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基于压缩电场的微波等离子体反应器设计
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作者 杜雨泓 李源媛 +5 位作者 张曜 何涛 王林 苟徳梽 洪涛 唐正明 《强激光与粒子束》 北大核心 2025年第8期59-66,共8页
微波等离子体因其高电子密度和功率利用效率等优势,在材料合成和化工催化等领域都展现出显著优势。为解决传统反应器反应区小,限制其大规模应用的问题,基于压缩波导原理创新性地提出了一种三棱柱式微波等离子体反应器结构。设计采用三... 微波等离子体因其高电子密度和功率利用效率等优势,在材料合成和化工催化等领域都展现出显著优势。为解决传统反应器反应区小,限制其大规模应用的问题,基于压缩波导原理创新性地提出了一种三棱柱式微波等离子体反应器结构。设计采用三端口对称构型,并在腔体内部引入压缩波导结构,以实现电场的有效叠加和增强;运用多物理场耦合计算方法,系统分析了端口位置和微波相位对腔体内部反射系数和电场分布特性的影响规律。结果显示,优化端口位置可以降低反射系数,提高能量利用利效率;调控端口相位能有效增强电场的叠加效应,使电场集中且广泛分布在石英管区域,峰值场强高达1.64×10^(5) V/m,满足大面积等离子体的激发条件,为后续微波等离子体化学反应的研究提供参考。 展开更多
关键词 等离子体 微波 矩形波导 反应器 相位
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矩形波导谐振腔微波化学反应器的研究 被引量:10
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作者 孙永志 杨鸿生 《电子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第9期1708-1710,共3页
改变矩形波导谐振腔微波化学反应器的结构尺寸如:耦合膜片的形状、尺寸,反应管的直径、管壁厚度、材料和位置,利用HFSS软件计算不同结构尺寸反应器的S参数,仿真的最优结果与实验结果一致,得到了最优结构尺寸的反应器.反应管和短路活塞... 改变矩形波导谐振腔微波化学反应器的结构尺寸如:耦合膜片的形状、尺寸,反应管的直径、管壁厚度、材料和位置,利用HFSS软件计算不同结构尺寸反应器的S参数,仿真的最优结果与实验结果一致,得到了最优结构尺寸的反应器.反应管和短路活塞位置会影响反应器内的电磁场分布,因而直接影响微波化学反应器的工作.在反应管位置z0为106mm,短路活塞位置L0为146mm的最优结构尺寸反应器中,反应管以及内部的甲烷气体处在电场最强的位置且场分布均匀,这有利于甲烷得到足够的能量产生放电.仿真结果和我们的实验结果符合较好. 展开更多
关键词 微波化学 矩形波导谐振腔微波化学反应器 HFSS软件
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矩形波导栅慢波系统的实验研究
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作者 路志刚 宫玉彬 +2 位作者 魏彦玉 殷海荣 王文祥 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第10期1680-1684,共5页
从实验上研究了矩形波导栅慢波系统的色散特性及其耦合装置的驻波系数,用分布加工的方法分别制作了矩形、燕尾形、梯形3种不同槽形的矩形波导栅慢波结构模型和带输入输出结构的矩形波导栅慢波结构实体模型。采用谐振法测量它们的色散特... 从实验上研究了矩形波导栅慢波系统的色散特性及其耦合装置的驻波系数,用分布加工的方法分别制作了矩形、燕尾形、梯形3种不同槽形的矩形波导栅慢波结构模型和带输入输出结构的矩形波导栅慢波结构实体模型。采用谐振法测量它们的色散特性和驻波系数,实验结果与理论计算值和模拟值吻合良好。 展开更多
关键词 高功率微波 矩形波导栅 输入输出结构 谐振法 色散特性 驻波系数
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