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题名微电子机械系统的几个力学问题
被引量：9
- 1
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作者
余寿文
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机构
清华大学工程力学系
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出处
《机械强度》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期380-384,共5页
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基金
国家自然科学基金资助项目 (1 0 1 72 0 50 )
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文摘
讨论微电子机械系统 (MEMS)的三个力学问题 :( 1)微系统界面区域的力学性质。 ( 2 )薄膜—基底结构界面的裂纹扩展。 ( 3)微机械的弹塑性—粘着接触力学。文中在简述了研究现状后 ,简要地报导了作者及其合作者对上述三个问题的研究结果。
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关键词
微电子机械系统
办学界面
薄膜基底结构
弹塑性-粘着接触力学
裂纹扩展
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Keywords
Micro electro mechanical system
Interface (Interphase) mechanics
Thin film/substrate structure
elastic plastic adhesive contact mechanics
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分类号
TH－39
[机械工程]
O3
[理学—力学]
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题名双层薄膜与弹性梯度基底三层结构表面失稳分析
被引量：2
- 2
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作者
许超
王博
毕皓皓
师岩
邓子辰
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机构
西北工业大学工程力学系
西北工业大学应用数学系
南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室
西北工业大学复杂系统动力学与控制工信部重点实验室
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出处
《应用力学学报》
CAS
CSCD
北大核心
2023年第1期154-161,共8页
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基金
国家自然科学基金资助项目(No.11802319)
机械结构力学及控制国家重点实验室开放课题资助项目(No.MCMS-E-0221K01)。
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文摘
硬薄膜/软基底结构的表面失稳问题一直是柔性电子器件的难题,基于此,本文考虑了双层结构与弹性梯度基底间的界面剪切力,建立了双层薄膜/弹性梯度基底模型;利用位移协调条件,理论推导得到了双层薄膜/弹性梯度基底结构的临界应变和失稳波长的表达式并通过有限元仿真,验证了本研究解析解的有效性。在此基础上,应用此解析解进一步研究了弹性梯度基底的材料、双层薄膜结构厚度比等参数对临界应变和波长的影响。结果表明:减小器件层的厚度或者增加封装层的厚度,可以提高双层膜/弹性梯度基底结构的稳定性;当弹性梯度材料基底表面“较软”或器件层“较硬”时,器件层与基底界面的剪切力的影响较大,可以提升三层膜/基结构抵抗界面破坏的能力。本研究成果将为硬薄膜/弹性梯度基底结构的柔性电子器件的制备提供理论支撑。
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关键词
双层薄膜/弹性梯度基底结构
屈曲理论
临界应变
柔性电子
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Keywords
bi-layer film/elastic graded substrate structure
buckling theory
critical strain
flexible electronics
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分类号
TB301
[一般工业技术—材料科学与工程]
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