后的沉积情况,采用原子与激光相互作用的原子轨道方法和波动方法两种理论模型进行了3维仿真。结果表明,同一激光功率条件下,两种方法的仿真条纹在激光束方向上都具有相同的周... 为了研究铬原子经过波长为425.55nm 1维高斯激光驻波会聚作用后的沉积情况,采用原子与激光相互作用的原子轨道方法和波动方法两种理论模型进行了3维仿真。结果表明,同一激光功率条件下,两种方法的仿真条纹在激光束方向上都具有相同的周期性,在垂直激光束方向上具有非常相似的延展性,即随着激光功率的增加,原本的一条仿真条纹会逐渐分裂开来,由于原子波动性的影响,波动方法仿真的条纹中还有明显的干涉边峰,这种现象随着激光功率的增加而变得更加明显。这些仿真结果为实验提供了更加丰富的理论指导。 展开更多

关键词 激光技术 激光会聚 原子束 原子波包 纳米光栅

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二维零位光栅及其在纳米计量技术中的应用 被引量：6

7

作者 胡翘 王文伟 +1 位作者 黄文浩 李尚志 《电子显微学报》 CAS CSCD 1999年第1期137-140,共4页

本文提出了一种用二维零位光栅来实现超高分辨率的绝对测量方法。利用二维零位光栅作为整个系统的零点，可消除ＳＰＭ仪器的累计误差。本文对二维零位原子光栅的原理，评价指标，评价指标极限的计算，作了详细介绍。本文给出了计算机仿... 本文提出了一种用二维零位光栅来实现超高分辨率的绝对测量方法。利用二维零位光栅作为整个系统的零点，可消除ＳＰＭ仪器的累计误差。本文对二维零位原子光栅的原理，评价指标，评价指标极限的计算，作了详细介绍。本文给出了计算机仿真结果。 展开更多

关键词 SPM 零位光栅 纳米计量 二维 超高分辨率

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高精度2×2阵列拼接光栅结构设计 被引量：3

8

作者 周忆 申超 +2 位作者 张军伟 王逍 周海 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第7期1741-1745,共5页

提出了一种大口径高精度2×2阵列光栅拼接结构,采用模块化和框架式结构设计,保证拼接结构的稳定性;设计了差动螺纹微调组件与压电驱动器相结合的微纳调整组件结构,实现拼接光栅微纳量级的调整要求;讨论了关键组件的设计和制造问题... 提出了一种大口径高精度2×2阵列光栅拼接结构,采用模块化和框架式结构设计,保证拼接结构的稳定性;设计了差动螺纹微调组件与压电驱动器相结合的微纳调整组件结构,实现拼接光栅微纳量级的调整要求;讨论了关键组件的设计和制造问题。设计制造的2×2阵列光栅实验样机的最大相对共面误差为17μm,微纳调整组件的最小调整精度可以达到1.8 nm,分辨力为0.9 nm,初步光路实验表明,设计的拼接调整机构可以快速实时地调整2×2阵列光栅达到要求的精度,且稳定时间大于1 h。 展开更多

关键词 阵列拼接光栅 微纳调整 结构设计 快点火

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二维微纳米结构表面反射特性的时域有限差分法模拟研究 被引量：13

9

作者 王翔 余彦清 褚家如 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第2期159-165,共7页

亚波长微纳米结构表面具有优良的抗反射特性,本文以硅基太阳能电池响应光谱的300～1 200nm为应用基础,利用时域有限差分法计算了表面面形、结构参量的占空比、高度和周期以及光波入射角等对二维微纳米结构表面反射特性的影响,并结合等... 亚波长微纳米结构表面具有优良的抗反射特性,本文以硅基太阳能电池响应光谱的300～1 200nm为应用基础,利用时域有限差分法计算了表面面形、结构参量的占空比、高度和周期以及光波入射角等对二维微纳米结构表面反射特性的影响,并结合等效介质理论进行了进一步理论分析,结果表明:等截面光栅结构的反射率较大,结构参量影响也较小;锥形渐变截面光栅结构的抗反射性能较好,且反射率随着占空比、结构高度的增大而显著下降;同时,光波在光栅法线的±40°范围内入射时,反射率均较小.通过对亚波长微纳米光栅结构的反射特性的模拟和分析,为抗反射表面的设计和制作提供了基础. 展开更多

关键词 微纳米结构表面 亚波长光栅 抗反射 时域有限差分法 模拟

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纳米光栅的表面等离激元增强型GaN-LED 被引量：3

10

作者 李志全 刘同磊 +4 位作者 白兰迪 谢锐杰 岳中 冯丹丹 顾而丹 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2018年第9期195-202,共8页

为提高传统Ga N基LED的发光效率,提出了一种基于纳米光栅结构的透射式表面等离激元增强型Ga N-LED。该增强型LED包含覆盖在p型Ga N光栅槽内的低折射率SiO_2膜、Ag膜以及槽表面的ITO薄膜。详细阐述了该结构增强LED发光特性的基本原理,利... 为提高传统Ga N基LED的发光效率,提出了一种基于纳米光栅结构的透射式表面等离激元增强型Ga N-LED。该增强型LED包含覆盖在p型Ga N光栅槽内的低折射率SiO_2膜、Ag膜以及槽表面的ITO薄膜。详细阐述了该结构增强LED发光特性的基本原理,利用基于有限元法的模拟软件"COMSOL^(TM)-RF Module"对该结构进行参数优化和数值模拟分析。研究结果表明,在周期p=280 nm,占空比f=0.5,SiO_2层的厚度d_(SiO_2)=25 nm,银层的厚度d_(Ag)=15 nm,ITO层的厚度d_(ITO)=30 nm时,该结构在可见光范围内具有较高的传输效率,其零阶透射率高达0.716,零阶反射率为0.224,-1阶透射率峰值0.183,且Purcell因子增强了近16.4倍。该结构可以同时提高Ga N基LED的内量子效率、光萃取效率和SPP萃取效率。 展开更多

关键词 光学器件 发光二极管 有限元法 纳米光栅 表面等离激元

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双层纳米光栅微位移检测仿真 被引量：5

11

作者 王宾 李孟委 +2 位作者 吴倩楠 耿浩 王高 《仪表技术与传感器》 CSCD 北大核心 2018年第4期6-9,共4页

针对现有光栅位移传感器分辨率和精度难以提高、体积较大的难题,设计了面内和离面位移检测的双层纳米级光栅结构。用严格耦合波理论分析了单层纳米光栅的衍射特性,通过Gsolver软件对面内和离面的双层纳米光栅结构进行模拟仿真。仿真结... 针对现有光栅位移传感器分辨率和精度难以提高、体积较大的难题,设计了面内和离面位移检测的双层纳米级光栅结构。用严格耦合波理论分析了单层纳米光栅的衍射特性,通过Gsolver软件对面内和离面的双层纳米光栅结构进行模拟仿真。仿真结果表明:这2种双层纳米光栅结构的0级透射光和反射光的衍射效率随第二层纳米光栅结构的位移移动量周期性变化,通过探测纳米光栅的衍射效率来获得面内或者离面的位移移动量。 展开更多

关键词 位移传感器 高精度 纳米光栅 严格耦合波理论 衍射效率 仿真

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基于应变梯度理论的光栅铝膜本构关系表征及纳米压痕实验 被引量：2

12

作者 丁健生 史国权 石广丰 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期2843-2851,共9页

基于应变梯度理论,提出了一种玻璃基底光栅铝膜本构关系的表征方法。建立了包含基底参数和铝膜参数的本构关系数学模型,并逐一表征了相关参数。进行了79g/mm中阶梯光栅铝膜的纳米压痕实验,验证了上述本构关系表征过程的正确性。提出了... 基于应变梯度理论,提出了一种玻璃基底光栅铝膜本构关系的表征方法。建立了包含基底参数和铝膜参数的本构关系数学模型,并逐一表征了相关参数。进行了79g/mm中阶梯光栅铝膜的纳米压痕实验,验证了上述本构关系表征过程的正确性。提出了光栅薄膜材料和基底材料都具有尺度效应的假设,并应用纳米压痕实验对铝膜的尺度效应和基底效应进行了实验表征。对光栅铝膜压痕实验与含基底压深实验的结果进行了比较,结果显示,在有无基底条件下,压痕结果在应力方向上相差0.8倍,在应变方向上相差3倍。进行了光栅刻划实验,结果显示压痕实验对刻划实验具有重要的指导作用。研究过程及研究结果表明:理论分析和两种实验可有效地分析光栅刻划过程,有助于在实际光栅刻划过程中减小误差,对光栅刻划的工艺过程具有较好的理论指导意义。 展开更多

关键词 光栅刻划 光栅铝膜 玻璃基底 本构关系 纳米压痕

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中阶梯光栅铝膜的纳米压入测试 被引量：2

13

作者 石广丰 徐志伟 +3 位作者 史国权 蔡洪斌 王磊 吕杨杨 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2013年第7期94-97,共4页

对槽线密度为79线.mm-1的中阶梯光栅铝膜进行了深度3μm的纳米压痕试验,并采用有限元模拟结合正交分析的方法对其进行计算和分析,得到初步优化的参数组合,最后通过迭代优化求解最优组合。结果表明:中阶梯光栅铝膜的平均弹性模量为85.7G... 对槽线密度为79线.mm-1的中阶梯光栅铝膜进行了深度3μm的纳米压痕试验,并采用有限元模拟结合正交分析的方法对其进行计算和分析,得到初步优化的参数组合,最后通过迭代优化求解最优组合。结果表明:中阶梯光栅铝膜的平均弹性模量为85.7GPa,最优测试参数组合为屈服应力134MPa和应变硬化指数0.09;所建立的光栅压入测试有限元模型的计算准确性对屈服应力的输入较为敏感。 展开更多

关键词 中阶梯光栅 铝膜 纳米压痕 有限元 正交分析

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多共振峰圆形光栅滤波器 被引量：3

14

作者 王永进 秦川 +1 位作者 高绪敏 张锋华 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2017年第12期3056-3062,共7页

提出了一种导模共振圆形光栅滤波器,以实现它在可见光范围内的多波段滤波。理论分析了圆形光栅滤波器在同一入射波偏振条件下形成多个共振峰的原因。通过微纳加工技术在硅基二氧化铪材料上实现了光栅层约为70nm的圆形光栅薄膜结构。利... 提出了一种导模共振圆形光栅滤波器,以实现它在可见光范围内的多波段滤波。理论分析了圆形光栅滤波器在同一入射波偏振条件下形成多个共振峰的原因。通过微纳加工技术在硅基二氧化铪材料上实现了光栅层约为70nm的圆形光栅薄膜结构。利用一维线性光栅对圆形光栅的反射谱进行了模拟,通过角分辨微纳反射谱测试系统获得了该光栅滤波器在不同入射波偏振条件以及不同入射角时的反射谱。实验表明,在特定的光栅周期以及占空比条件下(如光栅周期350nm,占空比0.5),当线性偏振光正入射时,该圆形光栅滤波器形成了两个共振峰(505nm处和575nm处),与模拟结果基本符合。另外,光栅占空比相同时,随着光栅周期的增加,共振峰会向较长的波段偏移。实验显示:通过设计不同结构的亚波长圆形光栅,可以实现可见光范围内多个特定波段的滤波作用。 展开更多

关键词 衍射光栅 亚波长结构 微纳加工 导模共振 光栅滤波器

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太阳能电池中微纳陷光光栅结构 被引量：7

15

作者 吴奉炳 张大伟 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 2010年第5期15-17,共3页

本文阐述了两种微纳结构光栅的陷光结构,简单介绍了两种结构的材料以及组成。重点研究了两种结构对波长为400nm至1100nm的范围内的光波的吸收情况。通过比较未优化和优化过的太阳能电池所得的数据可知,两种结构都能有效地提高太阳能电... 本文阐述了两种微纳结构光栅的陷光结构,简单介绍了两种结构的材料以及组成。重点研究了两种结构对波长为400nm至1100nm的范围内的光波的吸收情况。通过比较未优化和优化过的太阳能电池所得的数据可知,两种结构都能有效地提高太阳能电池的转换效率,吸收率都高于70%,并且增加了太阳能电池的短路电流。 展开更多

关键词 太阳能电池 光栅 微纳结构 陷光结构 转换效率

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用于光栅拼接的微位移驱动器的精度分析 被引量：2

16

作者 章亚男 葛磐 +2 位作者 王成刚 钱晋武 沈林勇 《电子测量技术》 2014年第8期117-122,共6页

为了满足大尺寸衍射光栅拼接调整架精密调整的需求,设计了一种机械式微位移驱动器,它能够实现十几mm的大行程和纳米量级的定位精度。根据驱动器各零部件的性能参数和技术指标,分析计算了影响驱动器运动分辨率的因素及其大小。通过对机... 为了满足大尺寸衍射光栅拼接调整架精密调整的需求,设计了一种机械式微位移驱动器,它能够实现十几mm的大行程和纳米量级的定位精度。根据驱动器各零部件的性能参数和技术指标,分析计算了影响驱动器运动分辨率的因素及其大小。通过对机构爬行现象的分析,近似计算出由于导轨间动静摩擦系数不同导致的爬行量的大小。实验测试结果显示,驱动器的运动分辨率可达到10nm,运动过程中具有很好的重复性,而且驱动器可以长时间保持很好的稳定性。该研究结论对后期光栅调整架的设计具有很大的参考价值。 展开更多

关键词 光栅拼接 纳米定位 驱动器 误差分析 实验测试

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用改进的快速傅里叶变换法评估一维标准样板线节距数据 被引量：1

17

作者 李同保 翁浚婧 +3 位作者 雷李华 李源 蔡潇雨 马艳 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第1期230-236,共7页

由于利用快速傅里叶变换(FFT)法定量测量标准样板的平均节距时会因为频谱分辨率Δf有限而在数据分析过程中丢失信息,故本文对常用的FFT法进行了改进。首先在FFT的频谱中得到最大振幅值对应的频率分量fmax,使用二分法缩小fmax附近的频率... 由于利用快速傅里叶变换(FFT)法定量测量标准样板的平均节距时会因为频谱分辨率Δf有限而在数据分析过程中丢失信息,故本文对常用的FFT法进行了改进。首先在FFT的频谱中得到最大振幅值对应的频率分量fmax,使用二分法缩小fmax附近的频率范围;然后利用连续傅里叶变换法寻找更大的振幅值与更精确的f′max以求得更接近真实值的线节距。为了验证该方法的可行性,利用Matlab软件仿真被测标准样板(TGD1)的轮廓图,比较了FFT与改进后的FFT对不同扫描长度下数据的评估结果,并展示了改进FFT法评估时部分数据的运算过程。同时,通过计量型原子力显微镜实测20μm×2μm内的TGD1形貌。两种评估法下的数据比对结果显示:改进FFT评估后的线节距为(277.84±0.39)nm,符合标称值(278±1)nm,验证了改进后FFT方法对线节距求解的准确性与合理性。 展开更多

关键词 快速傅里叶变换法 线节距 一维线间隔标准样板 微纳米计量

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用计量型AFM对一维纳米基准栅的标定及不确定度估计 被引量：1

18

作者 黄强先 袁丹 尤焕杰 《中国机械工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期531-536,共6页

利用轻敲模式的计量型AFM对公称栅距为240nm一维基准样板进行了标定,在充分分析AFM的结构和特性、测量过程、数据处理的基础上,得到了基准栅的平均栅距估计值和扩展不确定度。通过全面的不确定度分析,估计值的扩展不确定度达到了亚纳米... 利用轻敲模式的计量型AFM对公称栅距为240nm一维基准样板进行了标定,在充分分析AFM的结构和特性、测量过程、数据处理的基础上,得到了基准栅的平均栅距估计值和扩展不确定度。通过全面的不确定度分析,估计值的扩展不确定度达到了亚纳米量级。该不确定度分析表明,对于纳米量级测量,不确定度估计不仅需要全面掌握测量仪器、测量过程中各种测量不确定因素的影响,还需要考虑和估计常规测量过程中可以忽略的二次误差的影响。 展开更多

关键词 一维基准栅 计量型原子力显微镜 纳米计量 不确定估计

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微纳色散补偿光纤光栅的折射率传感特性研究 被引量：1

19

作者 贾振安 段维维 +2 位作者 刘鑫 刘颖刚 张静乐 《压电与声光》 CSCD 北大核心 2017年第6期886-888,共3页

采用相位掩模法,在未经载氢处理的色散补偿光纤上刻写出多个满足相位匹配条件的光纤布喇格光栅。经过化学腐蚀法处理,分别制作了直径为20μm、17.5μm的微纳光纤光栅,实验研究了其布喇格波长与折射率的变化关系。结果表明,在实验溶... 采用相位掩模法,在未经载氢处理的色散补偿光纤上刻写出多个满足相位匹配条件的光纤布喇格光栅。经过化学腐蚀法处理,分别制作了直径为20μm、17.5μm的微纳光纤光栅,实验研究了其布喇格波长与折射率的变化关系。结果表明,在实验溶液折射率测量范围内,传感器高阶模谐振波长与溶液折射率之间均呈现良好的拟合关系,折射率线性拟合灵敏度最高为28.6nm/RIU。此外,实验发现满足光纤光栅相位匹配条件的模式阶次越高,传感器对周围溶液变化感应能力越强。 展开更多

关键词 光纤光栅 色散补偿光纤 微纳光纤光栅 高阶模式 折射率

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湿度对原子力显微镜测量金纳米栅格几何形貌的影响

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作者 黄鹭 施玉书 +5 位作者 马爱文 曹丛 李琪 李伟 李适 高思田 《计量学报》 CSCD 北大核心 2017年第S1期43-46,共4页

对不同湿度环境下原子力显微镜(AFM)对金纳米栅格几何形貌的测量结果进行了探究。通过在恒温条件下对仪器整体环境湿度进行有规律的调控,实现了在相对湿度35%~75%范围内对金纳米栅格高度及表面粗糙度的准确测量。结果表明:对于实验中使... 对不同湿度环境下原子力显微镜(AFM)对金纳米栅格几何形貌的测量结果进行了探究。通过在恒温条件下对仪器整体环境湿度进行有规律的调控,实现了在相对湿度35%~75%范围内对金纳米栅格高度及表面粗糙度的准确测量。结果表明:对于实验中使用的线宽标称值2μm的金纳米栅格,栅格高度随相对湿度的增加而有所降低;粗糙度随相对湿度增加而增加,且相对湿度升高至75%时对测量结果影响尤为显著。因此,在使用AFM对纳米几何栅格结构进行精确测量和定值时,需要对环境湿度进行记录和监控。 展开更多

关键词 计量学 原子力显微镜 环境湿度 纳米栅格 几何形貌测量

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