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机构
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新型MEMS摆动式微电磁驱动器研制
被引量：
5
1
作者
贾书海
李以贵
+4 位作者
杨春生
赵小林
丁桂甫
张琛
蔡炳初
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第12期1004-1006,共3页
设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能。新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高。用非硅的微细加工工艺制造了微驱动器的定子线圈,微摆盘的充磁采...
设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能。新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高。用非硅的微细加工工艺制造了微驱动器的定子线圈,微摆盘的充磁采用了自制的磁极写入装置。这种微驱动器具有良好的实用性,目前已成功应用于光纤通讯开关中。
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关键词
微机电系统
微电磁驱动器
微细加工
光开关
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职称材料
一种超小型1×2微机械光开关
被引量：
7
2
作者
鲍俊峰
邹勇卓
吴兴坤
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第8期949-951,共3页
设计制作了一种非硅基底的 1× 2微机械光开关 ,利用电磁驱动微反射镜运动实现输出端口切换 ,开关时间 <3ms ,封装尺寸缩小至 2 1mm× 16mm× 12 .6mm ,驱动电压 5VDC ,经 5× 10 6 次开关重复性测试 。
关键词
光纤通讯
光开关
微机械
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职称材料
光传送网中光开关器件的进展
被引量：
4
3
作者
谢世钟
陈明华
王国忠
《中兴通讯技术》
2002年第4期13-17,共5页
随着波分复用技术的广泛应用和光联网的发展,光开关将成为组建未来光网络的关键器件。光开关的类型有光微电机械开关、马赫-曾德干涉仪型开关、热光效应光开关、液晶光开关、喷墨气泡光开关、光栅开关和声光开关等。文章概述了这些光开...
随着波分复用技术的广泛应用和光联网的发展,光开关将成为组建未来光网络的关键器件。光开关的类型有光微电机械开关、马赫-曾德干涉仪型开关、热光效应光开关、液晶光开关、喷墨气泡光开关、光栅开关和声光开关等。文章概述了这些光开关的原理,并进而介绍了光开关器件的最新进展。
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关键词
光传送网
光开关器件
光联网
光微电机械开关
多功能集成
波分复用
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职称材料
基于8×8MEMS的全光OXC结构设计及性能仿真
被引量：
2
4
作者
李利平
王博
+1 位作者
孙彩霞
唐海玲
《光通信技术》
CSCD
北大核心
2012年第10期10-12,共3页
设计了一种新型的全光节点交叉连接设备(OXC),它由4个8×8MEMS光交换模块、2个星形耦合器、3个可调谐滤波器、5个波分复用/解复用器和7个波长变换器组成。对这种OXC光谱特性和噪声性能进行仿真,结果表明,该OXC可提供全光交叉连接、...
设计了一种新型的全光节点交叉连接设备(OXC),它由4个8×8MEMS光交换模块、2个星形耦合器、3个可调谐滤波器、5个波分复用/解复用器和7个波长变换器组成。对这种OXC光谱特性和噪声性能进行仿真,结果表明,该OXC可提供全光交叉连接、广播发送、波长变换以及链路升级等功能,适用于40Gb/s的超高速全光通信系统。
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关键词
全光通信
MEMS
OXC
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职称材料
光栅光阀MEMS光开关系统设计
被引量：
2
5
作者
喻洪麟
鲁双全
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期619-622,共4页
分析了光栅光阀(grating light valve,GLV)的光学特性,对GLV结构进行了计算机仿真。利用GLV在静电力驱动下具有较高的光学效率、快速的调制速率等优点,基于平行平板电容模型的GLV模拟算法,设计了光栅光阀1×2 MEMS(micro-electro-me...
分析了光栅光阀(grating light valve,GLV)的光学特性,对GLV结构进行了计算机仿真。利用GLV在静电力驱动下具有较高的光学效率、快速的调制速率等优点,基于平行平板电容模型的GLV模拟算法,设计了光栅光阀1×2 MEMS(micro-electro-mechanical systems,微机电系统)光开关,经CoventorWare仿真表明,在1.55μm光波长正入射及给定GLV参数时,所设计的光开关1级衍射效率达到50%,开关时间为微秒级,并具有耐磨损、时间快、寿命长等特点。
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关键词
光栅光阀
MEMS
光开关
衍射效率
开关时间
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职称材料
集成微光机电密码锁概念设计
6
作者
屈新芬
杨睛
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2003年第B03期63-66,共4页
给出了集成微机光电的概念、应用背景和设计时遵循的原则 ,建立了集成微机光电密码锁的结构模型 ,分析了基本工作单元的工作原理 ,指出了集成微机光电密码锁用光开关和激光器所需考虑的技术指标。还结合文献报导及现有技术状况 ,分析了...
给出了集成微机光电的概念、应用背景和设计时遵循的原则 ,建立了集成微机光电密码锁的结构模型 ,分析了基本工作单元的工作原理 ,指出了集成微机光电密码锁用光开关和激光器所需考虑的技术指标。还结合文献报导及现有技术状况 ,分析了几种可能用在集成微机光电密码锁编码机构中的光开关 ,指出在现有技术状况下
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关键词
集成微光机电密码锁
要害系统
安全性设计
结构
工作原理
光开关
激光器
PAL
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职称材料
光的微电机系统在光通信网的应用
7
作者
张煦
《光通信技术》
CSCD
北大核心
2002年第5期1-3,共3页
先简单表明未来的光通信网必然需要最合适的光器件。解释光的“微电机系统”有很好的发展前途。文中依次介绍光的微电机系统在光波长路由器、在光交叉连接和在光交换设备中的广泛应用。
关键词
微电机系统
光通信网
波长路由器
光交叉连接
光交换
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职称材料
MOEMS光开关中双光纤耦合对准误差仿真与试验研究
被引量：
4
8
作者
刘浩田
曹云
+2 位作者
席占稳
聂伟荣
徐娜
《南京理工大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期143-149,共7页
为了提高激光点火/起爆系统中微光机电系统(Micro-opto-electro-mechanical system,MOEMS)光开关的传能效率,研究了双光纤耦合对准误差对开关传能特性的影响。利用ZEMAX仿真软件建立了双光纤耦合模型,仿真分析了不同偏移方式对传能效率...
为了提高激光点火/起爆系统中微光机电系统(Micro-opto-electro-mechanical system,MOEMS)光开关的传能效率,研究了双光纤耦合对准误差对开关传能特性的影响。利用ZEMAX仿真软件建立了双光纤耦合模型,仿真分析了不同偏移方式对传能效率和输出光束分布的影响;进一步搭建了双光纤耦合传能效率测试平台,通过设计系列尺寸的光纤偏移固定微通道,实现了双光纤轴向、横向和角度多种方式不同误差的偏移。试验得到了双光纤在不同偏移情况下的传输效率及光斑图像,为后续MOEMS光开关的设计及改进提供一定依据。
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关键词
微光机电系统
光开关
激光点火
光纤耦合
传能特性
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职称材料
碳化硅基MOEMS压力传感器建模与仿真研究
被引量：
2
9
作者
吕秀杰
夏需强
+2 位作者
唐帅
赵勇
王全全
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2015年第1期17-19,30,共4页
针对航空航天领域对高温极端条件下压力测量的高性能要求,提出一种基于碳化硅(Si C)弹性敏感膜片曲率变形来实现反射式光纤传感测量压力的方法。基于弹性力学理论和网格模拟方法探讨了敏感元件Si C圆平膜片的应力和形变分布,推导出光纤...
针对航空航天领域对高温极端条件下压力测量的高性能要求,提出一种基于碳化硅(Si C)弹性敏感膜片曲率变形来实现反射式光纤传感测量压力的方法。基于弹性力学理论和网格模拟方法探讨了敏感元件Si C圆平膜片的应力和形变分布,推导出光纤反射式微机电系统Si C压力传感器的数学模型,并对Si C压力传感器敏感元件的最大量程、灵敏度、输入-输出特性等进行了一系列的优化分析和计算机模拟。仿真结果表明了Si C敏感膜片的光测力灵敏度最优设计方法,在大量程范围内具有优越的线性工作特性,为研发大量程碳化硅基微光机电系统(MOEMS)压力传感器提供了有力的理论依据。
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关键词
碳化硅
微光机电系统
压力传感器
曲率变形
灵敏度
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职称材料
新型电热式MEMS光开关设计与仿真分析
被引量：
3
10
作者
肖杰
陆安江
黄子吉
《传感器与微系统》
CSCD
2018年第10期79-81,共3页
在综合比较各类光开关基础上,提出一种新的M型电热式微机电系统(MEMS)光开关结构,并对结构的可行性进行理论分析和多物理场仿真,通过对光开关驱动部分的驱动位移、温度分布、应力应变实验数据的分析,确定了光开关结构的可行性。
关键词
全光网络
微机电系统
电热式
光开关
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职称材料
题名
新型MEMS摆动式微电磁驱动器研制
被引量：
5
1
作者
贾书海
李以贵
杨春生
赵小林
丁桂甫
张琛
蔡炳初
机构
上海交通大学微纳米科学与技术研究院
出处
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003年第12期1004-1006,共3页
基金
中国博士后科学基金资助项目(B3180A)
上海市光科技启动计划资助项目(012261012)
文摘
设计开发了一种新型MEMS摆动式微电磁驱动器,介绍了新型微驱动器的设计、制造工艺和性能。新型微驱动器采用多线圈多磁极结构,具有较大的驱动力矩,并且位置重复精度较高。用非硅的微细加工工艺制造了微驱动器的定子线圈,微摆盘的充磁采用了自制的磁极写入装置。这种微驱动器具有良好的实用性,目前已成功应用于光纤通讯开关中。
关键词
微机电系统
微电磁驱动器
微细加工
光开关
Keywords
micro
-electro-
mechanical
system (MEMS)
electromagnetic
micro
actuator
micro
-processing technique
optical
fiber switch
分类号
TN305 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
一种超小型1×2微机械光开关
被引量：
7
2
作者
鲍俊峰
邹勇卓
吴兴坤
机构
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004年第8期949-951,共3页
文摘
设计制作了一种非硅基底的 1× 2微机械光开关 ,利用电磁驱动微反射镜运动实现输出端口切换 ,开关时间 <3ms ,封装尺寸缩小至 2 1mm× 16mm× 12 .6mm ,驱动电压 5VDC ,经 5× 10 6 次开关重复性测试 。
关键词
光纤通讯
光开关
微机械
Keywords
Fiber optic communication
optical
switch
micro
-
mechanical
System
分类号
TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
光传送网中光开关器件的进展
被引量：
4
3
作者
谢世钟
陈明华
王国忠
机构
清华大学电子工程系
出处
《中兴通讯技术》
2002年第4期13-17,共5页
文摘
随着波分复用技术的广泛应用和光联网的发展,光开关将成为组建未来光网络的关键器件。光开关的类型有光微电机械开关、马赫-曾德干涉仪型开关、热光效应光开关、液晶光开关、喷墨气泡光开关、光栅开关和声光开关等。文章概述了这些光开关的原理,并进而介绍了光开关器件的最新进展。
关键词
光传送网
光开关器件
光联网
光微电机械开关
多功能集成
波分复用
Keywords
optical
switch
optical
networking
micro
-opto-electro-
mechanical
system switch
Multi-function integration
分类号
TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
基于8×8MEMS的全光OXC结构设计及性能仿真
被引量：
2
4
作者
李利平
王博
孙彩霞
唐海玲
机构
黄河科技学院信息工程学院
出处
《光通信技术》
CSCD
北大核心
2012年第10期10-12,共3页
基金
黄河科技学院自然科学科研项目(项目编号:KYZR201208)资助
文摘
设计了一种新型的全光节点交叉连接设备(OXC),它由4个8×8MEMS光交换模块、2个星形耦合器、3个可调谐滤波器、5个波分复用/解复用器和7个波长变换器组成。对这种OXC光谱特性和噪声性能进行仿真,结果表明,该OXC可提供全光交叉连接、广播发送、波长变换以及链路升级等功能,适用于40Gb/s的超高速全光通信系统。
关键词
全光通信
MEMS
OXC
Keywords
all-
optical
communication
micro
electrical
and
mechanical
system
optical
cross connection
分类号
TN929.11 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
光栅光阀MEMS光开关系统设计
被引量：
2
5
作者
喻洪麟
鲁双全
机构
重庆大学光电工程学院光电技术及系统教育部重点实验室
出处
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008年第6期619-622,共4页
基金
教育部博士学科点专项科研基金资助项目(20060611031)
重庆市自然科学基金资助项目(CSTC2007BB2202)
文摘
分析了光栅光阀(grating light valve,GLV)的光学特性,对GLV结构进行了计算机仿真。利用GLV在静电力驱动下具有较高的光学效率、快速的调制速率等优点,基于平行平板电容模型的GLV模拟算法,设计了光栅光阀1×2 MEMS(micro-electro-mechanical systems,微机电系统)光开关,经CoventorWare仿真表明,在1.55μm光波长正入射及给定GLV参数时,所设计的光开关1级衍射效率达到50%,开关时间为微秒级,并具有耐磨损、时间快、寿命长等特点。
关键词
光栅光阀
MEMS
光开关
衍射效率
开关时间
Keywords
grating light valve
micro
-electro-
mechanical
systems
optical
switch
diffraction efficiency
switching time
分类号
TN256 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
集成微光机电密码锁概念设计
6
作者
屈新芬
杨睛
机构
北京理工大学机电工程学院
中物院电子工程研究所
出处
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2003年第B03期63-66,共4页
文摘
给出了集成微机光电的概念、应用背景和设计时遵循的原则 ,建立了集成微机光电密码锁的结构模型 ,分析了基本工作单元的工作原理 ,指出了集成微机光电密码锁用光开关和激光器所需考虑的技术指标。还结合文献报导及现有技术状况 ,分析了几种可能用在集成微机光电密码锁编码机构中的光开关 ,指出在现有技术状况下
关键词
集成微光机电密码锁
要害系统
安全性设计
结构
工作原理
光开关
激光器
PAL
Keywords
micro optical electrical mechanical cryptogram switches
optical
switch
MOEMS
UQS
laser
cryptogram
safety
分类号
TS914.211.7 [轻工技术与工程]
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职称材料
题名
光的微电机系统在光通信网的应用
7
作者
张煦
机构
上海交通大学
出处
《光通信技术》
CSCD
北大核心
2002年第5期1-3,共3页
文摘
先简单表明未来的光通信网必然需要最合适的光器件。解释光的“微电机系统”有很好的发展前途。文中依次介绍光的微电机系统在光波长路由器、在光交叉连接和在光交换设备中的广泛应用。
关键词
微电机系统
光通信网
波长路由器
光交叉连接
光交换
Keywords
micro
electro-
mechanical
system(MEMS)
optical
communication-network
wavelength router
optical
cross-connect(OXC)
optical
switching
分类号
TN929.1 [电子电信—通信与信息系统]
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职称材料
题名
MOEMS光开关中双光纤耦合对准误差仿真与试验研究
被引量：
4
8
作者
刘浩田
曹云
席占稳
聂伟荣
徐娜
机构
南京理工大学机械工程学院
湖北航天飞行器研究所
出处
《南京理工大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022年第2期143-149,共7页
基金
中央高校基本科研业务费专项资金(30920021101)。
文摘
为了提高激光点火/起爆系统中微光机电系统(Micro-opto-electro-mechanical system,MOEMS)光开关的传能效率,研究了双光纤耦合对准误差对开关传能特性的影响。利用ZEMAX仿真软件建立了双光纤耦合模型,仿真分析了不同偏移方式对传能效率和输出光束分布的影响;进一步搭建了双光纤耦合传能效率测试平台,通过设计系列尺寸的光纤偏移固定微通道,实现了双光纤轴向、横向和角度多种方式不同误差的偏移。试验得到了双光纤在不同偏移情况下的传输效率及光斑图像,为后续MOEMS光开关的设计及改进提供一定依据。
关键词
微光机电系统
光开关
激光点火
光纤耦合
传能特性
Keywords
micro
-opto-electro-
mechanical
system
optical
switch
laser ignition
fiber coupling
energy transfer characteristics
分类号
TJ43 [兵器科学与技术—火炮、自动武器与弹药工程]
TN253 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
碳化硅基MOEMS压力传感器建模与仿真研究
被引量：
2
9
作者
吕秀杰
夏需强
唐帅
赵勇
王全全
机构
中国石油天然气管道工程有限公司东北分公司
出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2015年第1期17-19,30,共4页
文摘
针对航空航天领域对高温极端条件下压力测量的高性能要求,提出一种基于碳化硅(Si C)弹性敏感膜片曲率变形来实现反射式光纤传感测量压力的方法。基于弹性力学理论和网格模拟方法探讨了敏感元件Si C圆平膜片的应力和形变分布,推导出光纤反射式微机电系统Si C压力传感器的数学模型,并对Si C压力传感器敏感元件的最大量程、灵敏度、输入-输出特性等进行了一系列的优化分析和计算机模拟。仿真结果表明了Si C敏感膜片的光测力灵敏度最优设计方法,在大量程范围内具有优越的线性工作特性,为研发大量程碳化硅基微光机电系统(MOEMS)压力传感器提供了有力的理论依据。
关键词
碳化硅
微光机电系统
压力传感器
曲率变形
灵敏度
Keywords
silicon carbide
micro
-
optical
-
mechanical
-
electrical
system（MOMES）
pressure sensor
curvature deformation
sensitivity
分类号
TP212 [自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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职称材料
题名
新型电热式MEMS光开关设计与仿真分析
被引量：
3
10
作者
肖杰
陆安江
黄子吉
机构
贵州大学大数据与信息工程学院
出处
《传感器与微系统》
CSCD
2018年第10期79-81,共3页
基金
国家国际合作专项项目(2014DFA00670)
贵州省科技重大专项项目(黔科合重字[2016]3022号)
文摘
在综合比较各类光开关基础上,提出一种新的M型电热式微机电系统(MEMS)光开关结构,并对结构的可行性进行理论分析和多物理场仿真,通过对光开关驱动部分的驱动位移、温度分布、应力应变实验数据的分析,确定了光开关结构的可行性。
关键词
全光网络
微机电系统
电热式
光开关
Keywords
all
optical
network
micro
-electro-
mechanical
system（MEMS）
electrothermic type
optical
switch
分类号
TN203 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
新型MEMS摆动式微电磁驱动器研制
贾书海
李以贵
杨春生
赵小林
丁桂甫
张琛
蔡炳初
《中国机械工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2003
5
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职称材料
2
一种超小型1×2微机械光开关
鲍俊峰
邹勇卓
吴兴坤
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2004
7
在线阅读
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职称材料
3
光传送网中光开关器件的进展
谢世钟
陈明华
王国忠
《中兴通讯技术》
2002
4
在线阅读
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职称材料
4
基于8×8MEMS的全光OXC结构设计及性能仿真
李利平
王博
孙彩霞
唐海玲
《光通信技术》
CSCD
北大核心
2012
2
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职称材料
5
光栅光阀MEMS光开关系统设计
喻洪麟
鲁双全
《重庆大学学报（自然科学版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2008
2
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职称材料
6
集成微光机电密码锁概念设计
屈新芬
杨睛
《探测与控制学报》
CSCD
北大核心
2003
0
在线阅读
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职称材料
7
光的微电机系统在光通信网的应用
张煦
《光通信技术》
CSCD
北大核心
2002
0
在线阅读
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职称材料
8
MOEMS光开关中双光纤耦合对准误差仿真与试验研究
刘浩田
曹云
席占稳
聂伟荣
徐娜
《南京理工大学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2022
4
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职称材料
9
碳化硅基MOEMS压力传感器建模与仿真研究
吕秀杰
夏需强
唐帅
赵勇
王全全
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2015
2
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职称材料
10
新型电热式MEMS光开关设计与仿真分析
肖杰
陆安江
黄子吉
《传感器与微系统》
CSCD
2018
3
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职称材料
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